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Semichem高级过程监视器
我们的Semichem Advanced Process Monitor（APM）是一个湿的化学监测系统，可以自动示例，分析和报告关键过程的定量化学浓度。完整的在线化学监测允许对浴室组成的实时校正，因此可以稳定地控制工艺条件。该系统提供了类领先的化学浓度数据。立即明显，可以快速纠正可能对产品质量产生负面影响的变化，有助于满足零缺陷耐受性和较高产品产量的需求。
SemiChem 高级过程监控器 200 系列
我们的 SemiChem 高级工艺监控器 (APM) 是一种湿化学监控系统，可自动采样、分析和报告关键化学机械抛光 (CMP) 和配方清洁化学工艺的定量化学浓度。它为工艺工程师提供准确性、可靠性和灵活性，以实现更高的效率和一致性，以满足更高产量和零缺陷容差的要求。在竞争极其激烈的微电子行业中，如果没有使用复杂的监控和控制来确保晶圆制造的一致性，最先进的设施也无法承担高昂的工艺成本。
SemiChem APM 200，单电池壁挂式
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