Tae-Han Kim 1,*,In-Ho Kim 2,*,Seung Joo Kang 3,*,Miyoung Choi 4,Baek-Hui Kim 5,Bang Wool EOM 6,Bum Jun Kim 7,Byung-Hoon Min 8,Chang in Choi 2,Choi 2,Tae Min Gong 1,Cheol Min Gong 10 N Kim Jong 1 14 IM 17,Hye Seong Ahn 18,Hyun Lim 19,Hyung-Don Kim 20,Jae-Joon 2公园2 Yu赢得2,2 WA Hoon Kim 25,Kyoung Doo Song 26,Minkyu Jung 27,Mi Ran Jung 28 Yun6 Yoo Min Kim 37,Yoonjin Kwak 38,Young Suk Park 39,Hye Sook Han 40,†,Su Youn Nam 41,†,Seong-Ho Kong 42,†,并代表开发工作组的韩国实践tacetric 2指南Korean gactice 2 GuideLines 2 Guiendines 2指南
高Na EUV扫描仪的引入预计会导致EUV面罩和相关设备的结构发生许多变化。具体来说,用于高NA面膜的新材料可以增强EUV面膜性能,并且EUV颗粒正在基于CNT膜积极改进。此外,针对高NA口罩的测量和检查(MI)技术面临着挑战性的情况,许多公司正在开发新的解决方案。在本演讲中,我们将展示我们目前在高NA EUV面具和相关设备方面的成就。介绍作者in-Yong Kang获得了他的博士学位。D. 2008年汉阳大学材料科学与工程学的学位。他于2008年开始在三星电子产品开始,并从事与EUV面罩开发有关的各种主题。他目前正在Mask Development Team的高级技术集团小组负责人工作,专注于新的EUV材料和设备,用于高NA面具。
• Paul Alivisatos,总裁,化学 • Cheng Chin,物理学 • David DeMille,物理学 • Aaron Dinner,化学 • Todd Dupont,计算机科学 • Greg Engel,化学 • Laura Gagliardi,化学 • Margaret Gardel,物理学 • Philippe Guyot-Sionnest,化学 • William TM Irvine,物理学 • Heinrich M. Jaeger,物理学 • Woowon Kang,物理学 • Ka Yee Lee,化学 • Kathryn J. Levin,物理学 • Michael Levin,物理学 • Peter B. Littlewood,物理学 • David A. Mazziotti,化学 • Sidney R. Nagel,物理学 • Jiwoong Park,化学 • Norbert F. Scherer,化学 • Steven J. Sibener,化学 • Dam Thanh Son,物理学 • Dmitri Talapin,化学 • Bozhi Tian,化学 • Andrei Tokmakoff,化学 • Suri Vaikuntanathan,化学 • Vincenzo Vitelli,物理学 • Gregory A. Voth,化学 • Paul Wiegmann,物理学• Linda Young,物理学 • Luping Yu,化学
1。广东林南现代农业实验室,农业部基因组分析实验室,深圳农业基因组学院,中国农业科学院,深圳518124,中国518124,中国2。广东林南现代农业实验室,农业部基因组分析实验室,深圳农业基因组学院,中国农业科学院,深圳518124,中国518124,中国2。广东林南现代农业实验室,农业部基因组分析实验室,深圳农业基因组学院,中国农业科学院,深圳518124,中国518124,中国2。园艺学院,中国农业大学,北京100193,中国3。 西拉斐特普渡大学园艺和景观建筑部,美国47907,美国4。园艺学院,中国农业大学,北京100193,中国3。西拉斐特普渡大学园艺和景观建筑部,美国47907,美国4。爱丁堡大学生物科学学院分子植物科学研究所,丹尼尔·卢瑟福大厦,麦克斯·卢瑟福大厦上海植物压力生物学中心和CAS卓越分子植物科学中心,中国科学院,上海201602,中国6。综合植物生物学研究所,生命科学学院,江苏师范大学,Xuzhou 221116,中国7。 应用科学大学Mannheim,Paul -Wittsack- str。 10,Mannheim 68163,德国8。 西拉斐特普渡大学生物化学系,美国47907,美国†这些作者对这项工作也同样做出了贡献。 *通信:Justin Goodrich(Justin.goodrich@ed.ac.uk); Jian -Kang Zhu(jkzhu@psc.ac.cn); cui -jun Zhang(zhangcuijun@caas。 cn,张博士负责与本文相关的材料的分布)综合植物生物学研究所,生命科学学院,江苏师范大学,Xuzhou 221116,中国7。应用科学大学Mannheim,Paul -Wittsack- str。10,Mannheim 68163,德国8。西拉斐特普渡大学生物化学系,美国47907,美国†这些作者对这项工作也同样做出了贡献。*通信:Justin Goodrich(Justin.goodrich@ed.ac.uk); Jian -Kang Zhu(jkzhu@psc.ac.cn); cui -jun Zhang(zhangcuijun@caas。cn,张博士负责与本文相关的材料的分布)
斯蒂芬妮·洛维奇 乔什·马雷克 莫娜·玛丽·迈尔斯·马丁内斯 尤莱卡·马丁内斯·卡斯蒂略 卡琳娜·马托斯 松波浩 伊丽莎白·马修斯 珍娜·麦克亨利 詹姆斯·麦克纳马拉 伊曼纽尔·梅德拉诺 奥黛丽·默瑟 S. 门罗 文叶灿 姜文孙 理查德·穆尼 费德里卡·莫斯蒂 多尔萨·莫特瓦利 韩牧 帕特里克·穆卡希 伊娃·瑙曼 托马斯·阮 伊丽莎白/利兹·奥戈尔曼 伊奇·奥吉罗·塞内卡 奥克森丁 塞夫吉·奥兹图尔克 凯特琳·佩斯利 安妮卡·帕特森 迈克尔·巴顿 约翰·皮尔森 黛西·佩雷斯 莎朗·波利 阿贾·普拉加纳 齐家轩 莉莉安娜·奎格利 丹尼尔·昆特罗 尼尔维卡·拉斯托吉 J. 拉塞尔·拉文内尔 纳马·赖歇尔 约瑟夫·里蒂纳 玛丽亚·鲁兹特 布莱恩·鲁伊斯·洛佩兹 劳拉·鲁普雷希特 杰弗里·拉斯 费尔南多·桑托斯·瓦伦西亚
蔡明华博士 SIMTech Dou Yee Technologies – SIMTech/IMRE/IHPC JL – 开发先进粉末冶金 (PM) 制造以提高技术能力和运营效率 陈庆锋博士 IMCB 以新型体外和体内肿瘤模型为指导的 CAR-T 疗法开发 康昌伟博士 IHPC 液化天然气和海上风电的数字化设计和优化 黄兆宏博士 SIMTech 航空航天 MRO 的数字化先进制造工艺 程方博士 ARTC JM VisTec A*STAR 智能视觉联合实验室 用于棕地应用的 3DPLUS 视觉技术 Vempati Srinivasa Rao IME IME 先进包装 3.0 应用卓越中心(包装 3.0) 苏心懿博士 IMCB IMCBNUSSERIXCell 联合实验室:RECET(再生细胞疗法)
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MichaelGütschow1,Jean Jacques Vanden Eynde 2,Josef Jampilek 3,Congbao Kang 4,Arduino A. Mangoni 5.6,Paola Fossa 7,Rafik Karaman 8.9,Andrea Trabocchi 10 Brullo 17,Katalin Prokai-Tatrai 18,Arun K. Sharma 19,Matthieu Schapira 20,21,Yasu-Taka Azuma 22,Laura Cerchia 23,Mariana Spete Giacomo 25,Simon Toria 25,Simon Toria 25,Athina Geronikaki 27 Sousa 32,33,Ivan Kosalec 34,Tiziano Tuccinardi 35,Iola F. Duarte 36,Jorge AR,Massimo Massimo 37 Pellecchia 39,Jussara Amato 15,Giulio Rastelli 40 o Pagano 15,Stefano Mangani 45,Rino Ragno 46,Marghesi Kosi,15 7 FlorenciV.González48,Fernanda Borges 49,Mariarosaria Miloso 50,Jarkko Rautio Rautio Rautio 51和DiegoMuñoz-Torrero 52, *
n 1982年,一年中消耗了约87,000吨的能源:等于近530亿桶石油。四十年后,年度数字增加了一倍以上。随着经济和人口增长的发展,推动了世界能源需求的提高,因此越来越需要改革我们社会的能源基础设施。我们的封面故事“为绿色的明天为绿色推动(第08页)”,研究了跨能源生成范围内的可持续能量技术的明星研究。我们强调了对下一代溶液的持续探索,例如用于氢转化,碳基电子和融合能源系统的催化剂。在相关的双重功能“可持续性的东西(第28页)”中,我们将聚光灯转向了材料科学在更绿色的能量未来中的作用。*明星国家科学学者(PHD)获奖者丽贝卡·库(Rebecca Khoo)和康·鲁伊·加里克(Kang Rui Garrick)在该领域的各个方面讨论他们的研究旅行,
完整的作者列表:林,Yuhan;深圳理工学院张,江;深圳理工学院,霍夫曼高级材料学院,博士后创新实践基地潘迪,哈迪克;威克森林大学,物理邓,Xinglong;阿卜杜拉国王科学技术大学,高级膜和多孔材料中心,化学与生命科学与工程锣部,Qihan; hao的石油化学研究所王;深圳理工学院,霍夫曼高级材料学院,梁;南中国技术大学,化学与化学工程学院康(Kang);深圳理工学院YU,WEI;深圳理工大学黄色,小子;深圳理工学院,霍夫曼高级材料学院Thonhauser,Timo; Wake Forest University,YU物理学系;阿卜杜拉国王科学技术大学,高级膜和多孔材料中心,化学与生命科学与工程部Li,Jing;罗格(Rutg)新泽西州立大学,化学与化学生物学
