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从光学内存和纳米光子学到光子纳米>
摘要输入物联网（IoT）和第五代（5G）移动网络的时代，对紧凑，成本效益和高音传感器和执行器的需求飙升。光学技术作为对常规电气技术的补充，为构造广泛应用的传感器和执行器提供了一种多功能平台，显示了高数据速率，强大的多重能力，快速响应，低串扰，低串扰以及对电磁干扰的免疫力的优势。在本文中，我们对光学传感和驱动技术的开发过程进行了全面综述。在光学检测器，光传感器（进一步分为物理和化学/生物传感器）中的应用以及光学通信/计算/成像。对于每个应用程序的每个类别，都遵循从光学微电体式系统（MEMS）和纳米光子学到光子纳米系统的技术演变趋势引入进度。还提出了光学传感/致动技术的未来开发方向。
光学 MEMS 芯片在 PCB 上的贴装工艺中的翘曲预测建模与缓解
光学 MEMS 器件对于激光雷达和 AR 汽车应用越来越重要。准确预测和补偿封装翘曲对于保持精确的光学对准和长期可靠性至关重要。团队必须开发一个预测模型来模拟动态热分布期间附着在 PCB 基板上的芯片的翘曲/变形。
正在开发用于主动冷却和温度控制的 MEMS 设备
对于许多小型应用，如微电子元件、微型传感器和微系统，高容量冷却选项仍然有限。NASA 格伦研究中心目前正在开发一种微机电系统 (MEMS) 来满足这一需求。它使用热力学循环直接为热负荷表面提供冷却或加热。该设备可以严格在冷却模式下使用，也可以在几毫秒内切换冷却和加热模式，以实现精确的温度控制。制造和组装是通过半导体加工行业常用的湿法蚀刻和晶圆键合技术完成的。MEMS 冷却器的优点包括可扩展到几分之一毫米、模块化以提高容量和分级到低温、简单的接口和有限的故障模式，以及最小的诱导振动。
空间应用 MEMS 可靠性保证指南
可靠性模型的应用 ................................................................ 16 故障 .............................................................. 18 .............................................................. 9 附加阅读材料 ..............................................................................................
氮化镓 MEMS 谐振器：残余应力如何影响设计和性能
摘要 — 从硅上外延生长的氮化镓 (GaN) 开始，设计、制造并表征了集成压电换能器的预应力微谐振器。在夹紧梁中，众所周知，拉伸应力可用于增加谐振频率。在这里，我们计算了预应力梁中平面外弯曲模式的模态函数，并推导出一个模型来预测谐振频率和压电驱动因子。我们表明，理论和实验结果之间可以获得良好的一致性，并推导出机电转换的最佳设计。最后，我们的模型预测了由于拉伸应力导致的品质因数增加，这已通过真空下的实验测量得到证实。这项研究展示了如何利用外延工艺产生的材料质量和初始应力。
MEMS高温梯度传感器用于高度湍流中的皮肤摩擦测量
摘要 - 本文介绍并讨论了使用MEMS（微电机电系统）获得的高温梯度传感器获得的结果，以在高度湍流中进行时间平均和波动的皮肤摩擦测量。设计为强大的壁挂式悬挂热线结构，使用传统的微观加工技术制造微传感器，该技术与微电脑兼容用于设计集成的智能系统。成功实施了两条风风隧道，在大量湍流中测试了该传感器，主流速度高达270 m/s（马赫数为0.79），这对应于客机巡游的平均速度。实验证明了微传感器的广泛动态范围，而没有达到其极限。微传感器因此表明了其在空气动力应用中测量湍流的价值，特别适合航空药物。
Cardiomems™HF系统Medicare覆盖范围及证据开发研究信息：机构
• National Coverage Determination CardioMEMS : NCD Final Decision Memo CardioMEMS • CMS UB-04 Form: Interactive UB-04 (palmettogba.com) • 2025 ICD-10-PCS: https://www.cms.gov/files/document/2025-official-icd-10-pcs-coding-guidelines.pdf • 2025 ICD-10-CM：https：//www.cms.gov/files/document/fy-2025-icd-10-cm-coding-guidelines.pdf•证据开发的覆盖范围：证据开发的覆盖范围：证据开发| CMS•D4的机构索赔代码UB-04：D4 MM5790注意：该产品旨在由医师的指导或在医师的指导下使用。在使用之前，请参考产品纸箱中的说明（如果可用）或castular.eifu.abbott或Medical.abbott/manuals，以获取有关适应症，禁忌症，警告，预防措施和不良事件的更多详细信息。此材料仅用于医疗保健专业人员。免责声明此材料和本文包含的信息仅用于一般信息目的，并且不打算，也不构成，法律，报销，商业，临床或其他建议。此外，它不是故意的，也不构成报销，付款或费用的代表或保证，或者将收到报销或其他付款。它不打算增加或最大化任何付款人的付款。雅培不对本文档中的代码和叙述列表进行完整或没有错误的列表，不做明示或暗示的保修或保证。同样，本文档中的任何内容都不应视为选择任何特定代码的说明，雅培不提倡或保证适当地使用任何特定代码。客户的最终责任与客户有关。这包括对所有编码的准确性和准确性以及提交给第三方付款人的索赔的责任。此外，客户应注意，法律，法规和承保政策很复杂并且经常更新，因此，客户应经常与其本地承运人或中介机构联系，并应与法律顾问或财务，编码或报销专家进行咨询，以获取与编码，计费，账单，赔偿，赔偿，或任何相关问题有关的问题。此材料仅用于参考目的。未提供或授权营销使用。
嵌入式 MEMS 能量收集器的电气模型和性能
在大多数考虑的应用中，收集源信号的振动能量发生在特定的频带上，因此 MEMS 的频率响应需要足够宽的带宽。所研究的收集器的频率响应如图 5.a 所示，该图显示了在 MEMS 模型的负载下对一组偏置电压 V b 测得的电路输出功率。图 5a 清楚地表明了“软化”效应，其中谐振频率的降低随着 V b 的增加而减小，这与 MEMS 的实际行为一致 [3]。该模型还表明，我们可以在高偏置电压下达到较大的工作带宽，但代价是较低的 P peak 。该模型预测随着 V b 的增加，带宽会显著增加，P Peak 会呈非线性变化。它表明，MEMS 的最佳工作条件是偏置电压足够高（>30V），其中带宽足够大，V out 与其最大值（~10V）不会有显著差异。根据以上结果和观察，我们可以根据以前的研究 [6] 定义一个可靠的 FoM：
基于时间敏感网络的深空网络MEMS集成及可靠传输研究
随着人类太空探索的不断深入，远离地球的深空网络应运而生，不同于传统地面网络，其具有链路频繁中断、时间延长等特点，传统的数据传输机制无法很好地应用于深空网络。针对深空网络中确定性时延与差异化服务质量保障之间的矛盾，提出一种融合时间敏感网络与人工智能的数据传输技术，构建微机电系统（MEMS）。考虑到不同业务需求带来的服务质量差异，将深空网络中的数据传输转化为最小化传输时延与最大化链路利用率的混合整数规划问题，利用人工智能模仿学习进行求解。实验结果表明，所提算法收敛速度快、适用性强，在满足高优先级数据传输要求的同时，能够实现可靠高效的数据传输，并可显著提高吞吐量。
可见光集成光子 MEMS 开关 - MPG.PuRe
摘要：可见光集成光子学可用于传统（C 波段和 O 波段）硅光子学无法实现的应用，包括囚禁离子和中性原子量子实验、生物光子学和显示器。尽管展示了越来越先进的功能和集成度，但低功耗、单片集成的可见光开关和移相器的开发仍然是一项艰巨的挑战。在这里，我们展示了一种用于可见光谱的集成光子静电 MEMS 驱动的 Mach-Zehnder 干涉仪光开关。该设备在 540 nm 波长下以 7.2 dB 的消光比和 2.5 dB 的光损耗运行。测得的 10-90% 上升（下降）时间为 5（28）µ s，实现了约 0.5 nW 的低静态功耗。30 kHz 开关频率下的动态功耗估计为 < 70 µW。