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通过... 将 pMUT 性能与 30% Sc 掺杂的 AlN 耦合
摘要 — 如果不是因为其有限的 e 31,f 压电系数，氮化铝 (AlN) 为压电微机械超声换能器 (pMUT) 提供了一种与 CMOS 兼容、稳定且无铅的解决方案。尽管已知增加 ScAlN 中的钪 (Sc) 掺杂含量可以提高机电耦合因子 (K t 2 ) 和整体声学性能，但结果在很大程度上取决于 ScAlN 薄膜的应力，尤其是对于空气耦合 pMUT。本研究旨在比较由于 Sc 含量从 20% 增加到 30% 而导致的 pMUT 性能（以 K t 2 为单位）与应力的关系，并考虑其对频率和膜静态变形的影响。结果表明，30% Sc 器件在 -50 MPa 时实现了平均 K t 2 >6%，与基于 PZT 的 pMUT 相当。与 20% Sc 相比，30% Sc 掺杂的 pMUT 传输压力灵敏度提高了 50%，双向灵敏度总体提高了 6 dB。
使用原位光发射光谱法了解溅射沉积亚稳态铁电纤锌矿 Al0.6Sc0.4N 薄膜的可重复性
随着相关应用领域的扩大，人们对 AlN 基 III 族金属氮化物半导体合金（如 (Al,Ga)N 和 (Al,In,Ga)N）的关注度也与日俱增。首先，人们之所以对它们感兴趣，是因为它们具有可调特性，可用于发光二极管 (LED) 和其他光电应用 [1]，并且具有宽带隙 (WBG) 半导体特性，可用于射频 (RF) 和电力电子应用中的高电子迁移率晶体管 (HEMT)。[2] 2009 年，首次有报道称在 AlN 中添加钪可显著提高压电响应 [3]，并很快被用于压电薄膜器件，如手机中的薄膜体声波谐振器 (FBAR)。 [4] 最近有关 Al 1-x Sc x N（x ≥ 0.1）的铁电性的报道，作为第一种纤锌矿铁电材料，引起了进一步的科学兴趣[5,6]，也引起了作为混合逻辑存储器设备候选者的重大技术兴趣。
底切蚀刻 - 康奈尔纳米级设施
本文报告了基于氮化铝（ALSCN）的设计，制造和实验验证，基于下一代内在计算机中的多重元素（MAC）操作。女性乘数利用ALSCN中的铁电偏振开关改变了压电系数（D 31），促进了神经网络中的权重的非挥发性，模拟记忆存储。然后，使用膜的压电参数来更改电容差距进行读数。在100V V P（5MV/cm）的电压下，铁电薄膜可以部分极化，并达到216 µC/cm 2的峰值残余极化。对光学测量位移的实验结果证实了ALSCN Unimorph乘数的操作。最大共振模式位移线性取决于极化和输入电压。这项工作为在内存计算中利用ALSCN的利用提供了基本见解，开放了用于高速，低功率和高精度计算应用程序的新途径。
在Megabar压力下BCC-Selenium中的超导性
[1] H.-K。 Mao，B。Chen，J。Chen，K。Li，J.-F。 Lin，W。Yang和H. Zheng，《高压科学技术》的最新进展，Matter Radiat。极端1，59（2016）。[2] C. Buzea和K. Robbie，组装了超导元素的难题：评论，超级跟踪。SCI。 技术。 18，R1（2004）。 [3] J. Song，G。Fabbris，W。Bi，D。Haskel和J. Schilling，元素ytterbium Metal的压力诱导的超导性，物理。 修订版 Lett。 121，037004（2018）。 [4] J. Hamlin，高压高金属元素的超导性，物理。 c（阿姆斯特丹，内斯。） 514，59（2015）。 [5] C. Zhang，X。 He，C。Liu，Z。Li，K。Lu，S。Zhang，S。Feng，X。Wang，Y。Peng，Y。 Long，R。Yu，L。Wang，V。Prakapenka，S。Chariton，Q.Li，H。Liu，C。Chen和C. Jin，记录了Nat Titanium的高TC元素超导性。 社区。 13，5411（2022）。 [6] Li和W. Yang，TC高达23.6 K，在Megabar压力下的过渡金属δ -Ti相中的鲁棒超导性，物理。 修订版 b 105，224511（2022）。 [7] J. Ying，S。Liu，Q.Lu，X。Wen，Z。Gui，Y。Zhang，X。Wang，J。 sun和X. Chen，在260 GPA的压力下，将高36 K过渡温度记录到元素scandium的超导状态。 修订版 Lett。 130，256002（2023）。 修订版 b 83，220512（2011）。 修订版 b 78（2008）。 极端5，038101（2020）。SCI。技术。18，R1（2004）。 [3] J. Song，G。Fabbris，W。Bi，D。Haskel和J. Schilling，元素ytterbium Metal的压力诱导的超导性，物理。 修订版 Lett。 121，037004（2018）。 [4] J. Hamlin，高压高金属元素的超导性，物理。 c（阿姆斯特丹，内斯。） 514，59（2015）。 [5] C. Zhang，X。 He，C。Liu，Z。Li，K。Lu，S。Zhang，S。Feng，X。Wang，Y。Peng，Y。 Long，R。Yu，L。Wang，V。Prakapenka，S。Chariton，Q.Li，H。Liu，C。Chen和C. Jin，记录了Nat Titanium的高TC元素超导性。 社区。 13，5411（2022）。 [6] Li和W. Yang，TC高达23.6 K，在Megabar压力下的过渡金属δ -Ti相中的鲁棒超导性，物理。 修订版 b 105，224511（2022）。 [7] J. Ying，S。Liu，Q.Lu，X。Wen，Z。Gui，Y。Zhang，X。Wang，J。 sun和X. Chen，在260 GPA的压力下，将高36 K过渡温度记录到元素scandium的超导状态。 修订版 Lett。 130，256002（2023）。 修订版 b 83，220512（2011）。 修订版 b 78（2008）。 极端5，038101（2020）。18，R1（2004）。[3] J.Song，G。Fabbris，W。Bi，D。Haskel和J. Schilling，元素ytterbium Metal的压力诱导的超导性，物理。修订版Lett。 121，037004（2018）。 [4] J. Hamlin，高压高金属元素的超导性，物理。 c（阿姆斯特丹，内斯。） 514，59（2015）。 [5] C. Zhang，X。 He，C。Liu，Z。Li，K。Lu，S。Zhang，S。Feng，X。Wang，Y。Peng，Y。 Long，R。Yu，L。Wang，V。Prakapenka，S。Chariton，Q.Li，H。Liu，C。Chen和C. Jin，记录了Nat Titanium的高TC元素超导性。 社区。 13，5411（2022）。 [6] Li和W. Yang，TC高达23.6 K，在Megabar压力下的过渡金属δ -Ti相中的鲁棒超导性，物理。 修订版 b 105，224511（2022）。 [7] J. Ying，S。Liu，Q.Lu，X。Wen，Z。Gui，Y。Zhang，X。Wang，J。 sun和X. Chen，在260 GPA的压力下，将高36 K过渡温度记录到元素scandium的超导状态。 修订版 Lett。 130，256002（2023）。 修订版 b 83，220512（2011）。 修订版 b 78（2008）。 极端5，038101（2020）。Lett。121，037004（2018）。[4] J. Hamlin，高压高金属元素的超导性，物理。c（阿姆斯特丹，内斯。）514，59（2015）。 [5] C. Zhang，X。 He，C。Liu，Z。Li，K。Lu，S。Zhang，S。Feng，X。Wang，Y。Peng，Y。 Long，R。Yu，L。Wang，V。Prakapenka，S。Chariton，Q.Li，H。Liu，C。Chen和C. Jin，记录了Nat Titanium的高TC元素超导性。 社区。 13，5411（2022）。 [6] Li和W. Yang，TC高达23.6 K，在Megabar压力下的过渡金属δ -Ti相中的鲁棒超导性，物理。 修订版 b 105，224511（2022）。 [7] J. Ying，S。Liu，Q.Lu，X。Wen，Z。Gui，Y。Zhang，X。Wang，J。 sun和X. Chen，在260 GPA的压力下，将高36 K过渡温度记录到元素scandium的超导状态。 修订版 Lett。 130，256002（2023）。 修订版 b 83，220512（2011）。 修订版 b 78（2008）。 极端5，038101（2020）。514，59（2015）。[5] C. Zhang，X。He，C。Liu，Z。Li，K。Lu，S。Zhang，S。Feng，X。Wang，Y。Peng，Y。Long，R。Yu，L。Wang，V。Prakapenka，S。Chariton，Q.Li，H。Liu，C。Chen和C. Jin，记录了Nat Titanium的高TC元素超导性。社区。13，5411（2022）。[6] Li和W. Yang，TC高达23.6 K，在Megabar压力下的过渡金属δ -Ti相中的鲁棒超导性，物理。修订版b 105，224511（2022）。[7] J. Ying，S。Liu，Q.Lu，X。Wen，Z。Gui，Y。Zhang，X。Wang，J。sun和X. Chen，在260 GPA的压力下，将高36 K过渡温度记录到元素scandium的超导状态。修订版Lett。 130，256002（2023）。 修订版 b 83，220512（2011）。 修订版 b 78（2008）。 极端5，038101（2020）。Lett。130，256002（2023）。修订版b 83，220512（2011）。修订版b 78（2008）。极端5，038101（2020）。[8] M. Sakata，Y。Nakamoto，K。Shimizu，T。Matsuoka和Y. Ohishi，在216 GPA的压力下，CA-VII的超导状态低于29 K的临界温度。[9] M. Debessai，J。J。Hamlin和J. S. Schilling，Trivalentd-Electron超导体SC，Y，LA和LU中TC的压力依赖性的比较与Megabar压力，物理。[10] E. Gregoryanz，C。Ji，P。Dalladay-Simpson，B。Li，R。T。Howie和H.-K。毛，您一直想知道的有关金属氢的一切，但害怕问，径向。[11] P. Loubeyre，F。Occelli和P. Dumas，同步红外光谱证据，证明可能过渡到金属氢，自然577，631（2020）。[12] C. Ji，B。Liu，W.N Liu，J.，A。Majumdar，W。Luo，R。Ahuja，J。Shu，J。Wang，J。Wang，S。Sinogeikin，Y.Meng，V。B. Prakapenka，E。Greenberg，E。Greenberg，R.Xu，R.Xu，R.Xu，X. Huang，W。Yang，W。Yang，G。Shen，W。Shen，W。L. L. Mao，W。Mao和H.毛，氢中的超高压等值电子过渡，自然573，558（2019）。[13] M. I. Eremets，A。P。Drozdov，P。Kong和H. Wang，在350 GPA高于350 GPA的压力下的半金属分子氢。物理。15，1246（2019）。[14] H. Y. Geng，关于金属氢的公开辩论，以提高高压研究，物质辐射。极端2，275（2017）。[15] C. Ji，B。Li，W。Liu，J。S. Smith，A。Björling，A。Majumdar，W。Luo，R。Ahuja，J。Shu，
AlN 和 AlScN 薄膜 ICP 蚀刻微
随着对电子设备成本更低、性能更好、尺寸更小、可持续性更强的需求，微机电系统 (MEMS) 换能器成为受益于小型化的主要下一代技术候选之一 [1-3]。压电 MEMS 谐振器具有高品质因数和大机电耦合度，是射频 (RF) 系统中很有前途的产品 [4-8]。压电 MEMS 谐振器的主要材料是氮化铝 (AlN)、压电陶瓷 (PZT)、氧化锌 (ZnO) 和铌酸锂 (LN) [9-13]。近年来，掺杂 AlN 薄膜，尤其是氮化铝钪 (AlScN)，因其能提高 d 33 和 d 31 压电系数而备受研究 [14]。基于AlN和AlScN薄膜的压电MEMS谐振器凭借单片集成度高、性能优越等特点，受到越来越多的关注。MEMS谐振器种类繁多，如表面声波（SAW）谐振器[15，16]、薄膜体声波谐振器（FBAR）[17-19]。但SAW器件与CMOS工艺不兼容，FBAR的频率主要取决于压电层厚度，因此很难在一个芯片上实现多个工作频率或宽频率可调性。另一方面，基于AlN和AlScN的轮廓模式谐振器（CMR）与CMOS工艺兼容[20-24]。同时，工作频率和谐振频率与CMOS工艺兼容，而基于CMR的器件的工作频率和谐振频率与CMOS工艺不兼容。
ssc-464 高速铝容器设计指南
12. 结论 ................................................................................................................................................................ 83 12.1. 进一步阅读 .......................................................................................................................................................... 83 词汇表 ...................................................................................................................................................................... 84 参考文献 ...................................................................................................................................................................... 86 目录 ......................................................................................................................................................................................... i 插图列表 ......................................................................................................................................................................... vi 表格列表 ......................................................................................................................................................................... vi 缩写和符号列表 ......................................................................................................................................................................... vii 1. 范围 ............................................................................................................................................................................. 1 2. 参考文件 ............................................................................................................................................................. 1 2.1. 国际海事组织 ............................................................................................................................................. 1 2.2. 美国航运局 ............................................................................................................................................. 1 2.3.挪威船级社 ................................................................................................................................................................ 2 3. 概述 ................................................................................................................................................................................. 2 3.1. 概述 ................................................................................................................................................................................ 2目的...................................................................................................................................................................... 2 3.2.历史视角...................................................................................................................................................... 2 3.3。设计考虑因素........................................................................................................................................................... 2 3.3.1. 疲劳/断裂 ................................................................................................................................................ 2 3.3.2. 腐蚀 .............................................................................................................................................................. 2 3.4. 设计手册组织 ................................................................................................................................................ 3 4. 铝和铝合金 ...................................................................................................................................................... 4 4.1. 铝特性和注意事项 ...................................................................................................................................... 4 4.1.1. 氢损伤 ...................................................................................................................................................... 4 4.2. 合金元素 ...................................................................................................................................................... 4 4.2.1. 铬 (Cr) ...................................................................................................................................................... 4 4.2.2. 铜 (Cu) ...................................................................................................................................................... 5 4.2.3. 镁 (Mg) ...................................................................................................................................................... 5 4.2.4.铜和镁 ................................................................................................................................................ 5 4.2.5. 锰 (Mn) ................................................................................................................................................ 5 4.2.6. 钪 (Sc) ................................................................................................................................................ 5 4.2.7. 硅 (Si) ................................................................................................................................................ 5 4.2.8. 银 (Ag) ................................................................................................................................................ 6 4.2.9. 锡 (Sn) ................................................................................................................................................ 6 4.2.10. 钛 (Ti) ................................................................................................................................................................................... 6 4.2.11. 锌（Zn） ...................................................................................................................................................... 6 4.2.12. 锆（Zr） ...................................................................................................................................................... 6 4.2.13. 合金元素总结 ............................................................................................................................................. 9 4.3. 合金比较 ...................................................................................................................................................... 9 4.3.1. 合金和状态名称 ...................................................................................................................................... 9 4.3.1.1. 锻造合金名称系统 ............................................................................................................................. 9 4.3.1.2. 铸造合金名称系统 ............................................................................................................................. 11 4.3.1.3. 状态名称系统 ............................................................................................................................. 12 5. 零件制造工艺 ............................................................................................................................................. 14 5.1. 5.1.1. 轧制工艺 ................................................................................................................................................................ 14 5.1.2. 板材产品 .............................................................................................................................................................. 14 5.1.3. 薄板产品 ............................................................................................................................................................ 14 5.1.4. 特种扁平材产品 ................................................................................................................................................ 14 5.1.5. 限制/注意事项 ............................................................................................................................................. 14 5.2. 铸造 ...................................................................................................................................................................... 14 5.2.1. 铸造工艺 ............................................................................................................................................................. 15 5.2.1.1. 金属模铸造................................................................................................................................ 15 5.2.1.2. 压铸 ................................................................................................................................................ 15 5.2.1.3. 砂型铸造 ................................................................................................................................................ 15
BRODCOM AFEM -8200 PAMID-系统加上咨询
忠实于以前的每个iPhone系列迭代的选择，Apple再次选择了创新的射频（RF）前端模块（FEM）作为其旗舰。每年其忠实的供应商Broadcom/Avago都会提高过滤器和创新的包装技术，以与其他市场参与者竞争并维持其合同。今年第二次，Broadcom选择了双侧成型球网格阵列（BGA）包装与新的电磁干扰（EMI）屏蔽相结合，以启用具有频段共享的非常高密度的系统中的系统中包装（SIP）。在2020年，Broadcom仍然是最新版本的Apple iPhone系列12、12 Mini，12 Pro和12 Pro Max的唯一同一模块的供应商。与其前身AFEM-8100一样，AFEM-8200是中间和高频（MB和HB）的长期演化（LTE）和5G FEM。它具有多个模具，包括功率放大器（PA），硅启用器（SOI）开关和膜体积声音谐振器（FBAR）过滤器。过滤器仍在使用Avago的MicroCap键合晶圆块尺度包装（CSP）技术，其通过硅VIA（TSV）可启用电触点和掺杂型氮化铝（ALSCN）作为压电材料。对于此特殊版本，Broadcom在几个方面进行了创新。多亏了双侧成型BGA技术，包装的密度已增加。关键模具，主开关，电源管理集成电路（PMICS）和低噪声放大器（LNA）已经
博士学位（全职）机构xi'an jiaotong- ...
项目描述：压电MEMS麦克风具有消除对真空包装，低功耗和制造简单性的需求。这些优势已导致对压电技术的进一步研究。无论传感技术如何，MEMS麦克风都有一些基本参数，例如灵敏度，信噪比（SNR），带宽，输出阻抗等。这些参数共同确定麦克风的性能[2]。压电mems麦克风的性能受到压电材料的很大影响。中，氧化锌（ZnO），锆钛酸铅（PZT）和硝酸铝（ALN）是最常见的压电材料，每个材料都有其自身的特征[3]。与其他两种材料的制造难度相比，Aln由于与CMOS技术的兼容性而引起了很多关注。尽管ALN的压电系数不是这三种材料中最高的，但有一些方法可以改善其压电系数。最近，研究人员发现，将sc（SC）掺入ALN可以有效地改善其压电性能。然后，可以根据掺杂的硝化铝板进一步改善压电mems麦克风的性能指数。[1] Y. Seo，D。Corona和N. A.Hall，“关于压电麦克风的理论最大可实现的信噪比（SNR），”传感器和执行器A，2017年。[2] VM1000低噪声底部端口麦克风数据表，Vesper Technologies Inc，2017年。[3] Y.-C。 Chen，S.-C。[3] Y.-C。 Chen，S.-C。lo，S。Wang，Y.-J。Wang，M。Wu和W. Fang，“在PZT/SI Unimorph Cantilever设计上，用于增强压电MEMS麦克风的信噪比，”，《微机械和微工程学杂志》，第1卷。31，105003（16pp），2021。
微生物在稀土元素的动员和植物萃取中的作用：综述
稀土（re）元素是一组17个化学元素，包括15个灯笼以及Yttrium和Scandium。由于其特殊特性（例如催化，冶金，核，电气，电磁和发光）以及许多现代技术，环境和经济领域的各种应用，因此已确定为关键要素。因此，在过去几十年中，对RE的需求显着增加。这一需求导致采矿活动的增加，因此将RE释放到周围环境中，从而对人类健康和环境造成了潜在的威胁。因此，调查导致新的解决方案，用于从电子，采矿和工业废物等替代资源进行回收的新解决方案，一直在迅速增长。尽管如此，回收仍然非常困难，昂贵，目前尚未被视为重要的解决方案。当传统的采矿方法不再具有成本效益时，植物管理的概念是一个有前途的解决方案，更不用说植物提供的所有生态系统服务了。植物萃取服务允许从土壤或工业废物（例如，磷酸产生的磷酸化）中提取和回收，具有经济增加的价值。迄今为止，大约二十种高积累植物（几乎是蕨类植物，例如双骨ter骨）会累积高浓度的RE，尤其是在其侵蚀部位。虽然天然细菌在动员矿石中的潜在作用仍然略有文献记载，但促进根瘤菌（PGPR）的植物生长的作用却少得多。pgpr确实能够动员金属和/或刺激植物发育，以增加植物所提取的植物的量，然后具有较高的植物萃取效率。迄今为止，只有少数研究专门用于使用耦合的生物加强 - 屈服。本综述总结了有关1）重新源的数据（重新蓄积的沉积物，自然丰富的土壤，废物，废物）及其在这些矩阵中的生物利用度，2）植物，2）植物被确定为重新获得过度振兴的人及其潜在的潜在的潜在的隔离和选择的隔离和选择的隔离状态，以弥补隔离状态，以隔离和选择，以隔离和选择，以隔离和选择，这些隔离状态既有隔离型的杂物，都可以融入杂物。植物剥夺性能和4）生物强加辅助的植物萃取研究。
管理层对截至 2022 年 11 月 30 日三个月财务报表的讨论与分析
Avalon Advanced Materials Inc.（以下简称“公司”或“Avalon”）的管理层讨论与分析（“MDA”）是对公司截至 2022 年 11 月 30 日的三个月（“季度”）的财务业绩的分析。以下信息应与随附的本季度未经审计的简明合并中期财务报表以及截至 2022 年 8 月 31 日的年度合并财务报表和年度信息表一起阅读。本 MDA 于 2023 年 1 月 10 日编制。业务性质和整体表现 Avalon 是一家加拿大矿产开发公司，在加拿大多伦多证券交易所上市，在美国 OTCQB 创业板交易，也在德国法兰克福证券交易所交易。公司寻求通过成为清洁技术关键矿物的多元化、可持续生产商和营销商以及扩大其特种矿产品市场来创造股东价值。 Avalon 主要在加拿大开展业务，拥有多元化的资产基础，使公司能够接触到这些关键矿物的广泛领域，包括锂、稀土元素 (REE)、铯、钽、锡、铟、镓、锗和锆。该公司正处于开发其五种矿产资源中的三种的不同阶段，特别注重锂、铯、钽、锡、铟和稀土。Avalon 继续评估具有近期发展潜力的新机会，例如使用新技术从历史矿山废料中提取关键矿物。这是公司在其东肯普特维尔锡铟项目和安大略省东北部另一个名为 Cargill 的矿场中模拟的机会，在那里有可能从一处已关闭的磷酸盐矿场的尾矿中回收稀土和钪。这一概念吸引了 ESG 投资者和联邦政府越来越多的兴趣，他们现在正在推广“循环经济”，特别是对于废料中含有丰富关键矿物的矿场，但确保进入这些矿场仍然具有挑战性。该公司所有三个先进项目都拥有大量矿产资源和初步经济评估，下一步是确定矿产产品的市场和/或处理大宗样品以展示适当的提取工艺并生产产品样品供客户评估。技术进步可能会突然为某些关键矿物创造新的需求，如果能够迅速做出反应以满足新的需求，就会为新生产商提供机会。一个众所周知的例子是“磁铁稀土”钕和镨（“Nd-Pr”）的需求突然增长，再加上中国控制稀土供应链导致供应短缺的风险。公司已将可持续发展原则作为其业务实践的核心，并坚定承诺实施企业社会责任 (CSR) 最佳实践。2022 年 12 月，公司发布了第 11 份年度综合可持续发展报告（“2022 年可持续发展报告”），并于 2021 年 2 月在 Sustainalytics 的同行公司中获得了前 5% 的 ESG 风险评级。公司还入选了 Benchmark Minerals 的首届全球锂 ESG 排名，位列全球前 5%。公司认为，由于其寻求生产的清洁技术材料产品（尤其是锂、铯、钽、稀土、锆和锡）在包括锂离子电池、电动汽车、电子产品、小型模块化反应堆和航空航天在内的新技术应用中至关重要，因此工业对其寻求生产的清洁技术材料产品（尤其是锂、铯、钽、稀土、锆和锡）的需求正在增长。