XiaoMi-AI文件搜索系统
World File Search SystemEUV
EUV 掩模吸收层的优化
极紫外光刻 (EUVL) 是最有前途的技术之一，它可将半导体器件制造的极限扩展到 50 纳米及以下的临界尺寸 [1]。EUVL 需要制造反射掩模，它不同于紫外可见光光刻技术所用的传统透射掩模。极紫外 (EUV) 掩模由一个 EUV 波长的反射镜组成，反射镜上沉积了吸收图案堆栈。干涉镜由高折射率和低折射率材料的交替堆栈制成，通常是沉积在基板顶部的 40 个 Mo/Si 双层。通过调整 Mo 和 Si 层的厚度，可以针对 13.5 纳米的波长优化反射率。对于“双层工艺” [2]，吸收图案堆栈由缓冲层顶部的导电吸收层制成，缓冲层用作蚀刻停止层以及吸收层修复步骤中的保护层。过去几年，人们评估了多种材料（Ti、TiN、Al-Cu、TaSi、Ta、TaN、Cr）[2–4] 作为 EUV 掩模的导电吸收材料的可能性。图 1 描述了这种基本的减法 EUV 掩模工艺流程，其中采用了“双层”吸收堆栈。
EUV 光刻胶模型的解离光电离
从使用 248-193 nm (4.8-6.4 eV) 的深紫外 (DUV) 光刻技术转变为使用 13.5 nm (92 eV) 的极紫外 (EUV) 光刻技术，这意味着光与光刻胶薄膜相互作用的方式发生了根本性的变化。虽然 DUV 光通过共振激发选择性地激活光刻胶材料中的化学键，但 EUV 的高光子能量本质上会触发电离事件，但该过程仅具有较低的局部选择性。此外，初级光电离事件会导致光刻胶薄膜中发生复杂的辐射化学反应。为了设计适用于 20 nm 以下特征尺寸成像的强效 EUV 光刻胶材料，了解并最终控制用 EUV 辐射成像的光刻胶膜中的物理和化学过程至关重要。本文使用气相光电子光离子巧合 (PEPICO) 光谱研究了甲基丙烯酸叔丁酯 (TBMA) 的解离光电离，TBMA 是一种广泛用于化学放大光刻胶 (CAR) 聚合物的单体单元。通过只关注 EUV 光子与光刻胶相互作用的初始步骤，可以降低化学的复杂性，并获得如果没有这种孤立视角就无法获得的深刻基本见解。这些见解与进一步的补充实验相结合，是解密 EUV 光刻中的完整化学和物理过程的基本组成部分。
鲁汶肺移植研讨会：推动田野向前推动的创新
日期：2024年12月13日，12：30-15：45地点：Uz Leuven Campus Gasthuisberg，Hestraat 49，3000 Leuven，礼堂Ensor（Groene Straat，Poort 2，2级，2级）注册：直到12月1日，直到12月1日，直到1月1日通过qr code或wwwwwww.uzleuven_20222 _20222
VAXNEUVANCE® 肺炎球菌疫苗吸附15-...
VAXNEUVANCE ® 15 价肺炎球菌吸附疫苗（结合，多糖）剂型 VAXNEUVANCE ® 是一种注射悬浮液，装在一个药筒中，每支 1 或 10 个单剂量预充式注射器，容量为 0.5 毫升。肌肉注射 成人和儿童使用（6 周以上） 组成 活性成分：每 0.5 毫升剂量的疫苗含 32 微克总肺炎球菌多糖（多糖血清型 1、3、4、5、6A、7F、9V、14、18C、19A、19F、22F、23F 和 33F 各 2.0 微克，以及多糖血清型 6B 4.0 微克）与 30 微克 CRM 197 载体蛋白结合。辅料为：氯化钠、L-组氨酸、聚山梨醇酯20、注射用水、铝（以磷酸铝为佐剂）。该疫苗不含防腐剂。面向医疗专业人士的技术信息
VAXNEUVANCE®
VAXNEUVANCE® 可能无法预防疫苗中未包含的肺炎链球菌血清型引起的疾病。1.1 儿科（6 周至 < 18 岁） 根据加拿大卫生部提交和审查的数据，已确定 VAXNEUVANCE® 对儿科患者（6 周至 < 18 岁）的安全性和有效性。因此，加拿大卫生部已批准在 6 周至 < 18 岁的个体中使用儿童用药（见 1 适应症、8.2.1 临床试验不良反应 - 儿科、14 临床试验）。1.2 老年病学（≥ 65 岁） VAXNEUVANCE® 已在老年人群中进行了研究（见 7.1 特殊人群、14 临床试验）。2 禁忌症 VAXNEUVANCE® 禁用于对疫苗的任何成分或任何含白喉类毒素的疫苗有严重过敏反应（例如过敏反应）史的个体（见 6 剂型、强度、成分和包装）。4 剂量和给药 4.2 推荐剂量和剂量调整 VAXNEUVANCE® 的疫苗接种时间表应基于官方建议。肌肉注射 0.5 mL 剂量的 VAXNEUVANCE®。成人 单剂量。儿科婴幼儿常规疫苗接种计划 3 剂方案（两剂基础系列，随后一剂幼儿剂量） 疫苗接种方案包括 3 剂 VAXNEUVANCE®，第一剂在 6 周龄时注射，第二剂在 8 周后注射。第三剂应在大约 11 至 15 个月龄时注射。4 剂方案（三剂基础系列，随后一剂幼儿剂量） 疫苗接种方案包括 4 剂 VAXNEUVANCE®，第一剂在 6 至 12 周龄时注射，基础系列中各剂之间的间隔为 4 至 8 周。第四
激光XE目标发生器的固体XE目标发生器...
本报告的作者建议使用固体Xe颗粒的梯队作为目标。这个想法解决了来自激光等离子体几毫米的喷嘴的问题。由于高原-rayleigh的表面不稳定性的发展，Pellet-Target发电机中的液体氙气射流分解成液滴。从液体表面蒸发导致液滴冷却，并过渡到固态。以这种方式，形成了一个接一个地移动的固体颗粒流。对于液态氢[4]和Xe [5]，已成功证明了与光刻中所需的参数形成具有接近光刻所需的参数的梯队的可能性。该报告介绍了建模和实验活动的结果。
2024年1月19日，疫苗的疫苗召回了某些默克的VaxNeuvance TM
亲爱的VFC提供商，2023年7月，Merck和VFC计划此前曾发出过关于某些VaxNeuvance™疫苗的自愿召回的通知。VFC计划已意识到默克公司正在扩大VaxNeuvance™（NDC＃00006-4329-03）的自愿召回，这是由于客户报告了注射器法兰和/或枢纽中断裂的报告。这种自愿性部分召回特定于注射器中的缺陷，与默克在注射器内部生产的疫苗物质的质量或安全性无关。有关此召回的详细信息包含在默克发送给所有从一个或多个召回批次中接种疫苗的提供商的附件包中，并提供了有关返回剩余产品的具体说明。此召回仅适用于以下十个批号，不适用于其他任何批次：