(David.bikard@pasteur.fr),B.W。(bwiedenheft@gmail.com)和A.I.(artem.isaev@skoltech.ru)
二次谐波生成:半导体电介质接口的强大非破坏性表征技术 Irina Ionica a 、Dimitrios Damianos a 、Anne Kaminski-Cachopo a 、Danièle Blanc-Pélissier b 、Gerard Ghibaudo a 、Sorin Cristoloveanu a 、Lionel Bastard a 、Aude Bouchard a 、Xavier Mescot a、Martine Gri a、Ming Lei c、Brian Larzelere c 和 Guy Vitrant aa Univ。格勒诺布尔阿尔卑斯,CNRS,格勒诺布尔-INP,IMEP-LAHC,38000 格勒诺布尔,法国 b INL-UMR 5270,里昂国立应用科学学院,7 avenue Jean Capelle,69621 维勒班,法国 c FemtoMetrix,1850 East Saint Andrew Place,加利福尼亚州圣安娜 92705,美国。二次谐波产生 (SHG) 被证明是一种非常有前途的介电体-半导体界面表征技术,因为它灵敏、无损,可在晶圆处理的不同阶段直接应用于晶圆。该方法基于非线性光学效应,测量包含介电体-半导体界面处“静态”电场的信号,该信号与氧化物电荷 Q ox 和界面态密度 D it 直接相关。从 SHG 测量中提取 Q ox 和 D it 的一般方法需要 (i) 根据通过经典电学方法获得的参数进行校准和 (ii) 建模以捕捉影响 SHG 信号的光传播现象。在本文中,我们基于对如何利用 SHG 进行半导体电介质表征的最新进展的回顾来讨论这些问题。简介半导体上电介质堆栈在微纳电子、光伏 (1)、图像传感器 (2)、生物化学传感器等许多应用领域的设备中无处不在。在每种情况下,界面的电质量对设备的性能都有很大的影响。通常使用两个参数来确定这种界面的电质量:固定氧化物电荷密度 Q ox 和界面态密度 D it 。大多数时候,这些参数是通过电测量(例如电流、电容、噪声 (3))获取的,然后采用适当的提取方法并在专门制造的测试设备上实施(例如:金属氧化物半导体 - MOS 电容或晶体管)。一些其他方法可以直接在晶圆级实施,而无需任何额外的测试设备制造步骤,例如:半导体的电晕-开尔文特性 (4)、通过光电导或光致发光衰减测量进行的载流子寿命提取 (5)。除了无需任何额外步骤即可直接在晶圆上进行探测的可能性之外,选择最适合的测量方法的标准还包括灵敏度、非破坏性、区分 D it 和 Q ox 的能力、提供高空间分辨率的能力。可以满足所有这些标准的最新技术是二次谐波产生 (SHG) (6),基于非线性光学效应。
cneis。75039否则,18,ÉdouardBelinAvenue。31401图卢兹9.电话。:+33(0)5 61 27 40 68。网站:http://cnes.fr。订阅:// Censmag/subshake/主题主管:莱昂内尔这样。编辑总监:Marie-Claude Salome。主编:拉梅尔·梅兰(Ramel Melan)。校对:CélineArnaud。撰稿人:钓鱼Dominic,Borel,Hortense Lasbles,Alexia Attai,Ramel Melanie。照片和肖像学:LoïcContavia,Orian,Lauren Laca(Photon)。信用照片:CNE/Freedic Maligne P.4:CNE/ASPACE:CNE/ASG/CSG:JM Guillon; P.5:Peus的Chrisphem;第6页:格里门(Grimault)的CNE/SEMIT;第7页:CNE/ESA/ESA/CSG/T LEDUC; P.8:Cness/Seepspaces P.9:Grimault的CNE/实质性; p.10:Lomé/Project 2025的法语; P.11:CNE/SEMIT FIRE; CNES/根据Piraud; P.12-13:2013 bros. Inc.保留所有权利;合唱电影;帕特电影;第14-16页:克里斯托普·亚伯拉霍兹(Christope Abrahotz);第17页:CNE/ESA/CSG/PIRON部门; Cness/Freeary Maligne; P.18-19:法案的元素; P.20:CNE/SEMIT大火; P.21:P.22-23:CNEIS/ Emmanal Grimault; p.24 cneis; P.25 Cneis/French Maligne;第26页:CNE/Alexandre Ollier; p.32:figuier -cne/esas/csg/csgISSN 1283-9817。Piron - CNES/ARYESPACE/CSG私人青年; CNES插图:Thelma Raphan + Anne网站管理员:Mathilde Tournier。媒介社交:Marmu Aurel,Hermine Chaumulot,Dupont Marie(公民出版社),英文文字:博伊德·文森特(Boyd Vincent)。公民出版社 - 大卫·科尔瓦伊索尔(David Corvaissor),hourtense懒惰,印刷:Menard。Sandrine Ellero,Laurent,Mary,Guillemette Gauquelin-Koch,Pierre Ferrand,Severine Klein和Cassandre Jack。
CNESmag,法国国家空间研究中心的杂志,位于莫里斯昆汀广场 2 号。75039 巴黎 cedex 01.所有通信请写信至:18 avenue Edouard Belin。31401 图卢兹 cedex 9.电话。:+33 (0)5 61 27 40 68.互联网:http://www.cnes.fr。这篇评论是 Communication&Entreprises 的成员。订阅:https://cnes.fr/reabonnement-cnesmag。出版总监:Philippe Baptiste。编辑总监:Marie-Claude Salomé。主编:Mélanie Ramel。校对:Céline Arnaud。编辑人员:Dominique Fidel、Aude Borel、Anaïs Maréchal、Hortense Lasbleis、Mélanie Ramel。照片和图像:Orianne Arnould、Lauren Lacau(Photon)。照片编辑:Loïc Octavia。照片来源:p. 4 CNES/C.Peus – CNES/ESA/Arianespace-CSG 摄影与视频部门-P.Piron – CNES/S.Roelandt;页5 法国国家太空研究中心/C.Peus;页6 ESA-S.Corvaja;页7 CNES/ESA/Arianespace-CSG 摄影与视频部门-P.Baudon;页8 阿丽亚娜集团;页9 法国国家太空研究中心/C.Peus;页10 法国国立太空研究所;页11 (上) 法国国家太空研究中心;页11 (底部) OPUS 航空航天;页13 页。 15 尼古拉·洛卡尔佐;页16 CNES/ESA/Arianespace-CSG 摄影和视频部门-P.Piron;页17 法国国家太空研究中心;页19 CNES/ESA/Arianespace-CSG 摄影和视频部门-P.Piron;页20 CNES/ESA-ill D.Ducros; p.21 CNES/ESA/Arianespace-CSG 摄影和视频部门-P.Piron;页22 (上) 法国国家太空研究中心;页22 (底部) CNES/ESA/Arianespace-CSG 摄影和视频部门-P.Baudon;页24 CNES/ESA/Arianespace/ArianeGroup-CSG 摄影与视频部门-P.Piron;页25 欧洲航天局/S.Corvaja;页26 法国国家太空研究中心;页27 法国国家太空研究中心/Nawan;页33 J.Arnould;页34 在场;页34 法国国立科学研究中心/K.规则;页34 (底部) CNES/Reactive Production/P.贝雷塔;页35(左)行星科学/anthelme B.; p.35 (右)Editions Privat - Panini;页36。AirLiquide/Laurent Lelong。插图:Robin Sarian(Idix)、François Foyard。网站管理员:Sylvain Charrier 和 Marie Fesuick。社交媒体:Mathilde de Vos、Marc L'Helgouach 和 Alice Thomas。英文文本:Boyd Vincent。设计和印前:Citizen Press – David Corvaisier、Mathilde Gayet、Hortense Lasbleis、Fabienne Laurent、Blandine Pouzin。印刷:Ménard。ISSN 1283-9817。谢谢:YannGuélou,Philippe Pujes,AiméeCippe,Emline Deseez,Marie-Anne Clair,Carine Leveau,Carine Leveau,Philippe Collot,Jacques Arnould,Massimiliano Costantini ,Jean Blouvac,Vincent Taponier,Christophe Bonnal,Marie-Sophie Lachesnais,David Tchoukien,Bruno Vieille,JérômeDehouve,JoëlEgalgi,FrédéricMunos,Nathalie Girard,Nathalie Olivier Bugnet,Pierre Guilhem,Jean-Marc Bahu,Horacio Romero,Pascal Noir,Patrick Burdaszewski,Nathalie Cesco,Carole Rossi,Carole Rossi,Michelel Illig,Christophe Chavagnac,Damien,Damien来自 Seze、Marie-Françoise Bahloul、Arnaud Prost
Aude Nicolas 1.2,*,#, Richard Sherva 3.4,*, Benjamin Grenier-Cando 1,*, Yoontae Kim 5,*, Masataka Kikuchi 6, 4 Jigyasha Timsina 7.8, itziar de Rojas 9.10, María Carolina Dalmasso 11.12, Xiaopu Zhou 13,14.15, Yann, Yann. 5 Guen 16.17,Carlos和Arborada-Buscos 18,Maria Aparecida Camargos Bicalho 19,20.21,MaëlennGuchet 22,6 Sven van der Lee 23.24,Monica Goss 23,Monica Goss 25,Atahualpa Castillo 26 25,29.30, Bernard Fongang 25,31.32, Qiong Yang 29.30, Oliver Peters 33.34, Anja 8 Schneider 35.36, Martin Dechgans 37.38.39, Dan Rujescu 40, Norbert Scherbaum 41, Jürgen Deckert 42, Steffi 9 Riedel-Heller 43, Lucrezia Hausner 44, Laura Molina Porcel 45.46,EmrahDüzel47.48,Timo Grimmer 49,Jens 10 Wiltfang 50.51.52,Stefanie Heilmann-Heimbach 53,Susanne Moebus 54,Thomas Tegos 55,Nikolaos 11 Scarmes 55,Nikolaos 11 Scarmes 56.56.57,Oriol feriol dols-dols-dols-dols-dols-dols-dols-icardodol dols-doll dolsocoto dolls-sic.10。 Moreno 59,10,60,JordiPérez-Tur 61.10,MaríaJ。Buldido 62,10,63.64,12 Pau Pastor 65.66,RaquelSánchez-Valle 67,Victoriaálvarez68.69,68.69,Han Cao 13,Han Cao 13,Nance Y. Y. Y. Y. Y. Y. Y. Y. IP 13,14.14.14.14.14.14.14.14.14.14.14.14 k.y.y。 Pijnenburg 23,Henne Holstege 23.92,John Van Swieten 93,Harro Seelaar 93,Jurgen A.H.R.Aude Nicolas 1.2,*,#, Richard Sherva 3.4,*, Benjamin Grenier-Cando 1,*, Yoontae Kim 5,*, Masataka Kikuchi 6, 4 Jigyasha Timsina 7.8, itziar de Rojas 9.10, María Carolina Dalmasso 11.12, Xiaopu Zhou 13,14.15, Yann, Yann. 5 Guen 16.17,Carlos和Arborada-Buscos 18,Maria Aparecida Camargos Bicalho 19,20.21,MaëlennGuchet 22,6 Sven van der Lee 23.24,Monica Goss 23,Monica Goss 25,Atahualpa Castillo 26 25,29.30, Bernard Fongang 25,31.32, Qiong Yang 29.30, Oliver Peters 33.34, Anja 8 Schneider 35.36, Martin Dechgans 37.38.39, Dan Rujescu 40, Norbert Scherbaum 41, Jürgen Deckert 42, Steffi 9 Riedel-Heller 43, Lucrezia Hausner 44, Laura Molina Porcel 45.46,EmrahDüzel47.48,Timo Grimmer 49,Jens 10 Wiltfang 50.51.52,Stefanie Heilmann-Heimbach 53,Susanne Moebus 54,Thomas Tegos 55,Nikolaos 11 Scarmes 55,Nikolaos 11 Scarmes 56.56.57,Oriol feriol dols-dols-dols-dols-dols-dols-dols-icardodol dols-doll dolsocoto dolls-sic.10。 Moreno 59,10,60,JordiPérez-Tur 61.10,MaríaJ。Buldido 62,10,63.64,12 Pau Pastor 65.66,RaquelSánchez-Valle 67,Victoriaálvarez68.69,68.69,Han Cao 13,Han Cao 13,Nance Y. Y. Y. Y. Y. Y. Y. Y. IP 13,14.14.14.14.14.14.14.14.14.14.14.14 k.y.y。Pijnenburg 23,Henne Holstege 23.92,John Van Swieten 93,Harro Seelaar 93,Jurgen A.H.R.Pijnenburg 23,Henne Holstege 23.92,John Van Swieten 93,Harro Seelaar 93,Jurgen A.H.R.13是13,14.15,Fanny C. F. IP 14,15,Natividad Olivar 70,Carolina Muchnik 70,Carolina Cuesta 71,Lorenzo 14 Campanelli 72,Patricia Solis 73,Patricia Solis 73,Daniel Gustavo Politis 71,Silvia Kochen 73,Silvia Kochen 73,Luis 73,Luis 73,Luisio 70,blusio 70,bluse 70,49 García-González74,Raquel Puerta 74,Pablo Mir 75.10,Luis M Real 76.77.10,GerardPiñol-16 Ripoll- 16 Ripoll-16 Ripoll 78.79,JoseMaríaGarcía-Alberca-Alberca-Alberca 80.10 80.10 83,Sami Heikkinen 84,Alexandre deMendonça85,Shima Mehrabian 86,Latchezar Traykov 87,18 Jakub Hort 88.89,Martin Vyhnuk 88.89,Katrine Laura Laura Laura Raster laura laura rastussen 90.91