ADB – Asian Development Bank CLMO – Customary Lands Management Office CLMA – Customary Lands Management Act COTA – Custom Owners Trust Account DARD – Department of Agriculture and Rural Development DOL – Department of Lands DOW – Department of Water GRM – Grievance Redress Mechanism LMC – Luganville Municipal Council LRUWSSP – Luganville Resilient Urban Water Supply and Sanitation Project MWh – Megawatt per hour M&E – monitoring and evaluation MIPU – Ministry of Infrastructure and Public Utilities MLNR – Ministry of Lands and Natural Resources PIAC – project implementation assistance consultants PIU – project implementation unit PRA – Public Roads Act of 2013 PWD – Public Works Department SEAH – sexual exploitation abuse and harassment SPGC – Sanma Provincial Government Council SPS – Safeguard Policy Statement 2009 (of the ADB) STP – septage治疗厂
AGPA 表示年度平均绩点 BE 表示工程学士 BoE 表示考试委员会 BoG 表示理事会 BTech 表示技术学士 CGPA 表示累计平均绩点 CPUM 表示不公平手段预防委员会 CoE 表示考试管理人 DoAA 表示学术事务院长 DoCA 表示现代化与认证院长 DoRDC 表示研究与发展中心院长 DoSA 表示学生事务院长 DoFA 表示教务长 DSc 表示理学博士 MBA 表示工商管理硕士 MCA 表示计算机应用硕士 ME 表示工程硕士 MPhil 表示哲学硕士 MSc 表示理学硕士 MTech 表示技术硕士 PG 表示研究生 PhD 表示哲学博士 SPGC 表示参议院研究生委员会 SRC 表示参议院研究委员会 SUGC 表示参议院本科生委员会 TIET 表示泰帕尔工程技术学院 UG 表示本科
摘要 — 为了突破电气链路的带宽和延迟限制,高性能计算集成的下一个突破最终将通过光子技术和片上光网络 (ONoC) 实现。这项工作介绍了 ONoC 的整体架构,并报告了在 200 mm Leti 平台上 SOI 晶圆上的 Si 光子中介层的详细集成和制造。已成功实现了在 1310 nm 波长下工作的有源光子电路、12 µm 直径 100 µm 高度的硅通孔 (TSV) 中间工艺、带有 µ 柱的四层金属后端线路 (BEOL) 和加热器上方带有热腔的背面重分布层。横截面的形态表征评估了工艺发展和集成结果。在有源光子末端和 TSV / BEOL 工艺之后,在肋和深肋结构上测量的光传播损耗以及在单偏振光栅耦合器 (SPGC) 结构上的插入损耗均未显示偏差。 TSV 中间电阻经评估低于 22 mΩ,成品率大于 95%。最后,讨论了功能性 ONoC 系统所需的所有单个工艺块,尤其是环形调制器,以及它们成功优化的协同集成。
