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基于法拉第笼式蚀刻技术的全钻石扫描探针的开发
我们提出了一种用于原子力显微镜（AFM）的单晶钻石扫描探针的新型制造方法，利用了法拉第笼式角度蚀刻（FCAE）。常见的，基于氧气的，电感耦合的血浆（ICP）钻石的干蚀刻过程相对于可实现的几何形状受到限制。因此，独立微型和纳米结构的制造是具有挑战性的。这是几个应用领域的主要缺点，例如，用于实现基于氮空位（NV）中心的扫描磁力测定探针，并且能够测量纳米级的磁场。与既定的机械钻石设备的既定制造技术相比，将平面设计与FCAE和最先进的电子束光刻（EBL）相比，过程复杂性和成本降低。在这里，我们报告了两种方法的直接比较，并在扫描探针应用程序中目前的第一个概念验证平面-FCAE-PROTOTYPES。
工程维度
北部地区议员迈克尔·韦萨（Michael Wesa），p.eng。dpreley@peo.on.ca东部地区议员Guy Boone，P.Eng。ibhatia@peo.on.ca东部中部地区议员Noubar Takessian，P.Eng。 p.eng。wturnbull@peo.on.ca中尉州长任命迈克尔·陈（Michael Chan），P.eng。mchan@peo.on.ca Lorne Cutler，MBA，P.Eng。lcutler@peo.on.ca Qadira C. Jackson Kouakou，ba，ba，ba，llb qjackson@peo.on.ca Tim Kirkby，p.eng。iolukiyesi@peo.on.ca Nadine Rush，C.E.T。 nrush@peo.on.ca Marilyn Spink，P.Eng。 mspink@peo.on.caiolukiyesi@peo.on.ca Nadine Rush，C.E.T。nrush@peo.on.ca Marilyn Spink，P.Eng。mspink@peo.on.ca