使用扫描探针显微镜 (SPM) 中的自动化实验探索介电薄膜中的电子传导途径。在这里,我们使用大视野扫描来确定局部导电点的位置,并开发 SPM 工作流程,以自动化方式探测它们在更高空间分辨率下随时间、电压和扫描过程变化的动态行为。使用这种方法,我们观察到 20 nm 厚的铁电 Hf 0.54 Zr 0.48 O 2 薄膜中导电点的变化行为,其中导电点在连续扫描过程中消失并重新出现。扫描过程中还会出现新的导电点。自动化工作流程是通用的,可以集成到各种显微镜技术中,包括 SPM、电子显微镜、光学显微镜和化学成像。
注意:本稿件由 UT-Battelle, LLC 撰写,合同编号为 DE- AC0500OR22725,与美国能源部签订。美国政府保留,出版商在接受文章发表时,承认美国政府保留非独占、已付费、不可撤销的全球许可,可以出于美国政府目的出版或复制本稿件的已出版形式,或允许他人这样做。能源部将根据 DOE 公共访问计划 ( http://energy.gov/downloads/doe-public-access-plan ) 向公众提供这些联邦资助研究的结果。
注意:本稿件由 UT-Battelle, LLC 撰写,合同编号为 DE- AC0500OR22725,与美国能源部签订。美国政府保留,出版商在接受文章发表时,承认美国政府保留非独占、已付费、不可撤销的全球许可,可以出于美国政府目的出版或复制本稿件的已出版形式,或允许他人这样做。能源部将根据 DOE 公共访问计划 (http://energy.gov/downloads/doe-public-access-plan) 向公众提供这些联邦资助研究的结果。
