金属 - 绝缘子 - 金属(MIM)电容器对于集成电路(ICS)至关重要。它们可以通过多种方式使用,例如解耦和过滤。高电容密度,低泄漏电流和小二次电压系数(a)是MIM电容器良好电性能的信号。为了获得高电容密度,可以使用高介电常数(K)材料,例如TA 2 O 5,HFO 2,Al 2 O 3,TiO 2和ZRO 2 [1-4]。Zro 2薄膜被认为是这些高k材料中的强大候选者,可以替代传统的介电材料SIO 2和SI 3 N 4,因为它具有许多优势,例如,高击穿电场,高介电结构和较大的能隙宽度[4]。有人研究了单个ZRO 2电介质MIM电容器,并获得了高电容密度,但是泄漏电流和值很差[5]。在这里,我们介绍了Al 2 O 3和SiO 2层以改进上述两个参数,因为Al 2 O 3的较大带隙为8.8 eV,SIO 2的较大频带差距为负值,因此Al 2 O 3 /Zro 2 /Zro 2 /Zro 2 /Zro 2 /Zro 2 /Zro 2 /Al 2 O 3(Azsza)结构MIM Capicitors设计了。需要强调的是,AZSZA结构是在相同的原子层沉积(ALD)系统中制备的。这不仅降低了实验的复杂性和成本,还降低了污染和引入杂质的可能性。因此,这是一种在
要比较800-1020 nm范围的飞秒激光脉冲的SHG的性能,使用了各种制造和加工程序[4]来合成SI/SIO 2和SIO 2中孔纳米颗粒。红外飞秒激光扫描系统用于映射[5]。发现热或激光诱导的Si退火导致Si相从无定形转变为纳米晶体,从而改善了纳米颗粒的非线性特性,并使它们表现出宽带光发光。这些结果证实了中孔SI/SIO 2纳米颗粒对第二次谐波生成的效率,并扩展了其在纳米级光学中的潜在应用[6]。
第 45 卷 第 5 期 中 国 电 机 工 程 学 报 Vol.45 No.5 Mar.5, 2025 2025 年 3 月 5 日 Proceedings of the CSEE ©2025 Chin.Soc.for Elec.Eng.2003
近年来,文献中提出了越来越多的被动辐射冷却材料,由于其独特的稳定性,无毒性和可用性,其中有几个示例依赖于使用二氧化硅(SIO 2)。尽管如此,由于其散装声子 - 孔子带,Sio 2在大气透明度窗口内呈现出明显的反射峰(8-13μm),从而导致发射率降低,这构成了挑战,以实现对亚物种的次级辐射辐射冷却的标准。因此,该领域的最新发展专门用于设计Sio 2光子结构的设计,以增加散装SIO 2辐射冷却器的冷却潜力。本综述旨在通过评估其冷却效率及其可扩展性来确定SIO 2辐射发射器的最有效的光子设计和制造策略,从而对各种类型的各种类型的sio 2 radiative Coolers sio(数值和实验)进行了深入的分析。
研究结构缺陷及其对光学材料光学性质的影响是至关重要的,因为在制备用于显示应用的材料时会涉及不同的方法。镧系离子掺杂是一种简单的结构探测策略,它有助于识别结构缺陷。使用 Pechini (C 2 SP) 和水热法 (C 2 SH) 制备纯和铽 (Tb 3 +) 掺杂的 Ca 2 SiO 4 (C 2 S) 粒子。从 SEM 图像中可以看出,Tb 3 + 掺杂的 C 2 SP 粒子比 C 2 SH 粒子更高度聚集。TEM 研究证实,在 180 和 200 C 的高水热温度下制备的 C 2 SH (C 2 S:180H 和 C 2 S:200H) 的粒度减小。 Tb 3 + 掺杂的 C 2 S:180H 和 C 2 S:200H 发生荧光发射猝灭。与 Tb 3 + 掺杂的 C 2 SP、C 2 S:180H 和 C 2 S:200H 相比,在 140 C 下制备的 Tb 3 + 掺杂的 C 2 SH 的发射强度较高。在 X 射线光电子能谱 (XPS) 价带谱中,实验评估了与纯 C 2 SP 和 C 2 S:180H 四面体硅酸盐的上能级价带谱相关的 O2p 轨道的变化。由于硅酸盐单元的扭曲导致对称性降低,从而猝灭了发射,这已由 XPS 价带谱和 Tb 3 + 发射线证实。这项研究表明,与水热法相比,Pechini 法更适合制备 Tb 3 + 掺杂的 C 2 S 荧光粉,特别是在高温下用于固态显示器和闪烁体应用。© 2020 作者。由 Elsevier BV 代表河内越南国立大学提供出版服务。这是一篇根据 CC BY 许可开放获取的文章(http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/)。
x ge x /sio 2界面,而不是通过脱位成核。该机制导致嵌入式层的形态演化和局部肿胀,这是由SIO 2的粘性流促进的。在这些温度下,Si 1-X Ge X膜在粘性SIO 2中扩展,以最大程度地减少应变能。几何相分析证实,横向膨胀会导致GE凝结过程中积累的应变的松弛。我们建议这种现象可能是文献中已经报道的屈曲机制的起源。这项研究表明,Sio 2可以作为有效的符合性的符合性的底物,用于无缺陷的无缺陷GE RICE SI 1-X GE X薄膜。基于SIO 2矩阵粘弹性的新通用松弛过程可以应用于SI 1-X GE X膜以外的许多其他系统。这里制造的高质量无缺陷富富富富膜可以作为SI基板上各种2D或3D材料异质整合的良好模板。
Joao Resende,David Fuard,Delphine Le Cunff,Jean-Herve Tortai,Bernard Pelissier。Hy-hy-hy-Bridations和XPS的能量损失光谱用于带隙和光学常数测定sion薄膜中。材料化学与物理学,2020,259,pp.124000。10.1016/j.matchemphys.2020.124000。hal-03017737
Ihsan Ali Mahar,Aneela Tahira,Mehnaz Parveen,Ahmed Ali Hulio,Zahoor Ahmed Ibupoto等。 材料科学杂志:电子学中的材料,2024,35(7),pp.490。 10.1007/S10854-024-12156-9。 hal-04577661Ihsan Ali Mahar,Aneela Tahira,Mehnaz Parveen,Ahmed Ali Hulio,Zahoor Ahmed Ibupoto等。材料科学杂志:电子学中的材料,2024,35(7),pp.490。10.1007/S10854-024-12156-9。hal-04577661
摘要:热管理是最苛刻的检测器技术和微电子学的未来的主要挑战之一。微流体冷却已被提议作为现代高功率微电子中热量耗散问题的完全集成解决方案。基于硅的微流体设备的传统制造涉及用于表面图案的先进的,基于面膜的光刻技术。此类设施的有限可用性阻止了广泛的开发和使用。我们演示了无掩模激光写作的相关性,以有利地替换光刻步骤并提供更原型的过程流。我们使用脉冲持续时间为50 ps的20 W红外激光器雕刻并钻出525 µm厚的硅晶片。阳极键与SIO 2晶片用于封装图案表面。机械夹紧入口/出口连接器完成了完全操作的微动设备。该设备的功能已通过热流体测量验证。我们的方法构成了一个模块化的微观分化解决方案,该解决方案应促进针对共同设计的电子和微流体的新概念的原型研究。
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