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冷却塔臭氧处理
冷却塔的作用是冷却循环水流（见图 1）。冷却塔充当热交换器，通过下落的水推动周围空气，使部分温水蒸发（蒸发释放热量，提供冷却），然后将较冷的水循环回需要冷却的任何设备（例如冷却器冷凝器）。通常，在冷却塔水中添加氯和螯合剂等化学物质，以控制生物生长（称为“生物膜”）并抑制矿物质积聚（称为“水垢”）。控制生物膜和水垢对于保持冷却塔的传热效率至关重要。随着塔中的水量通过蒸发和漂移减少，这些化学物质及其副产品的浓度会增加。冷却塔还会从周围空气中吸收污染物。为了将化学物质和污染物浓度保持在合理水平，需要定期通过称为“排污”或“放气”的过程从系统中排出水。排污水和因蒸发和漂移而损失的水被新鲜的“补充”水（也含有矿物质和其他杂质）取代。
真空沉积之前的UV/臭氧工艺
自1976年以来，石英晶体共振器领域的大多数制造商一直在使用UV/臭氧清洁。此过程中的一些原始工作是在该领域完成的。（请参见图5）超细石英底物对于制造非常稳定的频率控制装置所需的电极膜粘附至关重要。通常使用UV/臭氧是最终的清洁步骤，过程时间为1-5分钟。...表面声波（S.A.W.）设备也是具有相似制造过程和清洁要求的pi-ezoeleclectric设备。尼橙锂和石英用于制造锯设备。该行业组中的许多用户都使用连接角度仪或蒸汽成核测试来监视清洁度。