Lado Filipovic 教授 奥地利维也纳科技大学 维也纳技术大学微电子研究所多尺度工艺 TCAD 近年来,微电子行业经历了重大创新。涉及平面晶体管缩放的数十年技术路线图已演变为对硅以外最佳几何形状和材料的搜索。电路设计师和制造工程师不能再享受数十年单纯针对硅的实验数据带来的好处。技术计算机辅助设计 (TCAD) 和设计技术共同优化 (DTCO) 策略需要进行调整,以通过多尺度建模方法寻找新材料,其中材料的原子行为可为设计决策提供信息。随着设计裕度的持续减少,工艺变异性正成为一个重要问题。了解设备级和晶圆间变异至关重要。然而,当前的物理沉积和蚀刻模型并不能直接链接到设备输入。本次演讲将讨论过程模拟和仿真的现状,以及我们为协助微电子行业(包括半导体制造商和电子设计自动化 (EDA) 供应商)而开发的成果。在设计过程中加入 TCAD 和 DTCO 已经变得非常有价值。我将讨论机器学习如何帮助将特征尺度建模与反应堆级输入和设备可变性相结合。最终,我们旨在实现一种数字化 DTCO 策略来进行设计发现,同时通过减少对实验过程开发的依赖来降低设计周期的成本、时间和环境影响。关于演讲者:Lado Filipovic 是维也纳技术大学微电子学和纳米电子学副教授,也是 Christian Doppler 半导体器件和传感器多尺度过程建模实验室主任。他于 2020 年和 2012 年在维也纳技术大学获得了半导体集成传感器方面的博士学位 (venia docendi) 和微电子学博士学位 (Dr.techn.)。他是基础科学和工业相关研究项目的首席研究员。他的主要研究兴趣是使用先进的工艺和设备建模来制造、操作、稳定性和可靠性新型半导体器件和传感器;以及涉及半导体器件和传感器制造过程的多尺度建模。这涉及将原子建模与蒙特卡罗和连续方法相结合,以及将物理模型与经验几何描述符合并在一个框架中,特别是用于过程 TCAD。他的团队已经发布了几种开源软件工具来模拟半导体器件制造(ViennaPS - https://github.com/ViennaTools/ViennaPS )和操作(Vien- naEMC - https://github.com/ViennaTools/ViennaEMC )。他目前还在研究机器学习与过程 TCAD 的有效集成,以将从头计算与分子动力学相结合,辅助材料和设计发现,并结合特征规模和反应堆规模模型。
伊万·马里奥·安德鲁 (Ivan Mario Andrew) 上尉,皇家海军,于 1988 年 1 月被任命为执行官。他于 18 年 5 月 31 日晋升为 TLDM 上尉。在 33 年的服役期间,他指挥过多艘舰艇,例如 KD SRI SARAWAK(巡逻艇 - 2002 年)、KD LAKSAMANA TAN PUSMAH(轻巡洋舰 - 2010 年)、KD MAHAWANGSA (MPCSS - 2018 年),目前担任 MAFHQ 国防作战室主任。除了指挥职责外,他还在 2007 年至 2010 年期间担任 MAFSC 的指挥人员。他毕业于 MAFSC,并于 2004 年获得战略与国防研究 (UM) 文凭。因此,他还拥有工商管理学士学位(荣誉学位)(UNITAR),并于 2013 年获得华威大学工程工商管理硕士学位。他与 Daisy V. John James 女士结婚,育有 3 个孩子(2 个女儿和 1 个儿子)。Ir Dr Yang Soo Siang 是马来西亚沙巴大学副教授。他拥有控制工程博士学位,也是一名合格的专业工程师。除了全职参与学术和工业界外,Ir Dr Yang 自 2001 年 6 月 1 日起还担任陆军军官(志愿者)。他目前担任 Rejimen 507 Askar Wataniah 第一营的指挥官。除了专业贡献,他还对军事历史和地缘政治研究有着浓厚的兴趣。 Kdr Chandramohan Balakrishnan RMN 于 1965 年 3 月 6 日出生于新加坡,于 1986 年 12 月 6 日被任命为马来西亚皇家海军的执行官。目前,他在 MAFDC 担任海军助理指挥。在向 MAFDC 汇报之前,他是位于霹雳州红土坎的培训中心 KD PELANDOK 的执行官。 Kdr Chandramohan 曾在武装部队中担任过多艘舰艇和参谋。他担任过的一些重要职位是指挥官、炮兵军官和潜水官,以及维和中心和培训机构的指挥人员。他还曾担任过苏丹达尔富尔维持和平任务的参谋。他还参加过国内外的许多职业课程。他获得了马来西亚国立大学 (UKM) 心理咨询专业文凭、马来亚大学 (UM) 战略与国防研究专业文凭、马来西亚理科大学 (USM) 政治科学专业学位以及英国华威大学工商管理工程专业硕士学位。Hugo Slim 博士是日内瓦红十字国际委员会 (ICRC) 政策与人道主义外交负责人。在 2015 年加入 ICRC 之前,他是牛津大学伦理、法律与武装冲突研究所 (ELAC) 的高级研究员,负责人道主义伦理和平民保护研究。Hugo 的职业生涯兼具学术和实践。2003 年至 2007 年,他担任人道主义对话中心首席学者;1994 年至 2003 年,担任牛津布鲁克斯大学国际人道主义学讲师。1983 年至 1994 年,Hugo 为救助儿童会和联合国在摩洛哥、苏丹、埃塞俄比亚、巴勒斯坦被占领土和孟加拉国工作。2002 年,他获得牛津布鲁克斯大学人道主义伦理学博士学位。他最近的著作有《人道主义伦理:战争与灾难中援助道德指南》(2015 年赫斯特/牛津大学出版社)和《杀害平民:战争中的方法、疯狂和道德》(2007 年赫斯特/牛津大学出版社)。Lt Cdr Ir。 Moorthy Pakisamy RMN 于 2000 年以马来西亚国防学院 (ATMA) 学员军官的身份开始在马来西亚皇家海军服役,并于 2005 年 11 月 23 日入伍。他拥有战略与国防研究研究生文凭 (NDUM)、UTM 颁发的机械工程学士学位以及职业安全与健康管理硕士学位 (UUM)。他是一名合格的专业工程师,在其职业生涯中,曾在卢穆特海军基地和皇家海军总部担任过多项重要职务。
