瑞士联邦材料科学技术实验室(EMPA)的科学家的这份新报告强调,与(1)和(2)相关的容量损失可以通过创建人工阴极电解质相(CEI)层来减轻。他们使用分子层沉积(MLD)将岩石酮层直接生长到多孔的NMC811粒子电极上。在这项工作中,将岩石酮层与锂丁氧化锂(Liotbu)和乙二醇作为前体沉积,在Arradiance Gemstar TM TM XTM XT-P反应器中,偶联,与Argon-Flove Box偶联,在低反应器温度下,以避免了电极温的热降解。在基于Si晶片的高射线比结构上的膜厚度覆盖率从210nm线性下降到20:1纵横比的30-40Nm,这是尝试对该技术进行商业化的重要工程变量。尝试在实际电极上,碳颗粒的聚集(以NMC811颗粒之间提供电子接触)阻碍了MLD均匀的生长,从而导致岩石酮覆盖率较小。
随着光刻技术在缩小微电子设备方面的能力不断提高,对改进的光刻胶材料的需求也日益迫切,尤其是对于极紫外 (EUV) 光刻胶。在这项工作中,我们研究了一种称为“alucone”的 Al 基混合薄膜光刻胶的分子层沉积 (MLD),这扩展了我们之前对 Hf 基混合薄膜“hafnicone”作为 EUV 光刻胶进行测试的研究。Alucone 在 100 ºC 下使用金属前体三甲基铝和有机前体乙二醇生长。与 hafnicone 一样,alucone 表现为负性光刻胶,可以分辨 50 纳米线宽,但初步数据表明 alucone 的线条图案比 hafnicone 的线条图案更清晰。使用 3 M HCl 作为显影剂时,铪酮的灵敏度为 400 μC/cm 2,而 alucone 的灵敏度则不太好(使用 0.125 M HCl 时为 4800 μC/cm 2)。我们对 alucone 的研究为 MLD 薄膜的结构特征提供了新的见解,从而可以实现所需的 EUV 响应行为。这一见解可能会加速用于电子束和 EUV 光刻的气相沉积无机光刻胶的开发。关键词:光刻胶、薄膜、极紫外 (EUV) 光刻、分子层沉积 (MLD)、原子层沉积 (ALD)、有机-无机混合材料
欢迎大家进入Metachroma; c白细胞营养不良的外部领导的PA;注重企业的药物开发mee; ng; ng。我是Dean Suhr。我是MLD Founda的联合创始人兼总裁; On,我们的任务是我们关心的,Facilita;同情心,越来越多的意识,影响研究和扩大教育;在Metachroma; C leukodystrophophy。,但我最自豪地成为爸爸,包括琳迪和达西在内的三个女孩。我的两个女儿和少年MLD。他们在1995年被诊断为六年诊断;不幸的是,达西(Darcy)不久后就去世了。对于林迪(Lindy),教科书告诉我们,林迪(Lindy)14岁,我没有资格接受治疗,他将活到20多岁。我很高兴分享我们上个月在夏威夷庆祝了她的42岁生日,但林迪是一个异常值。她提醒我,对MLD的基础科学的研究是S; ll cri; cal。,但是今天,我们专注于翻译;通过从PA的学习中学习并利用这一点来为新的疗法和临床护理策略提供信息。
ADB - 亚洲开发银行 AHs - 受影响家庭 BPEO - 最佳可行环境方案 CDW - 建筑和拆除废物 dB L eq - 连续噪声当量水平,以分贝表示 DMS - 详细测量调查 EA - 执行机构 EMP - 环境管理计划 EPA - 环境保护局 EPPA - 1993 年环境保护和保存法 ES - 环境专家 GMEIWMP 大马累环境改善和废物管理项目 GOM - 马尔代夫共和国政府 GRC - 申诉补救机制 HHs - 家庭 IA - 执行机构 IEE - 初步环境检查 IMO - 独立监测组织 IRC - 部际重新安置委员会 IWMC - 岛屿废物管理中心 ME - 环境部 MF 财政部 MMS 马尔代夫气象局 MNPHI 国家计划、住房和基础设施部 NBS 国家统计局 MPW/100ml - 每 100 毫升水中最大可能细菌数 NAPA - 国家环境行动计划行动(针对气候变化) O&M - 运营和维护 PMDSC - 项目管理、设计和监理顾问 PMU - 项目管理单位 STELCO 国家电力公司 SWM 固体废物管理 RWMF - 区域废物管理设施 WAMCO - 废物管理公司
摘要:插层金属-有机骨架 (iMOF) 型电化学活性芳香金属羧酸盐是各种储能设备和微电子器件的有趣材料候选者。在这项工作中,我们通过原子/分子层沉积 (ALD/MLD) 原位生长此类材料的结晶薄膜;这种方法的显著优势在于可以在简单的电池配置中评估它们的电化学性能,而无需任何添加剂。研究了五种有机连接剂与锂的结合:对苯二甲酸 (TPA)、3,5-吡啶二甲酸 (PDC)、2,6-萘二甲酸 (NDC)、4,4 ′-联苯二甲酸 (BPDC) 和 4,4 ′-偶氮苯二甲酸 (AZO)。特别是,这里首次讨论了 Li-PDC 的电化学活性和 Li-AZO 的晶体结构。我们认为,原位气相薄膜沉积是利用 iMOF 型电极材料(例如微电子和可穿戴设备)的关键要求。关键词:原子层沉积、分子层沉积、薄膜、金属-有机骨架、储能、有机电极■ 简介
十二。参考文献 309 附录 1. 快速环境评估清单 2. 马尔代夫 EPA EIA TOR 合规矩阵 3. 亚洲开发银行 SPS 与马尔代夫 EPPA 之间的差距分析 4. 现有设施的环境审计 5. 关于 IBA 和 CWD 再利用的最终市场调查报告 6. 粉煤灰管理计划 7. 海洋调查综合报告 8. 冷却水温度扩散建模报告 9. 基线环境噪声水平测量报告 10. 实验室分析结果 – 地下水 11. 实验室分析结果 – 海水 12. 关键栖息地分析 13. 社会经济基线调查摘要 14. AUSTAL2000 空气扩散建模报告 15. AERMOD 建模报告 16. 温室气体排放报告 17. 利益相关方磋商综合记录 18. 项目职权范围管理、设计和监督顾问 19. 外部环境专家的职权范围 20. QEMR 模板 21. 外来入侵物种指导说明(马尔代夫环境部提供)
