在本文中,提出了一个LA 2 O 3 /HFO 2双层偶极 - 偶极 - 第一(DF)工艺,并通过超低温度PVD PVD介电层压板进行了研究,以实现较低的栅极有效工作功能(EWF),以实现整体岩石3D-IC(M3D)应用。全面研究了超低温度LA-偶极子对EWF调制和界面特性的影响。发现平移电压(V FB)用较低的1nm La 2 O 3厚度呈60 mV,这提供了满足SI传导带边缘EWF调制的有效方法。此外,LA 2 O 3 /HFO 2 BI-LAYER DF工艺抑制了电子陷阱 /逐渐陷阱密度(非)和界面陷阱密度(DIT),以提高设备性能。这些结果在低热整合中表现出有希望的双层DF工艺,用于高级IC技术。
按照之前描述的方法15,在90 nm SiO 2 / Si 基底上新沉积的金膜(30 nm Au 和 1 nm Ti 粘附层)上机械剥离非常大规模的单层 MoS 2 薄片。使用光学相机可以轻松识别剥离的 MoS 2,该相机引导 STM 探针位于单层区域之上以进行成像、光谱和传输研究。在进行第一组 STM 测量之前,将样品在 T = 250 °C 的超高真空条件下(p < 10 −10 Torr)退火数小时以去除水和弱键合分子。初始 STM 研究使用金或钨 STM 探针进行。样品随后在 400 °C 下退火以增加硫空位密度。之后,使用用 50% 饱和 KCl 溶液蚀刻的金 STM 探针进行 STM 和原位传输测量。所有 STM 测量均采用在 100K 下运行的可变温度 STM 系统进行。对于 STS 测量,使用 1Khz 下 20 mV 的调制信号。对于传输测量,使用 3.3 nA 或 330 nA 的顺从电流。在每次传输测量之前,使用 MoS 2 带隙内的稳定电压将金 STM 尖端固定在表面上,以确保尖端和 MoS 2 表面之间的真空间隙减小。然后将 STM 尖端进一步靠近表面以提供稳定的机械和电接触。MoS2 的高机械强度可防止在物理接触期间对尖端和样品造成任何损坏 25
保留 在北约演习期间,法国潜艇管理局不会批准 11 月(8*N)开始的放宽措施 8,配备 VDS 的法国舰船将收到命令,在尾随 VDS 时不得停止声纳。CASEX S-11。程序第 1b 段。安全区的目的不明确。如果它是为了在 OPFOR 和 FRNFOR 潜艇都在浅水区时为它们提供分离,那么 4 海里被认为是过度的。建议将安全区缩小到 1 海里。如果不是为了这个目的,那么应该提供澄清。如果 CASEX S-11 的作者或国家不愿意修改安全区尺寸,那么 GBR 应该提出保留,以便将宽度缩小到 1 海里以供 GBR 使用。保留是基于这样一个事实,即 FRNFOR 潜艇可能距离它可以进入浅水区或浮出水面的区域 16 海里。这似乎太过分了。土耳其不接受“沿海水域”这一术语,因为它不包含在国际法中。土耳其接受使用“沿海水域”这一术语,如 MC 296/1 中所述(对国际法下的主权国家而言,这既不能产生任何效果,也不能产生任何含义) 评论 发布 STANAG 1052 并不会自动授予出版物的发布。关于文件 AXP-1(D),它不会在 PfP 国家之间分发。关于参考文献 B(在本评论中,参考文献 B 被标识为 AAP-3(I)),将 MXP-1(D) 分发给 PfP 国家并不麻烦。爱沙尼亚海军没有 STANAG 中描述的职能。此回应(GBR 对变更 5 的批准)还包括 GBR 同意批准 MXP-1(D)。立陶宛海军没有 STANAG(STANAG 1052)所涵盖的舰船和装备。 AXP-1(D) 被视为不可向非北约国家发布,因为 AXP-1(D) 是北约机密文件。
保留 在北约演习期间,法国潜艇部队将不会批准 11 月(8*N)的放宽措施 8,配备 VDS 的法国舰船将收到命令,在尾随 VDS 时不得停止声纳。CASEX S-11。程序第 1b 段。安全区的目的尚不清楚。如果是为了在 OPFOR 和 FRNFOR 潜艇都在浅水区时为其提供分离,那么 4nm 被认为是过度的。建议将安全区缩小到 1nm。如果不是出于此目的,则应提供澄清。如果 CASEX S-11 的作者或各国不愿意修改安全区域尺寸,那么 GBR 应该提出保留意见,以便将 GBR 使用的宽度减小到 1 海里。保留意见基于这样一个事实,即 FRNFOR 潜艇可能距离其可以进入浅水或水面的区域 16 海里。这似乎太过分了。土耳其不接受“沿海水域”一词,因为它不包含在国际法中。土耳其接受使用“沿海水域”一词,如 MC 296/1 中所述(这既不会对国际法下的主权国家产生任何影响,也不会产生任何影响) 评论 STANAG 1052 的发布并不会自动授予出版物的发布。关于文件 AXP-1(D),不会在 PfP 国家之间分发。关于参考文献 B(在此评论中,参考文献 B 被标识为 AAP-3(I)),将 MXP-1(D) 分发给 PfP 国家并不麻烦。爱沙尼亚海军没有 STANAG 中描述的职能。此回复(GBR 对变更 5 的批准)还包括 GBR 同意批准 MXP-1(D)。立陶宛海军没有 STANAG(STANAG 1052)所涵盖的舰船和装备。AXP-1(D) 被视为不可向非北约国家发布,因为 AXP-1(D) 是北约机密文件。
