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M. Garín、R. Khoury、I. Martín、Erik Johnson。通过纳米颗粒定向毛细管凝聚进行纳米级直接蚀刻。纳米尺度，2020 年，
* 通讯作者：moises.garin@uvic.cat 我们报告了一种通过在纳米颗粒/基底界面的弯月面中毛细管冷凝在纳米尺度上局部输送气相化学蚀刻剂的方法。该过程简单、可扩展且不需要对纳米颗粒进行功能化。此外，它不依赖于材料的任何特定化学性质，除了溶液是水性的和所涉及表面的润湿性之外，这应该使其能够应用于其他材料和化学品组合。具体而言，在这项工作中，我们通过使用暴露于 HF 蒸汽的自组装单层聚苯乙烯颗粒定期对 SiO 2 层进行图案化来演示所提出的工艺。然后使用图案化的 SiO 2 层作为掩模来蚀刻 Si 中的倒置纳米金字塔图案。已经证明了硅纳米图案化适用于从 800 nm 到 100 nm 的颗粒尺寸，对于 100 nm 纳米颗粒，实现了尺寸小至 50 nm 的金字塔。
蒂莫西·比克莫尔（Timothy Bickmore） - 库里计算机科学学院
11/30/24 OFFICE Khoury College of Computer Sciences Northeastern University 360 Huntington Avenue, 524 ISEC Boston, Massachusetts 02115 (617) 373-5477 INTERNET t.bickmore@northeastern.edu http://www.ccs.neu.edu/home/bickmore/ Research lab: http://relationalagents.com马萨诸塞州剑桥市理工学院教育学院2003年2月，亚利桑那州立大学，坦佩，亚利桑那州媒体艺术与科学博士学位东北大学（2005-2011）波士顿，马萨诸塞州计算机与信息科学学院波士顿大学医学院助理教授（2003-2005）波士顿，马萨诸塞州医学助理医学助理教授，通用内科医学
Rita Khoury 博士传记最终版
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