Qunyi

Ting Hu a, *, Qize Zhong a , Nanxi Li, Yuan Dong, Zhengji Xu, Yuan Hsing Fu, Dongdong Li, Vladimir Bliznetsov, Yanyan Zhou, Keng Heng Lai, Qunying Lin

摘要：由人工亚波长纳米结构制成的超透镜已展示出光聚焦和微型成像的能力。本文，我们报告了通过互补金属氧化物半导体兼容工艺在12英寸玻璃晶片上批量生产非晶硅超透镜的演示。所制备的超透镜的测量数值孔径为0.496，聚焦光斑尺寸在940nm波长处为1.26μm。将超透镜应用于成像系统以测试成像分辨率。可以清楚地观察到宽度为2.19μm的分辨率图的最小条。此外，同一系统演示了指纹成像，并证明了使用超透镜阵列来减小系统尺寸的概念，以实现未来的紧凑型消费电子产品。