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Al2O3 沉积方法对 Parylene C 的影响
摘要：聚对二甲苯 (PC) 因其高机械强度和生物相容性等优异性能在过去几年中引起了极大的关注。当用作柔性基板并与高κ电介质如氧化铝 (Al 2 O 3 ) 结合时，Al 2 O 3 /PC 堆栈在生物医学微系统和微电子等领域的各种应用中变得非常引人注目。对于后者，尤其需要氧化物的原子层沉积，因为它可以沉积高质量和纳米级氧化物厚度。在本文中，实现了在 15 μ m 厚的 PC 层上进行 Al 2 O 3 的原子层沉积 (ALD) 和电子束物理气相沉积 (EBPVD)，并通过 X 射线光电子能谱结合原子力显微镜研究它们对 Al 2 O 3 /PC 所得堆栈的影响。我们发现，基于 ALD 的 Al 2 O 3 /PC 叠层可产生纳米柱状表面，而基于 EBPVD 的 Al 2 O 3 /PC 叠层可产生预期的光滑表面。在这两种情况下，Al 2 O 3 /PC 叠层都可以轻松地从可重复使用的 SiO 2 基板上剥离，从而产生柔性 Al 2 O 3 /PC 薄膜。这些制造工艺经济、产量高，适合大规模生产。尽管 ALD 在半导体行业特别受欢迎，但我们发现 EBPVD 更适合实现用于微电子和纳米电子的 Al 2 O 3 /PC 柔性基板。
一种新的无卤素parylene，用于在恶劣环境中的高性能和微电子的可靠性
摘要 - 世界各地的微电子的快速增长和采用，导致人们对与其使用和处置有关的环境问题的认识越来越高。卤素多年来在微电子中具有各种用途，在处理电子废物期间会发出有毒和腐蚀性气体。许多组织已经向电子产业施加了压力，以从其产品中完全消除卤素（例如，氟，氯和溴）。在为环保产品努力的各种努力中，使电子产品完全无卤素引起了人们的关注，尤其是在亚洲和欧洲。这种非凡的甚至影响了全球的保形涂料，大多数电子产品都依赖于它们的长期保护，可靠性和对水和其他腐蚀性刺激性环境的高性能。在各种涂层选项中，丁香烯类涂层家族为微电器提供了有益的特性，比普通epoxies，丙烯酸酯，尿氨酸和硅酮提供的许多特性改善了。虽然苯乙烯n是唯一不包含卤素的市售的parylene，但其对水分和其他腐蚀性化学物质的障碍性能不如其他pary烯那样稳健。为了满足该行业的当前和未来需求，已经开发了一种新的无卤素的ParyleneParyFree®。对新涂层进行测试包括IPC-CC-830B的IPX防水性，耐腐蚀性和质量。这项研究向微电子行业介绍了一种新的parylene类型，并分享了ParyFree®Paryleneparylene保形涂层的特征和质量结果，以保护，可靠性和良好的微电子学性能。
可穿戴系统基于eeg记录的超薄parylene c纹身电极
摘要：在一个越来越相互联系的世界中，电子设备渗透到我们生活的各个方面，旨在监视生理信号的可穿戴系统正在迅速接管运动和实力领域，以及康复和康复等生物医学领域。目的是为该领域提供新颖的方法，在本文中，我们讨论了可穿戴系统的开发，用于根据可移植的，低功耗的自定义PCB的特定使用，该系统设计用于与非惯用性的超易于良好的超透明和可强调的Parylene-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c-c tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo tattoo Electrodes。已在标准的休息状态实验中测试了所提出的系统，并且将其在两个不同状态的歧视方面与商业可穿戴设备的歧视（即穆斯耳机）进行了比较，显示出可比的结果。这一第一个初步验证表明，可以方便地采用可方便的可容纳纹身纹身电极集成了便携式系统，以使大脑活动的不可思议。
SCS 航空航天与国防涂料
航空航天和国防工业中的许多部件都需要在极端环境下得到保护。根据 Arrhenius 对测试数据的推断，Parylene N、ParyFree 和 Parylene C 预计分别能在 60°C、60°C 和 80°C 的空气中持续暴露 10 年。在无氧大气或太空真空中，Parylene 预计在持续暴露于 220°C 的条件下性能类似。SCS Parylene HT 已被证明能在 350°C 的空气中持续暴露，在 450°C 的温度下持续暴露不到 24 小时，为许多航空航天和国防应用提供出色的保护。
基于聚酰胺纤维膜的可渗透、可清洗电子产品
图 1. 制造过程示意图。（a）PMP 制备过程和样品照片，白色箭头指向 PMP。（b）固定在 3D 打印支撑框架上的 Metal-FPI 上的聚对二甲苯沉积。插图显示了聚对二甲苯封装的普遍特征。（c）PMP 的 SEM 横截面以及相关的 EDS 映射。
无线电动和模块化柔性植入设备
摘要 - 本文提供了一种新型配置，用于在柔性电子设备上制造的无线供电和模块化植入设备。基于无线功率传递的神经植入物由接收器天线，电源管理电路和柄组成，用于传输，记录和刺激。在这里，实现的新颖性属于模块化概念，提供了两种不同的配置，有助于自定义植入物，例如用于不同的柄长度或天线设计。对于这种模块化设计，设计了两个天线，其中一个是13.56 MHz和8 MHz的另一个天线之一，这些天线经过了测试，以测量接收器侧接收到的能量，并证实了发电系统的正确性能。提供了电气和机械分析，以证明在建模环境下制造的设备的正确操作。comsol多物理用于对设备的机械行为进行建模，并在通常用于柔性植入设备的材料数据集中找到最佳材料。结果，在弯曲的工作条件下，parylene c，von mises应力为179mpa，是最合适的材料。尽管从机械的角度来看，苯乙烯C是最佳材料，但在本文中，由于其可用性和成本效益，选择了用于最终制造设备的最终制造，从而提供了足够的植入物 - 脑组织机械，生物相容性和生物整合
聚合物模板上的自限制电喷雾沉积
显示指数衰减拟合 y = 846.9 nm*e (-x/1174.83nm) ，R 2 = 0.96。（b）1 wt% PVP 以 0.1 mL/hr 喷涂在不同厚度的 Parylene C-on-Si 基板上 60 分钟。由于气相沉积的保形特性，水平误差线不可见。蓝色轨迹是指数衰减拟合 y= 815.6 nm*e (-x/567.4 nm) ，R 2 = 0.98。（c）1 wt% PVP 以 0.1 mL/hr 喷涂在不同厚度的 SU-8-on-Si 基板上 60 分钟。黑色轨迹是指数衰减拟合 y = 804.4 nm*e (-x/348.8 nm) ，R 2 = 0.51。
对温度传感器整合到钠离子电池中的保护涂层的兼容性研究
抽象的仪器电池电池（即包含传感器的那些）和智能电池（具有集成控制和通信电路）对于开发下一代电池技术（例如钠离子电池（SIB））至关重要。参数的映射和监视，例如温度梯度的量化，有助于改善单元格设计并优化管理系统。必须保护集成的传感器免受严酷的电解环境。最先进的涂料包括使用Parylene聚合物（我们的参考案例）。我们将三种新型涂料（基于丙烯酸，聚氨酯和环氧树脂）应用于安装在柔性印刷电路板（PCB）上的热敏电阻阵列。我们系统地分析了涂料：（i）电解质小瓶中的PCB浸没（8周）； （ii）分析插入硬币细胞的样品； （iii）分析1AH小袋SIBS的传感器和细胞性能数据。基于钠的液体电解质，由溶解在碳酸乙烯酸乙酯和碳酸二乙二烯的混合物中的1 m溶液（NAPF 6）的比例为3：7（v/v％）的混合物组成。我们的新型实验表明，基于环氧的涂层传感器提供了可靠的温度测量。与戊烯传感器相比，观察到的出色性能（据报道，一个样品的错误结果，在电解质中浸入5 d以下）。核磁共振（NMR）光谱在大多数测试的涂层的情况下显示，在暴露于PCBS涂抹的不同涂层期间发生了其他物种。基于环氧的涂层表现出对电解环境的韧性，并且对细胞性能的影响最小（与未修饰的引用相比，在2％的硬币细胞中，容量降解在2％以内，小袋细胞的3.4％以内）。这项工作中详细介绍的独特方法允许传感器涂层在现实且可重复的细胞环境中进行试验。这项研究首次证明了这种基于环氧树脂的涂层使可扩展，负担得起和弹性的传感器能够集成到下一代智能SIBS上。