大气中子辐照谱仪(ANIS)是中国散裂中子源(CSNS)的一条新光束线,主要用于现代微电子的加速测试。它具有类似大气的中子谱,具有准直束斑和泛光束斑。ANIS 总长 40 米,配备中子快门、飞行管、中子扩展器、通量控制器、准直器、清除磁铁、中子滤波器以及光束线屏蔽。ANIS 后端设有控制室、操作室和储藏室。设计、组装、检查测试和初始调试测试于 2022 年成功完成。ANIS 目前处于科学调试的高级阶段,用于测量不同配置下的中子谱、通量和剖面。使用裂变电离室 (FIC)、位置灵敏气体电子倍增器 (GEM)、活化箔和单晶金刚石探测器测量了中子束特性。在这项工作中,我们介绍了 ANIS 的测量光束规格和光束评估,这对于即将启动的 ANIS 用户计划很有希望。还介绍了早期操作和用户实验。
†该材料基于美国能源部电力办公室(OE)的工作。这项研究使用了美国能源部(DOE)科学用户设施的高级光子来源的资源de-ac02-06ch11357。这项研究使用了美国能源部(DOE)科学用户设施办公室(DOE)由Brookhaven National Laboratory为DOE科学办公室运营的美国能源部(DOE)科学用户设施办公室的National Synchrotron Light Source II的Beamline 7-BM(QA)(QAS)。de-sc0012704。这项工作是在综合纳米技术中心进行的,该中心是科学用户设施,该办公室为美国能源部(DOE)科学办公室运营。我们感谢Andrea Bruck博士的海报设计。Sandia国家实验室是由霍尼韦尔国际公司(Honeywell International Inc.)全资子公司Sandia,LLC国家技术与工程解决方案公司管理和运营的多个实验室,该实验室由美国国家能源部国家核安全管理局(NANED NAUD SECUCTION ADVINOCATY)根据合同DE-NA0003525进行。
极紫外光刻 (EUVL) 技术基础设施的开发仍然需要许多领域达到更高水平的技术就绪状态。需要引进大量新材料。例如,开发 EUV 兼容薄膜以采用经批准的 EUVL 光学光刻方法需要以前没有的全新薄膜。为了支持这些发展,PTB 凭借其在 EUV 计量方面 [1] 的数十年经验 [2],在带内 EUV 波长和带外提供了广泛的光化和非光化测量。两条专用的、互补的 EUV 光束线 [3] 可用于辐射度 [4,5] 特性分析,分别受益于小发散度或可调光斑尺寸。EUV 光束线 [5] 覆盖的波长范围从低于 1 nm 到 45 nm [6],如果另外使用 VUV 光束线,则可以覆盖更长的波长。标准光斑尺寸为 1 毫米 x 1 毫米,可选尺寸低至 0.1 毫米至 0.1 毫米。单独的光束线提供曝光设置。过去曾采用 20 W/cm 2 的曝光功率水平,通过衰减或失焦曝光可获得较低的通量。由于差分泵送阶段,样品可以在曝光期间保持在定义的气体条件下。我们介绍了我们用于 EUV 计量的仪器和分析能力的最新概述,并提供了数据以供说明。
摘要在这项工作中,我们显示了使用第二代3D圆柱形微型探测器的低能质子束对具有治疗质量质量的低能质子束的测量。传感器属于基于硅的新型3D微型探测器设计的改进版本,其在西班牙的国家微电子中心(IMB-CNM,CSIC)制造的电极刻在硅内部。使用直径25μm的准螺旋电极和硅体积内20μm的深度使用了一种新的微技术,从而产生了良好的圆柱辐射敏感性。在国家加速器中心(西班牙CNA)的回旋子的18 MeV质子梁线上测试了这些探测器。它们被组装成内部的低噪声读数电子设备,以治疗等效的功能率评估其性能。微量测量光谱,这与沿Bragg曲线的不同深度相对应。在硅中的实验y f值从远端边缘(27.4±2.3)的入口处(27.4±2.3)kevμm -1在远端边缘(27.4±2.3)的入口中(在(27.4±2.3)的入口中。脉冲高能光谱与蒙特卡洛模拟进行了交叉检查,并获得了出色的一致性。这项工作证明了第二代3D-微型估计器的能力,以与质子治疗中临床中心中使用的速率相同的流量速率评估准确的显微标准分布。
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1 罗斯托克大学医学中心放射肿瘤学系,18059 罗斯托克,德国;felix@m20a.de(FJ);martenlscholz@hotmail.de(MS);julia.soloviova@uniklinik-leipzig.de(JS);guido.hildebrandt@uni-rostock.de(GH) 2 欧洲同步辐射装置(ESRF)生物医学光束线 ID 17,38043 格勒诺布尔,法国;krisch@esrf.fr 3 慕尼黑工业大学放射肿瘤学系,81675 慕尼黑,德国;stefan.bartzsch@tum.de 4 亥姆霍兹慕尼黑中心放射医学研究所,85764 慕尼黑,德国 5 伯尔尼大学解剖研究所,3012 伯尔尼,瑞士; jean-albert.laissue@pathology.unibe.ch 6 Niederwiesstr 13C, 5417 Untersiggenthal, 瑞士; hans.blattmann@bluewin.ch 7 莱比锡大学医学中心儿科外科系, 04103 Leipzig, 德国 * 通讯地址: elisabeth.schueltke@med.uni-rostock.de
图 2:(a) 在 SIXS 光束线 (SOLEIL) 进行实时研究的实验装置,(b) 入射角为 α i 的掠入射散射几何。指示了反射的 x 射线束。显示了布拉格角 2 θ 处主 Pd(111) 布拉格反射的指向几何。由于掠入射几何,动量转移 q = kf − ki 与表面法线 n 成角度 θ − α i 。ki 和 kf 分别是入射和散射 x 射线束的波矢。通过扫描探测器角度 δ 和 γ 获得 XRD 图。在沉积过程中,2D 探测器监测白色矩形指示的区域。
陶瓷部门继续支持其独特测量能力的升级和扩展。NIST 高级测量实验室 (AML) 的高分辨率 x 射线计量和纳米摩擦学设施中的仪器今年全面投入使用,并已取得前所未有的分辨率结果。随着 NSLS 两条光束线最近现代化,专用于扩展 x 射线吸收精细结构 (EXAFS) 和 x 射线光电子能谱 (XPS),陶瓷部门及其合作伙伴已经建立了对元素周期表所有元素进行 x 射线吸收光谱分析的能力。为期三年的 SBIR 项目已导致在 NSLS 软 x 射线光束线上开发出最先进的多元素探测器,使数据收集率提高了一个数量级。
该策略被配置为充分利用SLAC/Stanford和更广泛的DOE Complex的综合性质,从而促进了充满活力的研究生态系统来利用这些能力。核心方面是培养我们作为全方位服务的用户科学设施的角色,以在研究生命周期的每个阶段提供员工的变革性投入,并设计和提供下一代的能力,以使LCL保持最前沿。通过与SSRL的协调以及MEV-UEUD的整合以及一套实验室规模的设施来增强这一点,以开发人员,技术,新工具和多样化的科学作品集。该策略采用了一种集成且适应性的实验交付方法,该方法驱动了我们的加速器/FEL,仪器,检测器/数据系统,样本环境,泵/探测激光器,X射线梁线性能和相关系统的共同设计。
1日本千叶大学千瓦大学工程学研究生院2 Idemitsu Kosan Co. Ltd.分子性手性研究中心,奇巴大学,千叶263-8522,日本6 6材料研究所,伦敦大学学院,伦敦大学伦敦大学WC1E 7JE,英国7JE,剑桥大学CB3 0HE,剑桥大学CB3 0HE,Cambridge CB3 0HE,Introwarting of Cambridge and Cambridge,Cambridge,Cambridge,Cambridge,Cambridge,Cambridge,Cambridge,Cambridge,Cambridge,Cambridge,CAMBRIDGIND 9 0 0大学,Gunma 376-8515,日本10边境科学中心,千叶大学,千叶263-8522,日本
