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KV Agrawal
抽象残留应力可有利地用于永久预紧弯曲微型机制，以修改其挠度和刚度。本文提出了一种新的前加载雪佛龙机构（PCM），用于扩大薄膜残留应力的预加载效果。为评估该结构的预加载性能，通过实验研究了由PCM预装的弯曲梁和弯曲线性阶段的挠度特征。所有机制均使用深层反应离子蚀刻和残留应力由湿热氧化提供。测量结果表明，当PCM集成时，固定固定氧化硅扣的固定型固定硅弯曲梁最多可提高5倍。这项研究中研究的弯曲线性阶段由平行的叶弹簧阶段组成，该弹簧阶段与PCM预装的两个固定引导的弯曲梁相连。取决于光束尺寸，可以将阶段的翻译刚度设置为特定值。我们设计了一个接近零的正刚度线性阶段，揭示了98％的测得的刚度降低，并且具有恒定负刚度区域的双态线性阶段。多亏了PCM提供的升级前移位移，操作中风（刚度保持恒定的驱动区域）相对较大（超过0.4毫米的行程，叶子弹簧长度为2.59 mm）。为设计机制而进行的分析和数值模型与实验数据非常吻合。结果表明，由于PCM施加的强大力，固定帧刚度对预加载性能具有显着影响。此外，提出的预加载概念，建模和尺寸方法可以应用于其他合规机理的设计，尺度和材料，从而在微电机械系统和制表中实现了应用。
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本新闻稿包含与雪佛龙公司的运营和较低碳战略有关的前瞻性陈述，这些陈述基于管理层对石油，化学品和其他与能源相关的行业的当前期望，估计和预测。Words or phrases such as “anticipates,” “expects,” “intends,” “plans,” “targets,” “advances,” “commits,” “drives,” “aims,” “forecasts,” “projects,” “believes,” “approaches,” “seeks,” “schedules,” “estimates,” “positions,” “pursues,” “progress,” “may,” “can,” “could,” “应该，“应”，“预算”，“前景”，“趋势”，“指导”，“焦点”，“轨道”，“目标”，“目标”，“目标”，“策略”，“机会”，“机会”，“潜在”，“野心”，“野心”，“野心”，“愿望”和类似的表达方式，以及这些词语的陈述，以这些词语的陈述，而既定的”，而这些词则是前瞻性的，而这些词则不愿意，但不愿意进行这些陈述，但不愿意进行陈述，但却是不明显的，但要列入这些词。这些陈述不能保证未来的绩效，并且受到许多风险，不确定性和其他因素的影响，其中许多因素超出了公司的控制范围，而且难以预测。因此，实际结果和结果可能与在这种前瞻性陈述中所表达的或预测的结果实质性差异。读者不应对这些前瞻性陈述不依赖，这些陈述仅在本新闻发布之日起说。除非法律要求，否则雪佛龙公司没有义务公开更新任何前瞻性陈述，无论是由于新信息，未来事件还是其他方式。