EUV 光刻胶材料对于实现下一代光刻技术至关重要,该技术旨在实现 5 nm 以下节点的大批量制造 (HVM)。在本研究中,我们报告了 EUV 光刻胶的广泛性能表征,用于未来的高 NA EUV 光刻。我们在 Paul Scherrer 研究所和 ASML 合作的框架内,使用瑞士光源 (SLS) 的 EUV 干涉光刻工具研究了各种光刻胶的性能。本文介绍了 2022 年下半年开展的工作的主要成果。本研究考虑的重要性能特征是分辨率或半节距 (HP)、剂量与尺寸比 (DtS) 和线宽粗糙度 (LWR)。为了评估光刻胶的整体性能,我们使用了 Z 因子。我们研究了化学放大光刻胶 (CAR) 和非 CAR 材料。两家供应商的 CAR 实现了低至 11 nm 半节距的分辨率,而多触发光刻胶 (MTR) 达到了 13 nm 的分辨率。相比之下,MTR 由于其高灵敏度而表现出更好的 Z 因子值。此外,我们研究了底层对金属有机光刻胶 (MOR) 性能的影响。最后,我们讨论了近年来光刻胶性能的总体进展。我们观察到多个光刻胶平台的稳步改进,这对全球 EUV 光刻胶向高 NA EUVL 的发展是令人鼓舞的。
文本对图像(T2I)模型驱动了许多用例,例如在图像生成和编辑中以及场景理解。在此技术报告中,我们概述了Google Imagen家族中最新模型的培训和评估,Imagen3。在其默认配置下,Imagen 3以1024×1024分辨率生成图像,然后可以进行2×,4×或8×UPS采样。我们对其他最先进的T2I模型描述了我们的评估和分析。我们发现Imagen 3比其他模型更优选。特别是,它在光真相和遵守长而复杂的用户提示方面表现良好。部署T2i模型引入了许多新的挑战,我们详细描述了专注于了解与该模型家族相关的安全性和责任风险,以及我们为减少潜在危害的努力。
euv抗材料在启用高量制造(HVM)的高级光刻技术方面起着至关重要的作用,该技术针对低于5 nm的节点。在这项研究中,我们报告了对未来高NA EUV光刻术的可用EUV光孔师的广泛性能表征。,我们使用Paul Scherrer Institute和ASML合作的框架内使用EUV干扰光源工具(SLS)在瑞士光源(SLS)上调查了各种抵抗的性能。本文强调了我们在2023年观察到的主要改进,并提出了最佳性能的6种不同供应商的半票(HP)14及以下。本研究中考虑的重要性能特征是分辨率或HP,剂量到大小(DTS)和线宽度粗糙度(LWR)。为了评估抵抗的整体绩效,我们使用了z因子。我们研究了化学放大的抵抗(CAR)和非车材料。来自两个供应商的汽车达到了一个低至11 nm的分辨率,而多触发器抵抗(MTR)达到了13 nm的分辨率。新的金属有机抗(MOR)的分辨率低至11 nm。MTR和一辆汽车材料达到了迄今为止最低的Z因子。此外,我们研究了卧式对MOR性能的影响,并将新MOR的性能与前身进行了比较。,我们最终讨论了近年来抵抗性能的总体进展。我们观察到了几个抗性平台的稳定改善,这对于全球EUV抗性向高NA EUVL的发展令人鼓舞。
The Hong Kong Chief Executive's 2020 Policy Address unveiled some of our proposed developments that will create new synergies with the Airport City. On the Hong Kong Boundary Crossing Facilities (HKBCF) Island connected to the Hong Kong-Zhuhai-Macao Bridge, we are building two automated car parks with a total capacity of around 6,000 spaces and an autonomous transportation system linking the HKBCF Island to SKYCITY and the Tung Chung MTR Station. These projects will provide much greater convenience for passengers travelling between HKIA and the Greater Bay Area ( GBA).
OPNAVINST 11010.40A N4 2020 年 5 月 27 日 OPNAV 指令 11010.40A 来自:海军作战部长 主题:侵占管理计划 参考:见附录 A 1. 目的 a. 按照参考 (a) 至 (k) 为海军的侵占管理计划制定政策、程序和职责。 b. 本指令包含更新,包括新程序和指南,并将侵占风险保护计划的责任从海军作战部长办公室 (OPNAV) 岸上准备部 (N46) 转移到 OPNAV 能源和环境准备部 (N45)。本指令是完整修订,应完整审查。 2. 取消。OPNAVNST 11010.40; 2011 年 9 月 16 日 CNO 信函 5090 Ser N4/11U156062,关于兼容性和准备状态维持评估和协调的临时指导;2015 年 1 月 29 日 CNO 信函 5000 Ser N4/15U129017,关于修订的区域协调小组要求;2011 年 9 月 16 日 CNO 信函 5090 Ser N4/11U156063,关于解决可再生能源发展的程序;以及 2015 年 4 月 15 日特遣部队兼容性和准备状态维持章程。3. 适用性。本政策适用于美国境内、领土、托管地和属地以及海军管理、控制或以其他方式运营设施、靶场、OPAREA、特殊用途空域和军事训练路线 (MTR) 的所有海军活动和行动、设施、靶场、作战区 (OPAREA)、特殊用途空域和军事训练路线 (MTR)。 4. 职责 a. 海军作战部舰队战备和后勤副司令 (CNO N4) 负责制定侵占风险防护计划政策指导。OPNAV N45 是负责监督海军侵占风险防护计划的牵头办公室。 b. 第 1 章第 3 段将执行责任分配给 OPNAV 梯队 1 和梯队 2 司令部。
总会上午9:30主题演讲:每个阶段个性化疗法 - 专注于PD-L1,NGS,其他标记;测试和计时莱斯利·利兹基(Leslie Litzky),医学博士医学和手术病理学问答面板讨论主持人:科里·兰格(Corey Langer),医学博士|会议主席|血液学肿瘤学面板:马里兰州杰夫·布拉德利(Jeff Bradley)|辐射肿瘤学Melina Elpi Marmarelis,医学博士|血液学肿瘤学Taine Pechet,医学博士|会议联合主席|胸腔手术安德鲁·哈斯(Andrew Haas),医学博士,博士学位|会议联合主席|肺病学和胸腔肿瘤学上午10:00 AM酪氨酸激酶抑制剂的ABC - 履行目标疗法Charu Aggarwal的承诺,MD,MPH |血液学肿瘤学上午10:20 AM独特的当地干预措施为系统治疗服务Stephen Hunt,MTR,MD,PhD,FSIR |介入放射学上午10:50休息|参观展览|与专家聊天,上午11:00脱神面放射学报告Sharyn Katz,医学博士,MTR |放射学上午11:15使临床试验可访问且实用的杰夫·布拉德利(Jeff Bradley),医学博士|辐射肿瘤学11:35 AM辐射疗法:旧目标,新工具Keith Cengel,医学博士,博士学位|辐射肿瘤学11:50 AM免疫疗法和细胞疗法:操纵免疫系统以提高我们的优势Andrew Haas,MD,PhD |会议联合主席|肺病学和胸部肿瘤学梅琳娜·埃尔皮·马尔马利斯(Melina Elpi Marmarelis),医学博士|血液学肿瘤学12:10 pm胸外科肿瘤学的新方向Taine Pechet,医学博士|会议联合主席|胸手术
此外,根据 MTR 命令的规定,委员会还重申了 2014-15 财年的农业销售情况。委员会已独立分析了工作组报告,并同意工作组的意见,即农业销售未给 MSEDCL 带来任何额外收入/利润。MSEDCL 的举措,尤其是有关 AMR 计量的举措,为工作组推荐的基于馈线的仪表读数 (AMR/MRI) 方法提供了可能性。在全面计量投入使用之前,这种临时方法将改善对农业消耗的估计。委员会已指示 MSEDCL 提交路线图,以扩展类似方法以覆盖更多馈线,从而可以扩展基于馈线的组计量方案以覆盖最多的农业消费者。
该程序现在可以进入扩展阶段,并且已经开始研究2023-2025的变更理论以及使用成立阶段结果作为新基线的结果测量框架。国家战略将于2023年初制定,以增强编程连贯性和可持续性。这些将伴随着未来3年的详细国家工作计划和预算。总体计划策略与预期变化主要在活动水平上保持不变,更重点关注针对零售商人,农业价值链,汇款人和汇款人和电子商务平台的数字金融服务和支付解决方案,以及计划在太平洋ICT Intovation Innovation Hub建立。与MTR建议保持一致,该计划还计划扩展其学习和知识管理策略。