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采用 TiO2 模板原子层沉积技术在金刚石膜上制备高 Q 纳米光子谐振器
电子束光刻：根据应用，将电子束光刻胶 (950K PMMA A4，MicroChem) 旋涂至 270 nm-330 nm 的厚度。接下来，在顶部热蒸发 20 nm Au 的导电层，以避免光刻过程中电荷积聚。为了进一步减轻充电效应，我们使用了相对较低的束电流 (0.3 nA)、多通道曝光 (GenISys BEAMER) 和减少电子束在一个区域持续停留时间的写入顺序。光刻胶的总曝光剂量为 1200 uC/cm2，电压为 100 kV (Raith EBPG5000 plus)。曝光后，我们用 TFA 金蚀刻剂 (Transene) 去除导电层，并在 7 C 的冷板上将光刻胶置于 1:3 MIBK:IPA 溶液中显影 90 秒，然后用 IPA 封堵 60 秒，再用 DI 水冲洗。原子层沉积：在进行 ALD 之前，我们在 ICP RIE 工具 (PlasmaTherm Apex) 中使用 10 sccm O2 和 50 W ICP 功率进行三秒等离子曝光，以去除残留聚合物。使用此配方，PMMA 蚀刻速率约为 2.5 nm/s。对于 TiO 2 沉积，我们使用商用热 ALD 室 (Veeco/Cambridge Savannah ALD)。使用四（二甲酰胺）钛 (TDMAT) 和水在 90 C 下沉积非晶态 TiO 2，交替脉冲分别为 0.08 秒和 0.10 秒。沉积期间连续流动 100 sccm N 2，前体脉冲之间的等待时间为 8 秒。沉积速率通常为 0.6 A/循环。 ICP 蚀刻程序：我们通过氯基 ICP RIE 蚀刻（PlasmaTherm Apex）去除过填充的 TiO 2，基板偏压为 150 W，ICP 功率为 400 W，Cl 2 为 12 sccm，BCl 为 8 sccm。蚀刻速率通常为 1.5-1.7 nm/s。SEM 成像：在 5 nm Cr 导电层热沉积后，使用 Carl Zeiss Merlin FE-SEM 对纳米光子结构进行成像。FDTD 模拟：使用 Lumerical 有限差分时域软件模拟环形谐振器、光子晶体腔和光栅耦合器。透射光谱：我们使用自制的共焦显微镜装置，该装置具有独立的收集和激发通道，以进行透射光谱。脉冲超连续源 (430-2400 nm，SC-OEM YSL Photonics) 和光谱仪 (1200 g/mm，Princeton Instruments) 用于宽带测量。为了对单个腔体谐振进行高分辨率扫描，我们使用 50 kHz 线宽、可调 CW 激光器 (MSquared) 进行激发，并使用雪崩光电二极管 (Excelitas) 进行检测。金刚石膜：通过离子轰击 34 生成 500 nm 厚的金刚石膜，并在阿贡国家实验室通过化学气相沉积进行覆盖。在对离子损伤层进行电化学蚀刻后，去除悬浮膜并用 PDMS 印章翻转。然后使用 ~500 nm 的 HSQ 抗蚀剂将它们粘附到 Si 载体上，并在氩气中以 420 C 的温度退火 8 小时。最后，使用 ICP 蚀刻法将膜蚀刻至所需厚度，蚀刻气体为 25 sccm Ar、40 sccm Cl2、400 W ICP 功率和 250 W 偏压功率。蚀刻速率通常为 1.2-1.4nm/s。
2025年1月的研究入学空缺.xlsx
S.No FACULTY NAME EMP ID SUBJECT SPECIALIZATION Email Id Mobile No No of Students currently guiding Vacancy Remarks 1 Dr Lincy Kirubadharshini B 15835 Agricultural Entomology lincy.b@vit.ac.in 9715802550 5 1 2 Dr Ramesh Kumar S 17924 Horticulture rameshkumar.s@vit.ac.in 9524541098 6 0 3 Dr. Sowbiya Muneer 15758 Agricultural Biotechnology/Horticulture sowbiya.muneer@vit.ac.in 9597559708 6 0 4 Dr. Vidisha Tomer 17881 Food Science and Technology vidisha.tomer@vit.ac.in 7011421664 6 0 5 Dr. Annie Jenifer M. 15967 Agricultural Engineering, remote sensing and GIS application in ground water management anniejenifer@vit.ac.in 8670530383 2 4 6 Dr. Saravanan S. 15829 Agricultural Engineering, Remote sensing and GIS application in agriculture saravanan.siva@vit.ac.in 9566178304 4 2 7 Dr. Madhusmita Dishri 17887 Horticulture /Vegetable Science, Vegetable Breeding madhusmita.dishri@vit.ac.in 7978314062 0 6 8 Dr. T. Pradeesh Kumar 18952 Agronomy, Weed management, nanoherbicide, Stress crop Production and Nutrient management pradeeshkumar.t@vit.ac.in 9751010945 1 5 9 Dr Priyadharshini B 16176 Plant pathology and Mushroom Biotechnology priyadharshini.b@vit.ac.in 9585519904 6 0 10 Dr. Jagan mohan Obeneni 15777 Agricultural Biotechnology, Biochemistry and Molecular Biology jagan.obbineni@vit.ac.in 9944197852 5 1 11 Dr. Krishnaprabu n 18909年农学，杂草管理，纳米糖化，压力作物生产和营养管理。krishnaprabu.n@vit.ac.in 8870076710 0 0无向导12 Thirumalaikumar博士R 17588在气候智能保护农业下的农艺，杂草和水管理。
果阿第 35 届毕业典礼排名名单
7 阿育吠陀医学与外科学士考试（专业） 425 201808902 F Londhe Veda Vinay 2022 年 11 月 _ 808/1100 73.45% 一等第一名 8 阿育吠陀医学与外科学士考试（专业） 456 201809176 F Todankar Amisha Pramod 2022 年 11 月 _ 779/1100 70.82% 一等第二名 9 阿育吠陀医学与外科学士考试（专业） 411 201811080 F Gogate Poorva Padmanabha 2022 年 11 月 _ 770/1100 70% 一等第三名 10 医学学士和外科学士考试（专业） 547 201810494 F Vedha R Shetye 2023 年 2 月 _ 666/900 74 NA 第一名 11 医学学士和外科学士考试（专业） 535 201810484 M Shirodkar Omkar Rajkumar 2023 年 2 月 _ 641/900 71.22 NA 第二名 12 医学学士和外科学士考试（专业） 521 201810476 F Rao Gautami Nitin 2023 年 2 月 _ 620/900 68.88 NA 第三名 13 美术学士（绘画）考试（专业） 6 20196933 F Firuza Rashida Rodrigues 2023 年 4 月 _ 428/600 71.30% 优异 第一名 14 美术学士（绘画）考试(专业) 17 20192721 M Praveen Deepak Zambaulikar 2023 年 4 月 _ 424/600 70.66% 优异 第二名 15 美术学士（绘画）考试（专业） 2 20192709 F Ashita Ajay Matondkar 2023 年 4 月 _ 423/600 70.50% 优异 第三名 16 美术学士（应用艺术）考试（专业） 8 20192990 S Jonathan Ananias Vas 2023 年 4 月 _ 419$1/600 69.83% 优异 第一名 17 美术学士（应用艺术）考试（专业） 22 20193003 F Sakshi Sandeep Hadfadkar 2023 年 4 月2023 _ 394/600 65.66% 一等 第二名 18 美术学士（应用艺术）考试（专业） 27 201903008 F Siya Vaibhav Tamba 2023 年 4 月 _ 388/600 64.66% 一等 第三名 19 美术硕士（应用艺术）考试（专业） 3 200900423 F Simoes Priya Merlin 2023 年 7 月 _ 400/600 66.66% 一等 第一名 20 美术硕士（应用艺术）考试（专业） 2 201704400 F Naik Siddhi Rajendra 2023 年 7 月 _ 360/600 60% 一等 第二名 21 美术硕士（应用艺术）考试(专业) 4 202105953 M Surve Shubham Rakesh Roshni 2023 年 7 月 _ 360/600 60% 一等 第二名 22 美术硕士（绘画）考试（专业） 4 201600855 M Phal Desai Ashish Ulhas 2023 年 7 月 _ 452/600 75.33% 优异 第一名 23 美术硕士（绘画）考试（专业） 5 201704378 M Velip Prayuj Prakash 2023 年 7 月 _ 439/600 73.10% 优异 第二名 24 美术硕士（绘画）考试（专业） 3 201600916 M Naik Sahil Somnath 2023 年 7 月 _ 413/600 68.83% 一等 三等 25 水文硕士考试（专业） 3 201812368 M Avishekh Yadav 2023 年 1 月 _ 1528/1900 80.40% O（优秀）第一名 26 水文硕士考试（专业） 2 201812367 M Loghanathan V 2023 年 1 月 _ 1522/1900 80.10% O（优秀）第二名 27 水文硕士考试（专业） 1 201711212 M Kumar Shaswat 2023 年 1 月 _ 1474/1900 77.50% A+ 优秀 第三名 28 医学博士 呼吸医学考试（专业） 21 202012114 M Dr. Arjun EK 2023 年六月 _ 563 70.375 通过 第一名 29 医学博士 呼吸医学考试（专业） 25 201308969 F Dr. Varnana Suresh AT 2023 年六月 _ 540 67.5 通过 第二名 30 医学博士 呼吸医学考试（专业） 24 202011687 F Dr. Ranjitha MR 2023 年六月 _ 516 64.5 通过 第三名
第 98 届参议院会议记录
序号 ROLL 号 部门 姓名 性别 类别 课程名称 1 P160005AR AR AROMAL VM GEN 建筑与规划博士 2 P170090AR AR FATHIM RASHNA KALLINGAL F GEN 建筑与规划博士 3 P180032AR AR ROHIT RAMAKRISHNA NADKARNI M GEN 建筑与规划博士 4 P180076AR AR SHAHIM ABDURAHIMAN MM GEN 建筑与规划博士 5 P130062AR AR Vidhya G Mohan F OBC 建筑与规划博士 6 P170013BT BT RESHMI SASI F OBC 生物科学与工程博士 7 P180031CH CH AKASH M CHANDRAN M SC 化学工程博士 8 P180037CH CH JENNY NF OBC 博士化学工程博士 9 P180021CH CH Johnsan RM SC 化学工程博士 10 P180010CH CH MONA MARY VARGHESE F GEN 化学工程博士 11 P180091CH CH RAHUL KRISHNA BM OBC 化学工程博士 12 P180014CH CH SHALINI VF GEN 化学工程博士 13 P140031CH CH Sindhu NF GEN 化学工程博士 14 P140078CH CH SONY GEORGE M GEN 化学工程博士 15 P180084CH CH Y. Raju M SC 化学工程博士 16 P200022CY CY Amina Hamnas KM F OBC 化学博士 17 P170063CY CY ATHULYADAS F GEN 化学博士 18 P180028CY CY JISHNU SAI GM GEN 化学博士 19 P170065CY CY PARVATHY PF GEN 化学博士 20 P180025CY CY SUBIN KC M GEN 化学博士 21 P170079CY CY VIDHYA CVF GEN 化学博士 22 P200003CE CE ANISHA A. F GEN 土木工程博士 23 P180118CE CE Anjana R. Menon F GEN 土木工程博士 24 P180117CE CE APURVA AKF GEN 土木工程博士 25 P190010CE CE ARATHI ARF OBC-NCL 土木工程博士 26 P170102CE CE BABITHA BENJAMIN F OBC 土木工程博士 27 P180132CE CE GEETHU ELSA THOMAS F GEN 土木工程博士 28 P170014CE CE JISHNU VPM OBC 土木工程博士 29 P160026CE CE KRISHNACHANDRAN.VN M GEN 土木工程博士 30 P170085CE CE Ms. Devipriya VP F GEN 土木工程博士 31 P180055CE CE NAYANATHARA OSF GEN 土木工程博士 32 P160006CE CE P KABBILAWSH M GEN 土木工程博士 33 P140086CE CE R SATHYA PRAKASH M SC 土木工程博士 34 P170007CS CS ANITA JOHN F GEN 计算机科学与工程博士 35 P170059CS CS BIJOY MBM SC计算机科学与工程博士 36 P180085CS CS KRISHNENDHU SPF GEN 计算机科学与工程博士 37 P190004CS CS Lekshmy P Chandran F OBC 计算机科学与工程博士 38 P170080CS CS MERLIN GEORGE F GEN 计算机科学与工程博士 39 P130045CS CS NISHAMOL PHF OBC 计算机科学与工程博士 40 P170027CS CS Remi Raman F GEN 计算机科学与工程博士 41 P180070EE EE ANJITHA VF GEN 电气工程博士 42 P190008EE EE Dil Kumar TR M OBC 电气工程博士 43 P170078EE EE EMIL NINAN SKARIAH M GEN 电气工程博士 44 P170071EE EE JACOB P VARGHESE M GEN 电气工程博士 45 P140089EE EE JAYAKRISHNAN SRM GEN 博士电气工程博士 46 P140049EE EE JOSEPH P VARGHESE M GEN 电气工程博士 47 P180063EE EE LAKSHMI THARAMAL F GEN 电气工程博士 48 P160004EE EE Mohammed Shafi KP M OBC 电气工程博士 49 P180079EE EE REEMA. NF OBC 电气工程博士 50 P140003EE EE SIGI C JOSEPH M GEN 电气工程博士 51 P200001EC EC ANUJA GEORGE F GEN 电子与通信工程博士 52 P180093EC EC ARJUN HARI MM GEN 电子与通信工程博士 53 P180012EC EC KOPPERUNDEVI.PF OBC 电子与通信工程博士 54 P160011EC EC LEKSHMI MS F GEN 电子与通信工程博士 55 P160048EC EC NISANTH. AM OBC 电子与通信工程博士 56 P190030EC EC SUBODH RAJ MSM GEN 电子与通信工程博士 57 P190135EC EC TRESA JOSEPH F GEN 电子与通信工程博士 58 P180056NS NS ARUNA VIJAYAN F OBC 材料科学与工程博士 59 P140114NS NS MADHU AKM OBC 材料科学与工程博士 60 P190084MT MT Merin Joseph F GEN 材料科学与工程博士 61 P180119NS NS MUHAMMAD RABEEH VP M OBC 材料科学与工程博士 62 P190012MA MA ANNTREESA JOSY F GEN 数学博士 63 P170041MA MA BHANUPRIYA CKF OBC 数学博士 64 P140109MA MA DEEPAK PM GEN 数学博士 65 P190011MA MA GAYATHRI GF GEN 数学博士 66 P160028MA MA Jamsheena PF OBC 数学博士 67 P190059MA MA JULIA T THOMAS F GEN 数学博士 68 P180125MA MA RASMI KF GEN 数学博士 69 P160060MA MA SAMEER POONGADAN M OBC 数学博士 70 P180058MA MA Sobin Thomas M GEN 数学博士 71 P180061MA MA Swathi VV F OBC 数学博士 72 P160082MA MA YASSER KT M OBC 数学博士 73 P180095ME ME AJITH KURIAN BABY M GEN 机械工程博士 74 P180106ME ME ALOSH JAMES M GEN 机械工程博士材料科学与工程博士 59 P140114NS NS MADHU AKM OBC 材料科学与工程博士 60 P190084MT MT Merin Joseph F GEN 材料科学与工程博士 61 P180119NS NS MUHAMMAD RABEEH VP M OBC 材料科学与工程博士 62 P190012MA MA ANNTREESA JOSY F GEN 数学博士 63 P170041MA MA BHANUPRIYA CKF OBC 数学博士 64 P140109MA MA DEEPAK PM GEN 数学博士 65 P190011MA MA GAYATHRI GF GEN 数学博士 66 P160028MA MA Jamsheena PF OBC 数学博士 67 P190059MA MA JULIA T THOMAS F GEN 数学博士 68 P180125MA MA RASMI KF GEN 数学博士 69 P160060MA MA SAMEER POONGADAN M OBC 数学博士 70 P180058MA MA Sobin Thomas M GEN 数学博士 71 P180061MA MA Swathi VV F OBC 数学博士 72 P160082MA MA YASSER KT M OBC 数学博士 73 P180095ME ME AJITH KURIAN BABY M GEN 机械工程博士 74 P180106ME ME ALOSH JAMES M GEN 机械工程博士材料科学与工程博士 59 P140114NS NS MADHU AKM OBC 材料科学与工程博士 60 P190084MT MT Merin Joseph F GEN 材料科学与工程博士 61 P180119NS NS MUHAMMAD RABEEH VP M OBC 材料科学与工程博士 62 P190012MA MA ANNTREESA JOSY F GEN 数学博士 63 P170041MA MA BHANUPRIYA CKF OBC 数学博士 64 P140109MA MA DEEPAK PM GEN 数学博士 65 P190011MA MA GAYATHRI GF GEN 数学博士 66 P160028MA MA Jamsheena PF OBC 数学博士 67 P190059MA MA JULIA T THOMAS F GEN 数学博士 68 P180125MA MA RASMI KF GEN 数学博士 69 P160060MA MA SAMEER POONGADAN M OBC 数学博士 70 P180058MA MA Sobin Thomas M GEN 数学博士 71 P180061MA MA Swathi VV F OBC 数学博士 72 P160082MA MA YASSER KT M OBC 数学博士 73 P180095ME ME AJITH KURIAN BABY M GEN 机械工程博士 74 P180106ME ME ALOSH JAMES M GEN 机械工程博士
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