器件参数。1 这些参数可分为两大类:决定器件导通状态下性能的参数和决定器件关断状态下性能的参数。表 1 列出了 Keithley SMU 仪器支持的几种功率半导体器件的常见导通状态和关断状态参数。许多测试涉及使用多台 SMU 仪器。Keithley 的 ACS Basic Edition 软件通过管理测试系统中所有 SMU 仪器的配置和数据收集来简化测试配置。与通用启动软件不同,ACS Basic Edition 专为半导体器件特性分析而设计,包含一个测试库;用户可以专注于测试和器件参数,而不是 SMU 仪器配置。本说明中包含的测试结果是使用 ACS Basic Edition 软件获得的,该软件包含在我们的 PCT 配置中。
Keithley 提供广泛的测试功能,包括脉冲、DC 和 C-V。我们的 ACS Basic 软件使用设备专用(而非仪器专用)词汇来简化测量。它还简化了多个源测量单元 (SMU) 仪器之间的交互,因此用户可以专注于设备而不是仪器。IVy Android 应用程序与 2600B 系列 SourceMeter ® SMU 仪器配合使用,可执行 I-V 特性分析,包括双端和三端设备测试和趋势监控,并支持交互式分析和洞察您的设备,无需编程!或者,使用型号 2450 交互式 SourceMeter SMU 仪器和 KickStart I-V 特性分析软件对各种材料、双端和多端半导体设备、太阳能电池、嵌入式系统等执行电流与电压 (I-V) 测试。