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“使用光子线键合在硅光子集成芯片上的包装可调单模III-V激光”,(2024)Deenadayalan等人,IEEE,IEEE 74th(ECTC),Denver,Colorado,Colorado,USA
用于在 PWB 中嵌入电容器的材料 Kazunori Yamamoto、Yasushi Shimada、Yasushi Kumashiro 和 Yoshitaka Hirata 日立化学株式会社 日本茨城县下馆 摘要 我们开发了一种名为 MCF-HD-45 的新型树脂涂层箔 (RCF) 材料,可嵌入 PWB 中构成电容器。该材料由热固性树脂和高介电常数 (Dk) 填料组成。填料具有多峰尺寸分布以实现高负载;特定的表面活性剂对于保持填料在清漆中的分散稳定性也至关重要。这些技术使这种材料具有 45 的高 Dk 和出色的可靠性。本文介绍了该材料应用于手机功率放大器模块和低通滤波器的测试结果,以及数据库对高频电路仿真的好处。简介 近年来,手机等无线设备的性能大大提高,尺寸也减小了。这种趋势推动了 RF 模块小型化技术的发展。以前,人们采用较小的半导体和无源器件来实现这一目的。然而,为了进一步减小尺寸,人们正在积极研究在 PWB 中嵌入无源和有源器件的技术。关于使用低温共烧陶瓷 (LTCC) 或硅作为基板的嵌入式无源器件的报道很多。如今,人们正在积极研究将有机基板用作此目的的基板,1-5 因为它们的热膨胀系数 (CTE) 与主板相匹配,并且易于扩大基板尺寸。如果现有的有机基板制造工艺适合嵌入无源器件,它们将具有巨大的成本效益优势。如今,模拟技术对于 RF 模块的电路设计非常重要。然而,适用于 PWB 中嵌入式无源器件的电路设计的数据库很少。电路设计师、PWB 制造商和材料供应商之间的合作将是必要的,以激活嵌入式无源技术。实验部分以改性环氧树脂为高分子材料,以Dk=1500的钛酸钡(BaTiO 3)为高Dk填料,选择适当的溶剂将各组份材料配成清漆,用砂磨机混合制成均质清漆,并添加一些表面活性剂或分散剂。然后将清漆涂在典型的铜箔(3/8盎司)上,采用标准涂覆技术,得到名为MCF-HD-45的新型RCF。在此过程中,绝缘层厚度控制在20μm左右。用于可靠性测试等的试样采用传统的层压工艺制作,即在180 OC下2.5 MPa压力下放置60分钟。然后在以下条件下进行可靠性测试:85 OC/85%RH/6 V dc。电路仿真采用安捷伦科技公司的先进设计系统 (ADS) 进行。采用同一制造商的矢量网络分析仪 (VNA) 测量材料及其应用的高频特性,该分析仪配备探针台以控制台面温度。结果与讨论图 1 显示了嵌入 PWB 中的无源元件的概念。由夹在两个电极(例如铜箔)之间的聚合物复合材料制成的厚膜电容器、由薄膜和两个电极制成的薄膜电容器以及通过在基板上图案化制成的电感器可用作嵌入 PWB 中的无源元件。
高密度PWB Ryoichi Watanabe和Hong的新电路编队技术赢得了Kim Samsung Electro-Mechanics Co.,Ltd。Suwon,S。韩国摘要为满足普华永道的未来需求,已讨论了普华永道的各种流程,材料和工具的技术。特别重要的是高端PWB的电路形成技术。在这些年中,从工业上讲,良好模式的电路形成方法已经改变了从减法过程到半添加过程(SAP)。SAP可以形成更细的电路,因为它不会引起侧面蚀刻,这是减法方法的问题。但是,SAP的闪光蚀刻过程会导致其他问题,例如由于电路之间的残留种子金属层,电路蚀刻和由于蚀刻而引起的电路分层引起的短缺陷。同样,由于形成电路的绝缘体表面的粗糙度,不仅有良好的电路形成的困难,而且是电特性的损失。在本文中,讨论了一种新的电路形成方法,以克服SAP原因闪光蚀刻过程的问题。它不需要闪光蚀刻过程,因此可以形成更细的模式。该细线电路形成的能力取决于图案抵抗分辨率,并被确认在L/S(线/空间)= 10/10UM或更少的情况下表现良好。也将电路模式埋在绝缘体层中,并且是带有绝缘体表面的刨床,因此电路具有高骨强度,具有绝缘体,并且通过制造设备或工艺之间的处理,损坏较小。此方法适用于建立PCB和FCP作为满足未来需求的电路形成技术。介绍电子设备的演变,该电子设备的发展速度更快,更小,更多功能但更具成本效益,PWBS的各种技术对于较高的密度需要各种技术。三星电力学有限公司,有限公司制造了许多PWB,例如HDI,用于手机,数字静止相机等,BGA软件包,FC BGA包装。为了满足未来的需求,特别是对于FCBGA,由于其高密度,生产FC BGA的产品变得越来越困难。电路的形成是需要在高密度方面快速进步的过程之一。已讨论了作为电路形成过程的减法过程和半添加过程(SAP),以提高其高密度。1,3但是,由于化学蚀刻而引起的减法过程具有侧面蚀刻的基本问题,并且由于闪光蚀刻过程,SAP具有局限性。SAP的闪光蚀刻过程会导致电路蚀刻等问题,如图1所示,在电路底部切割,如果闪光蚀刻不足,则在电路底部和种子层残基。由于种子层通常是铜,与电路相同,因此闪光蚀刻过程不仅蚀刻了种子层,还可以蚀刻电路。因此,电路宽度和厚度必须比闪光蚀刻之前的最终尺寸更宽,更厚,以在闪光蚀刻后保持设计规则。例如,在降低20UM电路的底部分离后,如图1所示,仅粘附的宽度仅为20UM螺距,如图1所示。这被认为是不足以为20UM电路提供足够的剥离强度。当电路变得更细时,由于制造输送机或滚筒的处理损坏,底切将是一个更大的问题,制造业产量将更低。出于这些原因,需要基于新概念的电路形成技术才能使线路电路形成并解决这些技术困难。
