摘要:采用计算和实验相结合的方法了解自限制 (SL) 和化学气相蚀刻 (CVE) 反应之间的竞争,以设计原子层蚀刻 (ALE) 工艺。ALE 工艺中的脉冲必须是自限制的;即,反应应在足够的脉冲时间后达到饱和。通过使用密度泛函理论 (DFT) 比较相应的 SL 和 CVE 反应的反应自由能,可以预测有利于 SL 或 CVE 反应的温度和压力条件。以 TiO 2 暴露于 HF 气体时的蚀刻为测试案例。模拟表明,当 TiO 2 暴露于压力为 0.2 Torr 的反应物 HF 时,在高达 87 °C (360 K) 的温度下,SL 反应优先去除 0.01 Torr 下的 H 2 O 并使表面氟化。在较高温度下,根据受动力学活化能垒影响的反应 TiO 2 + HF → TiF 4 + H 2 O,CVE 会持续去除 TiO 2。将原位傅里叶变换红外 (FTIR) 光谱和四极杆质谱 (QMS) 的实验结果与理论预测进行了比较。与理论高度一致,FTIR 光谱研究表明自发蚀刻 (CVE) 在温度约为 80 − 90 °C 时开始。此外,QMS 分析观察到 TiF 4 和 H 2 O 作为蚀刻产物,进一步验证了计算结果。计算还预测反应气体压力的增加会增强高温下的蚀刻。这种理论方法的计算成本低,可以快速筛选蚀刻试剂并预测反应在 SL 或 CVE 范围内的温度/压力窗口。
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注意事项:1. 除 RESET 和 XTAL1 外的所有引脚。2. 违反复位时的这些规格可能会导致器件进入测试模式。3. 除非另有说明,否则商业规格适用于 Express 器件。4. QBD(准双向)引脚包括端口 1、P2.6 和 P2.7。5. 标准输出包括 AD0–15、RD、WR、ALE、BHE、INST、HSO 引脚、PWM、P2.5、CLKOUT、RESET、端口 3 和 4、TXD、P2.0 和 RXD(串行模式 0)。V OH 规格对 RESET 无效。端口 3 和 4 为开漏输出。6. 标准输入包括 HSI 引脚、READY、BUSWIDTH、RXD、P2.1、EXTINT、P2.2、T2CLK、P2.3 和 T2RST、P2.4。7. 最大如果 V OL 保持在 0.45V 以上或 V OH 保持在 V CC b 0.7V 以下,则每个引脚的电流必须在外部限制为以下值。输出引脚上的 I OL 为 10 mA 准双向引脚上的 I OH 为自限制 标准输出引脚上的 I OH 为 10 mA 8. 正常运行期间每个总线引脚(数据和控制)的最大电流为 g 3.2 mA。9. 在正常(非瞬态)条件下,适用以下总电流限制。端口 1。P2.6 I OL 为 29 mA I OH 为自限制 HSO。P2.0。RXD。RESET I OL 为 29 mA I OH 为 26 mA P2.5。P2.7。WR。BHE I OL 为 13 mA I OH 为 11 mA AD0–AD15 I OL 为 52 mA I OH 为 52 mA RD。ALE。 INST–CLKOUT I OL � 13 mA I OH � 13 mA
注释:(注释适用于所有规格)1. QBD(准双向)引脚包括端口 1、P2.6 和 P2.7。2. 标准输出包括 AD0–15、RD、WR、ALE、BHE、INST、HSO 引脚、PWM、P2.5、CLKOUT、RESET、端口 3 和 4、TXD、P2.0 和 RXD(串行模式 0)。V OH 规格对 RESET 无效。端口 3 和 4 为开漏输出。3. 标准输入包括 HSI 引脚、EA、READY、BUSWIDTH、NMI、RXD、P2.1、EXTINT、P2.2、T2CLK、P2.3 和 T2RST、P2.4。4. 如果 V OL 保持在 0.45V 以上或 V OH 保持在 0.45V 以下,则必须通过外部将每个引脚的最大电流限制为以下值。 V CC b 0.7V。输出引脚上的 I OL。10 mA 准双向引脚上的 I OH。自限流标准输出引脚上的 I OH。10 mA 5。正常运行期间,每个总线引脚(数据和控制)的最大电流为 3.2 mA。6。正常(非瞬态)条件下,适用以下总电流限制。端口 1。P2.6 I OL。29 mA I OH 自限流 HSO。P2.0。RXD。RESET I OL。29 mA I OH。26 mA P2.5。P2.7。WR。BHE I OL。13 mA I OH。11 mA AD0–AD15 I OL。52 mA I OH。52 mA RD。ALE。INST–CLKOUT I OL。13 mA I OH。13 mA 7。典型值基于有限数量的样本并且不保证。列出的值是在室温和 V REF e V CC e 5V 下得到的。
简介。神经退行性疾病是中枢神经系统无法治愈的疾病,这会导致患者日常生活的严重干扰,导致严重的残疾甚至死亡。这些条件的原因没有完全阐明,但是越来越多的理论参与涉及氧化应激。工作的目的。研究,分析和确定氧化应激和线粒体功能障碍在神经退行性麦芽糖原病原体中的作用。材料和方法。为了实现拟议的目标,分析了超过170个书目来源,这些书目来源在USMF“ Nicolae Testemitanu”的医学科学和电子库Medline,Hinari,Hinari,PubMed,PubMed,Google Academic的资源中确定。重点一直放在过去10年的出版物上。结果。大脑是人体的重要器官,需要持续的氧气,但是缺乏抗氧化剂的储量以及无法再生其容易受到氧化损伤的影响。活性氧,例如:过氧化氢(H 2 O 2),超氧化物(O 2 - )和羟基自由基(OH-)是细胞代谢的生理产物。但是,ROS和抗氧化剂之间的失衡会导致氧化应激,对所有组织,尤其是对大脑的不利影响。在神经模型产生疾病中,例如阿尔茨海默氏症和帕金森氏症,观察到增加的抗氧化剂并增加了金属离子浓度,例如铁和铜,这会导致不可逆的脑损伤。结论。随后的研究对氧化应激的致病性是神经退行性疾病发展的主要因素,目前将无疑在治疗这些疾病的治疗方面无法治愈。关键字:线粒体 - 内部功能障碍,神经退行性疾病,活性氧,氧化应激。
斯科特·科尼利厄斯(Scott Cornelius),AIAS,副教授AIA - 总裁 Shannon DeFranza,AIAS,副教授AIA - 副总裁 Ashley Ash - 临时执行董事 Erin Conti ,AIAS,Assoc. AIA - 前任主席 Baili Null,AIAS - 中西部象限主任 Elizabeth Caccavano,AIAS - 东北象限主任 Jessie Cart,AIAS - 南象限主任 Nicholas Romero,AIAS - 西象限主任 Adan Hernandez,AIAS - 拉丁美洲地区大使 Vanessa Abou Harb,AIAS - 中东地区大使 Kristine Harding,FAIA,NCARB - NCARB 联络员 Ricardo J. Rodriguez,副教授AIA、LEED AP、ACI - AIA 联络员 Bethany Lundell Garver、AIA、NCARB - ACSA 联络员 Montre'ale Jones、NOMAS - NOMA 联络员