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使用顺序氧化和脱氧氯化反应
摘要：使用O 3（臭氧）和SOCL 2（硫代氯化物）的顺序暴露证明了钼（MO）的热原子层蚀刻（MO）。原位石英晶体微量平衡（QCM）研究对溅射的Mo涂层QCM晶体进行。QCM结果表明，在短暂蚀刻延迟后，Mo Ale显示出线性质量下降与啤酒周期。每次o 3暴露都会观察到明显的质量增加。每次SOCL 2暴露都会发生巨大的质量下降。Mo Ale的每个周期的质量变化（MCPC）是在长时间的SCOL 2暴露后是自限制的。MCPC随着3个暴露时间的较长而增加。原位QCM研究表明，这种软饱和度更长的O 3暴露于Mo的扩散限制氧化引起的。mo蚀刻速率随蚀刻温度逐渐增加。在饱和条件下，在75、125、175和225°C时，mo蚀刻速率分别为0.94、5.77、8.83和10.98Å/循环。X射线光电子光谱（XPS）和原位四倍质谱法（QMS）研究进行了研究，以了解反应机制。XPS在150°C下暴露于O 3后主要在MO表面上显示MOO 3。从QMS研究中，当MO在200°°C中接触MO在MO中暴露于SOCL 2时，监测了挥发性SO 2和MOO 2 Cl 2。这些结果表明，这些结果表明，通过氧化和脱氧氯次反应发生。mo用O 3氧化为MOO 3。随后，MOO 3经历了脱氧氯化反应，其中SOCL 2接受氧气产生SO 2并捐赠氯以产生MOO 2 Cl 2。Additional QCM experiments revealed that sequential exposures of O 3 and SO 2 Cl 2 (sulfuryl chloride) did not etch Mo at 250 ° C. Time-resolved QMS studies at 200 ° C also compared sequential O 3 and SOCl 2 or SO 2 Cl 2 exposures on Mo at 200 ° C. The volatile release of MoO 2 Cl 2 was observed only using the SOCl 2 deoxychlorination reactant.原子力显微镜（AFM）测量结果表明，MO表面的粗糙度与Mo Ale循环缓慢增加。
HF 暴露于 TiO2
摘要：采用计算和实验相结合的方法了解自限制 (SL) 和化学气相蚀刻 (CVE) 反应之间的竞争，以设计原子层蚀刻 (ALE) 工艺。ALE 工艺中的脉冲必须是自限制的；即，反应应在足够的脉冲时间后达到饱和。通过使用密度泛函理论 (DFT) 比较相应的 SL 和 CVE 反应的反应自由能，可以预测有利于 SL 或 CVE 反应的温度和压力条件。以 TiO 2 暴露于 HF 气体时的蚀刻为测试案例。模拟表明，当 TiO 2 暴露于压力为 0.2 Torr 的反应物 HF 时，在高达 87 °C (360 K) 的温度下，SL 反应优先去除 0.01 Torr 下的 H 2 O 并使表面氟化。在较高温度下，根据受动力学活化能垒影响的反应 TiO 2 + HF → TiF 4 + H 2 O，CVE 会持续去除 TiO 2。将原位傅里叶变换红外 (FTIR) 光谱和四极杆质谱 (QMS) 的实验结果与理论预测进行了比较。与理论高度一致，FTIR 光谱研究表明自发蚀刻 (CVE) 在温度约为 80 − 90 °C 时开始。此外，QMS 分析观察到 TiF 4 和 H 2 O 作为蚀刻产物，进一步验证了计算结果。计算还预测反应气体压力的增加会增强高温下的蚀刻。这种理论方法的计算成本低，可以快速筛选蚀刻试剂并预测反应在 SL 或 CVE 范围内的温度/压力窗口。
在整个汽车供应链中利用风险管理
风险评估也是IATF 16949汽车QMS要求的组成部分。风险（和机会），以及与满足客户需求的产品设计和制造过程有关的技术风险。喜欢，MMOG/LE，风险评估也是相对于供应商选择和正在进行的供应商管理以及计划以及实施产品，流程甚至组织变更的关键考虑。用于评估和管理IATF 16949中风险的方法可能包括应急计划，制造可行性，FMEA，（失败模式和效果分析）以及其他方法
公共董事会 2025 年 1 月 – 质量保证报告
质量标准部门的职位改为临床质量主管。质量团队一直专注于实施 2022-26 年质量战略。在实现战略中设定的里程碑方面取得了稳步进展，但由于需要全面实施新的电子病历系统 (Rio)，质量管理体系 (QMS) 这一关键组成部分仍未得到落实。Rio 将于 2024 年 3 月全面实施，这将使 QMS 的开发工作于 2025 年第一季度开始。质量战略现在需要更新，并将于 2025/26 年第三季度末完成。质量、文化和护理访问的标准受到人员配备挑战和领导层变动的影响，不过，目前正在取得进展，所有访问都已安排并计划到 2025 年底。由于产假导致员工人数减少、身体健康团队空缺以及优先事项相互竞争，身体健康战略的启动被推迟，不过，最近成本中性的支持开始对推动这项工作产生积极影响。服务用户和护理人员的反馈并没有达到我们这种规模的组织所期望的水平，不过，现在已经制定了一项改进计划，这将有助于增加数量，从而提高质量。在此期间，质量改进取得了一些积极的效果，包括开发 RIO 文档、通过 Ulysess 进行审计以及在全市范围内启动协作安全计划。
GMP 级 mRNA 生产酶
KACTUS 已建立成熟的质量管理体系 (QMS)，并根据药品生产质量管理规范 (GMP) 和 ISO13485:2016 的要求制定了全面的监管文件。我们的全面文件计划不断更新和改进，以确保我们质量管理体系的有效性、适当性和充分性。在每个生产阶段都严格管理质量控制，包括原辅材料检验、设备验证、细胞株管理、工艺开发和优化、分析方法开发和验证、产品包装和批次放行测试。
D6-51991_REV_N.pdf - 波音供应商
设计创建和设计维护任务，并专门使用自己的设计和 QMS 来制造和检查波音公司购买的产品或工具。非制造供应商的 DPD 范围应限于本文件第 1.0 节规定的记录流程。此外，记录的 DPD 流程的要素应解决（但不限于）D6-51991 第 2.0、4.0、5.0、8.0 和 10.0 节中关于安全和配置管理环境的操作，以沟通、创建和维护他们拥有的设计和/或知识产权，以便向波音公司交付他们设计和维护的产品或工具。
