第 1 节 - 技术描述、分阶段许可方法 第 2 节 - 授权用户:RSO、ARSO、RST、AU 第 3 节 - 放射性物质 - 许可内容 第 4 节 - 许可活动 第 5 节 - 辐射防护计划 第 6 节 - 剂量评估 第 7 节 - 财务保障 第 8 节 - 拟议许可条件
样品安装 平行样品安装和调整是实现全区域块状硅去除的关键步骤,特别是在使用 Allied Multiprep 或 UltraTech UltraPol 等系统时。尽管在使用 Allied X-Prep 或 UltraTech ASAP-1 等系统进行腔体减薄时,这一步骤并不那么重要,但我们想分享最近在全区域减薄均匀性方面的内部改进。 事实证明,使用压力范围为 0.05 MPa – 0.20 MPa 的富士胶片 Prescale 测量胶片有利于提高样品和抛光垫之间的平行度。该过程包括将压敏胶片放在抛光垫上,然后将样品浸到胶片上。胶片产生的彩色图案指示压力分布,从而可以精确调整样品支架。重复此过程,直到实现均匀分布的彩色图案,确保最佳平行度。图 2 展示了指导调整过程的结果彩色图案。
ISTFA 2023:第 49 届国际测试和故障分析研讨会论文集,2023 年 11 月 12 日至 16 日,美国亚利桑那州凤凰城 https://doi.org/10.31339/asm.cp.istfa2023p0265
抽象化学机械抛光(CMP)是半导体制造中的关键步骤。量化浆料的成分对于确保不会损坏晶片的有效浆料至关重要。当前的定量技术,例如离子色谱(IC)和高压液相色谱法(HPLC)具有极好的检测限制,但是它们很困难,昂贵且需要经验丰富的用户。在本应用注释中,探索拉曼光谱是一种更简单,更灵活的技术,用于量化CMP浆料中的常见组件,例如苯并三唑和甘氨酸,而无需任何样品准备或昂贵的消耗品。结果表明,拉曼光谱可以分别达到估计的检测和量化苯唑三数小于0.025%和0.10%(均为质量百分比)的限制,这使拉曼光谱是更昂贵和更耗时的IC和HPLC等更昂贵且耗时的技术的理想选择。
mei Yang*,Guying Zeng **,Yong Ren ***,Laikuang Lin ****,Wei Ke *****,Yifan Liu ********机械和电气工程学院,州高性能复杂制造业的国家主要实验室,中央南部大学,中国中央大学,电子邮件,Enterion20101010101010101010101010101010101010102. Manufacturing, Central South University, China, E-mail: jdszgy@163.com ***China Railway Construction Heavy Industry Co. Ltd., China, E-mail: renyonghi@126.com ****College of Mechanical and Electrical Engineering, State Key Laboratory of High Performance Complex Manufacturing, Central South University, China, E-mail: linlaikuang@csu.edu.cn (Corresponding author) *****China Railway Construction Heavy Industry中国有限公司,电子邮件:919663928@qq.com ******机械与电气工程学院,高性能复杂制造业国家主要实验室,中国中部,中国,电子邮件:1070516037@qq.com
引言肯尼亚大部分地区土壤养分供应不足,土壤结构不良,这些都是农业可持续发展的主要制约因素。土壤中植物养分的主要来源包括化学肥料和有机肥料。有机肥料主要来自农业废弃物和动物粪便等各种来源。在现有的许多有机肥料中,沼液尚未充分利用作为肥料,但它通过提供养分具有提高土壤生产力和作物产量的巨大潜力[14]沼液是沼气厂厌氧分解的副产品。加入沼气池的牛粪和农业废弃物中的有机废物在分解过程中转化为无机形式,使它们更易于被植物吸收,从而有助于提高作物产量和土壤肥力[8]。合理利用沼液可以减少许多农民对增加昂贵化学肥料的依赖,因为沼液中含有 20-30%
引言生物修复是处理被有机污染物污染的土壤的常见方法。Currently there are many challenges to bioremediation.例如,石油不能完全代谢为CO 2和H 2 O,而左上的某些污染物(例如多环芳烃(PAHS))比其父母更具毒性。由于其低溶解度,这些污染物变得更难及时处理,因为它们被微生物较少可用,因为它们被土壤颗粒吸收。要处理这些化合物的低溶解度,经常使用表面活性剂,但它们带来了其他问题。它们代价高昂,对微生物剧毒,难以生物降解,并且可能吸收到土壤中。浆液生物反应器(SB)可用于缓解其中一些问题,并处理用多种有机物质污染的土壤,例如多环芳烃(PAHS),农药,炸药和氯化有机污染物。该技术正在用于对用顽固,有毒和疏水有机化合物污染的土壤进行生物修复。当SB中的普通治疗不足时,可以使用两液相(TLP)生物反应器。TLP生物反应器已被确定具有增强生物利用度并增加疏水有机物降解的潜力。