XiaoMi-AI文件搜索系统
World File Search SystemCyclotene
杜邦™ Cyclotene™ 4000 系列
涂敷粘合促进剂并旋转干燥后，将光 BCB 膜直接旋涂到基材上。用于沉积树脂的精确条件（例如旋转速度）将根据所需的最终膜厚度和所使用的树脂配方而有所不同。表 6 显示了 Cyclotene ™ 4022-35、4024-40 和 4026-46 树脂在软烘烤（参见第 4 节）后的厚度与旋转速度的关系以及曝光、显影和固化后的最终厚度。最终固化膜中的大部分膜厚度损失发生在显影步骤中。固化步骤（除去除残留显影剂溶剂外）中的膜厚度损失小于 5%。表 6 中的厚度是使用开放式旋转碗测定的。如果使用有盖或封闭的杯式涂布机，厚度将有所不同，并且取决于旋转时间和旋转速度。图 3 显示了使用开放式和封闭式碗配置的膜厚度比较。
杜邦™ Cyclotene™ 3000 系列
Cyclotene™ 3000 系列先进电子树脂源自 B 阶段双苯并环丁烯 (BCB) 单体，是 Cyclotene™ 系列产品中的干法蚀刻级产品，专门用作微电子器件制造中的旋涂电介质材料。Cyclotene™ 树脂是低介电常数和低介电损耗材料，具有吸湿性低、不起气、低温固化和平面化性能优异等特点（图 1）。Cyclotene™ 产品的特性如表 1 所示。Cyclotene™ 树脂已广泛应用于各种电子应用，包括硅和复合半导体钝化、层间电介质、平板显示器、IC 封装、集成无源器件、MEMS、晶圆键合和 3D 集成以及光电元件。杜邦公司有四种 Cyclotene™ 3000 系列产品可供商业化供应，如表 2 所示。
Dow CYCLOTENE™ 3022-63 双苯并环丁烯 (BCB) 电子树脂数据表
网站 : www.lookpolymers.com 邮箱 : sales@lookpolymers.com 电话 : +86 021-51131842 手机 : +86 13061808058 Skype : lookpolymers 地址 : 上海市奉贤区联合北路215号
可构想的介电启用结构化mems和2.5D / 3D键合系统< / div>
Materials • Substrate: 200mm Silicon • Adhesion Promoter: AP9000C • Dielectric: CYCLOTENE TM 6505 Dielectric (positive tone) Bonding Evaluation 1) Priming with AP9000C: 200mm Wafer Track • 2000rpm spin coat, 150˚C/60sec 2) Spin Coat: 200 mm Wafer Track • 1250 rpm/45 sec targeting 5.5 um after development • 90˚C/90秒3）曝光工具：掩模对准器•ABCD面膜平方柱（1-300 UM功能）•20 UM接近差距4）曝光后延迟延迟：〜15分钟5）开发：200mm Wafer Track