摘要:聚对二甲苯 (PC) 因其高机械强度和生物相容性等优异性能在过去几年中引起了极大的关注。当用作柔性基板并与高κ电介质如氧化铝 (Al 2 O 3 ) 结合时,Al 2 O 3 /PC 堆栈在生物医学微系统和微电子等领域的各种应用中变得非常引人注目。对于后者,尤其需要氧化物的原子层沉积,因为它可以沉积高质量和纳米级氧化物厚度。在本文中,实现了在 15 μ m 厚的 PC 层上进行 Al 2 O 3 的原子层沉积 (ALD) 和电子束物理气相沉积 (EBPVD),并通过 X 射线光电子能谱结合原子力显微镜研究它们对 Al 2 O 3 /PC 所得堆栈的影响。我们发现,基于 ALD 的 Al 2 O 3 /PC 叠层可产生纳米柱状表面,而基于 EBPVD 的 Al 2 O 3 /PC 叠层可产生预期的光滑表面。在这两种情况下,Al 2 O 3 /PC 叠层都可以轻松地从可重复使用的 SiO 2 基板上剥离,从而产生柔性 Al 2 O 3 /PC 薄膜。这些制造工艺经济、产量高,适合大规模生产。尽管 ALD 在半导体行业特别受欢迎,但我们发现 EBPVD 更适合实现用于微电子和纳米电子的 Al 2 O 3 /PC 柔性基板。
摘要:在一个越来越相互联系的世界中,电子设备渗透到我们生活的各个方面,旨在监视生理信号的可穿戴系统正在迅速接管运动和实力领域,以及康复和康复等生物医学领域。目的是为该领域提供新颖的方法,在本文中,我们讨论了可穿戴系统的开发,用于根据可移植的,低功耗的自定义PCB的特定使用,该系统设计用于与非惯用性的超易于良好的超透明和可强调的Parylene-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo Electrodes。已在标准的休息状态实验中测试了所提出的系统,并且将其在两个不同状态的歧视方面与商业可穿戴设备的歧视(即穆斯耳机)进行了比较,显示出可比的结果。这一第一个初步验证表明,可以方便地采用可方便的可容纳纹身纹身电极集成了便携式系统,以使大脑活动的不可思议。
摘要 - 世界各地的微电子的快速增长和采用,导致人们对与其使用和处置有关的环境问题的认识越来越高。卤素多年来在微电子中具有各种用途,在处理电子废物期间会发出有毒和腐蚀性气体。许多组织已经向电子产业施加了压力,以从其产品中完全消除卤素(例如,氟,氯和溴)。在为环保产品努力的各种努力中,使电子产品完全无卤素引起了人们的关注,尤其是在亚洲和欧洲。这种非凡的甚至影响了全球的保形涂料,大多数电子产品都依赖于它们的长期保护,可靠性和对水和其他腐蚀性刺激性环境的高性能。在各种涂层选项中,丁香烯类涂层家族为微电器提供了有益的特性,比普通epoxies,丙烯酸酯,尿氨酸和硅酮提供的许多特性改善了。虽然苯乙烯n是唯一不包含卤素的市售的parylene,但其对水分和其他腐蚀性化学物质的障碍性能不如其他pary烯那样稳健。为了满足该行业的当前和未来需求,已经开发了一种新的无卤素的ParyleneParyFree®。对新涂层进行测试包括IPC-CC-830B的IPX防水性,耐腐蚀性和质量。这项研究向微电子行业介绍了一种新的parylene类型,并分享了ParyFree®Paryleneparylene保形涂层的特征和质量结果,以保护,可靠性和良好的微电子学性能。