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来自 STL 的年轻、黑人、天才工程师
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化合物半导体光刻热点的形成机理及控制
关键词：光刻热点、GaAs 蚀刻、SiN 沉积、工艺集成 摘要 光刻技术能否持续对精细几何图形进行图案化，主要挑战之一是整个晶圆和加工场内的最佳焦点存在差异。晶圆图案化侧的这些差异通常是可以理解的，可以很好地表征，并且在选择和优化焦点设置时可以进行校正。然而，晶圆背面的意外和变化的畸形会影响曝光过程中的场平衡（由于基板高度差异而导致的焦点偏移）。这会导致存在污染的地方图案分辨率较差。这些缺陷通常被称为“热点”。在本研究中，研究并表征了一种具有可重复双重像差的故障模式。结果表明，由于一种由 Si x N y 沉积和 GaAs 湿法蚀刻组成的新型集成缺陷模式，形成了意想不到的背面台面。然后，这些台面在金属互连光刻过程中产生热点，导致产量损失 1% 或更多。本研究证明了检测、表征和最小化图案化畸变对于持续改进器件、提高产量和降低化合物半导体制造成本的重要性。引言光刻是半导体行业中不可或缺的技术，是蚀刻、沉积和离子注入的前身[1-4]。保持正确且一致的聚焦和剂量控制对于确保侧壁角度和特征尺寸以满足器件功能和可靠性需求至关重要[2]。因此，先进的光刻技术对于实现器件性能和提高半导体行业的芯片产量至关重要[5]。使用浸没式光刻、双重或多重图案化、分辨率增强技术等创新方法，可以在阿贝衍射极限的几分之一处对器件特征进行图案化[1,6-8]。除了实现更密集的图案化和更小的特征尺寸外，稳健的光刻部署还面临着许多实际挑战[5,9-11]。其中一个挑战是
混合0D锑卤化物作为高空间分辨率远程热摄影的空气稳定发光体
上个世纪的快速技术进步导致温度传感领域中带来了新的Challenges。准确，遥远，无接触式和实时微观和纳米级的温度映射在细胞成像，微流体和纳米流体以及集成电路设计中的需求巨大，[1-11]中，这些严格的要求需要使用光学方法。这些通常分为三个主要的猫：红外（IR）隆期，IR直接检测和远程光学/荧光热量表。，由于其出色的热分辨率（10-1 K），其中最常见的是IR射量方法，例如在商业设备中发现的方法。然而，要检测到的黑体辐射的长红外波长导致室内温度（RT）对象的固有低空间分辨率为≈10µm，这是由于abbe差异的限制所期望的。对IR光的检测也遭受了由于吸收而缺乏与广泛的光学成分相兼容。[12,13]或者，在可见区域中运行的远程光学方法，例如，通过测量荧光强度或衰减时间，[14]达到了很高的热分辨率，并且可能由于较低的衍射极限而有可能提供较高的空间分辨率，并且在常见媒体（例如水和玻璃）中透明度。[13,15,16]基于强度的量化，由于光散射（样品拓扑，磷光粒子形态等）而容易出现错误。），不均匀的磷光器分布，非态磷光物种形成或批处理变异性等。虽然基于荧光时代的热量成像是继承了许多此类局限性，但其部署通常会因适合特定应用的特定要求的磷剂的可用性而受到阻碍。我们的本文提出的研究涉及在RT周围温度下在温度下进行高空间和热分辨率热图形的新型热液少量探索。在这种情况下，我们发现已知的热燃料载体，即有机染料，聚合物，量子点，稀有掺杂的金属氧化物，[17-25]面临限制，例如材料制造或薄膜沉积，耐用性和健壮性的耐用性和稳健性的耐磨性，或者不适合特定范围的特定方法或常见的特定方法。
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1 3-TECH INNOVATION MASTER CORP. 2 5MLINK ENTERPRISE 3 AG DATACOM PHILS., INC. 4 ASL INNOVA TECH. CORP. 5 ABBE TECHNOLOGY SOLUTIONS, INC. 6 ACASALES TECHNOLOGIES INC. 7 ACCESS WATER INTEGRATORS AND EQUIPMENT PHILS. INC. 8 ACEZ INSTRUMENTS PHILS., CORP. 9 ACHIEVERS SALES CORPORATION 10 ACQUISITION APPS INC. 11 ACW DISTRIBUTION (PHILS) INC. 12 AD ASIA MULTILINK INC. 13 ADRESPHIL ENTERPRISES INC. 14 ADVANCE BUILDCONS PLUS CORPORATION 15 ADVANCED GLOBAL WATER TECHNOLOGIES (PHILIPPINES) INC. 16 AEVUS TECHNOLOGIES CORP. 17 AGNO METAL TRADE CORP. 18 AGP TRADING INC. 19 AIRMIX ENTERPRISE CONSTRUCTION INCORPORATED 20 AJA NRW SOLUTIONS, INC. 21 ALCHEMY INDUSTRIAL CONTROLS ENGINEERING SERVICES 22 所有认证设备TRADING CORP. 23 ALL WASTE SERVICES INC. 24 ALMEX TECHNOLOGIES PHILIPPINES INC. 25 AMIBLU GERMANY GMBH 26 AMIDATA PHILIPPINES CORPORATION 27 ANAKO PHILIPPINES CORPORATION 28 ANALYTICAL AND SAMPLE PREP MACHINES INC. 29 ANALYTICAL AND TESTING TECHNOLOGY CORPORATION 30 ANDEN CONSTRUCTION CO INC. 31 APEX PLASTIC PIPING SUPPLY AND SERVICES INC. 32 AQUA TERRA INTEGRATED SOLUTIONS, INC. 33 AQUAJEM INDUSTRIAL CORPORATION 34 AQUASOLV PHILIPPINES INC. 35 AR LUMPAS 废水处理服务 36 AR8TECHNOLOGIES CORP. 37 ARAHR ENTERPRISES 38 ARGOTEK INC. 39 ARNAIZ ELECTRONICS & ELECTRICAL SUPPLY 40 ARNAIZ MARKETING CORP. 41 ARROW ELECTRICAL SUPPLY 42 ARS TESTING & INSPECTION, INC. 43 ARXUM INDUSTRIAL INC. 44 ASCEND INDUSTRIAL SUPPLIES, INC. 45 ASD PIPELAST SUPPLY & SERVICES INC. 46 ASIA CORROSION SERVICES INC. 47 ASISI SYSTEMS CORP. 48 ASTRON METAL WORKS CORP. 49 ATLANTA INDUSTRIES INC 50 ATLAS CONCRETE WORKS (ACW) INC. 51 AUTOMATA ANALYTICA ENGINEERING SERVICES 52 AUTOMATION SPECIALISTS AND POWER EXPONENTS INC. 53 AVANT EQUINOX GROUP INDUSTRY SOLUTIONS (AEGIS) INC. 54 AVODAH CONSTRUCTION SERVICES, INCORPORATED 55 AXIS (AUTOMATION EXPERTS FOR INDUSTRIAL SOLUTIONS) CORPORATION
Costantino de Angelis课程-Brescia
。▪2016年7月至9月：被邀请到堪培拉的澳大利亚国立大学。▪2012年7月：耶拿的Abbe Photonics教授邀请教授。▪2011年8月：马萨诸塞州理工学院的邀请教授。▪2010-2012：布雷西亚大学信息工程系主任。▪2010年7月至9月：马萨诸塞州理工学院邀请教授。1998–2003：布雷西亚大学自动电子系工程学院的副教授（科学纪律部门INF/02）。1994-1998：帕多瓦大学电子与计算机科学系工程学院的大学研究员（学科科学部门K02X）。founces 1996-1997：研究人员邀请了法国利多士大学的IRCOM（光学通信研究所和微波研究研究所）。1993–1994：美国新墨西哥大学（美国）的数学与统计系“访问研究讲师”。<89 div>教育：帕多亚大学电子工程学荣誉学位（学位论文：“光纤中的拉曼散射”。主管：C.G。教授有些人）。1990-1993：博士学位帕多亚大学的电子工程和电信（“纤维和波导中的全光开关”。主管：C.G。教授有些人）。1992年：帕多亚大学授予国外奖学金。1992年：帕多亚大学授予国外奖学金。1978年的保费和奖学金：X Philips for for X Philips for for X Philips for for for X Philips for for for X Philips for for for for X Philips for for for for for X Philips for for for for for X Philips for for for for for X Philips for for for for for X Philips年轻研究人员。1989年：意大利电信公司（SIP）的奖项在帕多亚大学获得了1989年最佳学位论文。 1991年：A。Gini基金会作为亚利桑那大学的访客学生奖。 2017：任命OSA（光学社会）的同胞“对离散和期刊非线性光子结构的重要贡献，以及纳米 - 安南纳斯和非线性纳米纳米官能设备的设计”。1989年：意大利电信公司（SIP）的奖项在帕多亚大学获得了1989年最佳学位论文。1991年：A。Gini基金会作为亚利桑那大学的访客学生奖。 2017：任命OSA（光学社会）的同胞“对离散和期刊非线性光子结构的重要贡献，以及纳米 - 安南纳斯和非线性纳米纳米官能设备的设计”。1991年：A。Gini基金会作为亚利桑那大学的访客学生奖。2017：任命OSA（光学社会）的同胞“对离散和期刊非线性光子结构的重要贡献，以及纳米 - 安南纳斯和非线性纳米纳米官能设备的设计”。
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名称 PROM_AFSC 行号 CYCLE_ID ABATO ROBERT 1D7X1 278 23E8 ABBE LANCE JOSEPH 2A3X0 486 23E8 ABEL BRIAN KEITH 2A3X0 45 23E8 ABRAM ADRIAN C 2A6X0 421 23E8 ACORD TIMOTHY PAUL 2W0X1 263 23E8 ADAMSON BRENTON MI 1A3X1 1210 23E8 ADKINS DARREN JAME 2W0X1 310 23E8 ALDREDGE JAMES RIC 1Z3X1 1261 23E8 ALEJANDRO SASHA MA 3F0X1 1473 23E8 ALEXANDER JAMES H 4N0X1 192 23E8 亚历山大·贾斯汀 R 3E9X1 140 23E8 亚历山大·马卡尔 C 3F1X1 255 23E8 阿方索·瑞安·雷 C 3E2X0 654 23E8 艾伦·希瑟·珍 1C5X1 806 23E8 艾伦·朱厄尔 V 2T0X1 1119 23E8 阿伦斯鲍尔·妮可 8A100 566 23E8 艾莉·杰弗里·米歇尔 4N1X1 1470 23E8 阿尔莫萨拉·阿米莉亚·OW 4N0X1 292 23E8 阿洛马尔·胡安·罗兰 2A3X0 396 23E8 阿尔特·托德 A 3E2X0 1361 23E8 阿尔瓦拉多·罗克珊·N 2P0X1 1504 23E8 阿尔瓦雷斯·米斯蒂·林恩 4Y0X0 1221 23E8 阿尔维亚·斯维特拉娜·Z 4E0X1 1052 23E8 阿尔维拉·豪尔赫·路易斯 8R000 815 23E8 阿玛雅·纳迪亚 3F1X1 1324 23E8 安布罗齐亚克·拉蒂希亚 4N0X1 799 23E8 安查迪亚·豪尔赫·A 3F2X1 36 23E8 安德斯·克里斯蒂娜·L 2T2X1 1179 23E8 安德森·查德·M 2A5X0 196 23E8 安德森·诺曼·LY 3E2X0 287 23E8安德森·拉什海姆 8F000 683 23E8 安德拉德·梅兰妮 3F3X1 884 23E8 安德拉德·米哈伊尔·勒 6C0X1 1250 23E8 安杜拉·杰森 T 2A3X0 735 23E8 安格林·道格拉斯·帕特 2A3X0 1265 23E8 安古洛·卡罗莱纳 3F1X1 361 23E8 安斯曼·史蒂文·瑞安 1A3X1 1302 23E8 安东尼·卡尔顿 JE 1S0X1 796 23E8 阿兰达·克里斯托弗 2A5X0 671 23E8 阿切贝尔·詹姆斯 C 3E9X1 1381 23E8 阿尔西巴尔·肯尼思·TR 1A0X1 1446 23E8 阿雷拉诺·豪尔赫 2A3X0 865 23E8 阿里亚斯·冈萨雷斯·胡阿 2T0X1 956 23E8 阿姆斯特朗·内森·D 2A3X0 573 23E8 阿诺·大卫·沃克 2A5X0 1060 23E8 阿诺·约翰迈克尔 2P0X1 1485 23E8
Nanophotonics: shrinking light-based technology
Abstract The study of light at the nanoscale has become a vibrant field of research, as researchers now master the flow of light at length scales far below the optical wavelength, largely surpassing the classical limits imposed by diffraction. Using metallic and dielectric nanostructures precisely sculpted into 2D and 3D nanoarchitectures, light can be scattered, refracted, confined, filtered, and processed in fascinating new ways, impossible to achieve with natural materials and in conventional geometries. This control over light at the nanoscale has not only unveiled a plethora of new phenomena, but has also led to a variety of relevant applications, including new venues for integrated circuitry, optical computing, solar, and medical technologies, setting high expectations for many novel discoveries in the years to come. Introduction Optics and the science of light is a lively field of research that continues to surprise decade after decade with fundamental breakthroughs and disruptive applications. Communications technology has been revolutionized by the invention of the laser and the optical fiber, incandescent light bulbs are being replaced by efficient solid-state lighting, and solar energy technologies are on their way to price parity with fossil-fuel based power generation. A large number of these developments has resulted from increased control over the flow of light at length scales smaller than the wavelength. Squeezing light to nanoscale dimensions also opens the prospect of dense optical integrated circuits, which may overcome fundamental challenges related to bandwidth and energy dissipation in today's electronic integrated circuit technology. More broadly, the field of nanophotonics aims at overcoming Abbe's diffraction limit, developing technology able to manipulate light on a deep- subwavelength scale. As photons are shrunk to the nanometer scale, ultimately approaching the scale of the wave function of electrons, fundamental new science is expected, and important technological advances appear. In this article we review recent highlights in the science and applications of nanophotonics, focusing on the ultraviolet/visible/near-infrared spectral range, and provide an outlook for the bright future of this research field. Photonic crystals The initial concept for on-chip miniaturization of light dates back to the late 1990's, when photonic crystals – periodic structures fabricated from high refractive index materials like Si or GaAs – were proposed and realized (Fig. 1A). As the periodicity in these structures approaches the wavelength of light a photonic bandgap can appear, analogous to the energy bandgap in a semiconductor. The propagation of light with a frequency in the band gap is then forbidden, except in localized regions created by a well-designed break in periodicity, such as line defects that can guide light, or point defects that confine light. Band structure engineering gives exquisite control over light dispersion, i.e., over the relation between its frequency ω and its effective propagation constant k=2 π/λ, and thereby also over how fast signals of different wavelengths propagate, as given by the group velocity d ω /dk.
教授沃斯
wlvos@utwente.nl 简历 Willem Vos 于 1991 年凭借其论文“高压下简单系统的相行为”以最高荣誉 (cum laude) 获得阿姆斯特丹大学物理学博士学位。他曾获得美国卡内基科学研究所地球物理实验室的著名卡内基奖学金，在那里他发现了一类在极高压下的新型范德华化合物 (1992 年《自然》论文)。随后，他转而研究光子晶体和胶体物理。他的团队首创了非常受欢迎的“反蛋白石”光子晶体 (1998 年《科学》论文 [>2100x 引用])。自 2002 年起，Vos 担任特温特大学 MESA+ 纳米技术研究所复杂光子系统 (COPS) 教授。他的团队首次展示了使用 3D 光子晶体以及随后的 3D 光子带隙控制光的自发发射。 2005 年，他获得了荷兰科学基金会 NWO 的个人 VICI 资助。Vos 是 APS 和 OSA 的研究员，曾获得法国科学院斯内利厄斯奖章和笛卡尔-惠更斯奖。Vos 的论文平均被引用 45 次以上。他的学生已成为领先机构的教职员工，或在主要行业和非营利组织中谋求职业。摘要 - 应用纳米光子学？纳米光子学应用！纳米光子学领域已经产生了各种各样令人震惊的新科学概念和新应用。由于阿贝衍射极限，透镜和显微镜等传统光学元件无法将光聚焦到深亚波长纳米尺度。但是，人们可以通过使用纳米材料（如超材料、等离子体系统和光子晶体等）仔细操纵近场衰减波，将光压缩到纳米尺度。得益于光电子学和微电子学（我们的东京同事在 3D 带隙晶体中实现微型无阈值激光器方面取得了重大进展）、太阳能电池、光谱学和显微镜学，纳米光子学正在从生物化学到电气工程和数据通信等领域得到应用。在特温特大学的应用纳米光子学 (ANP) 集群中，一个由 80 名研究人员组成的团队研究了各种主题，例如用于存储光的光子晶体、量子保护网络安全、用于芯片行业的高级镜子、复杂介质和可编程片上网络中的量子光处理，以及用于集成光子学的极其精确的微型激光器。ANP 集群是荷兰最大的纳米光子学科学家聚集地。ANP 开创了新的研究领域“波前整形”，将光聚焦在不透明介质内部或外部，并设法透过不透明屏幕！ANP 在光传播的基本原理方面提供了新的见解，并探索了新兴应用（“纳米光子学应用！”），本着特温特大学创业精神。与工业界一起，知识的发展尤其体现在自由形式光散射、光伏、用于量子信息的光子集成电路以及用于水质监测等传感方面。在简要介绍 ANP 之后，我将报告一些最近的研究亮点，包括我们与 Iwamoto 教授和 Arakawa 教授团队的持续合作。
Vdo 温度传感器数据表
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