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惯性型静电换能器的 UV-LIGA 微制造及其应用
表 3-3 镍蛇形弹簧的设计常数 ...................................................................................... 35 表 3-4 与设备相关的设计常数 ...................................................................................... 40 表 3-5 继电器建模中使用的参数 ...................................................................................... 45 表 3-6 继电器建模中使用的参数 ...................................................................................... 53 表 3-7 加速度计建模中使用的参数 ............................................................................. 63 表 3-8 系统响应摘要 ............................................................................................. 63 表 4-1 主触点材料的电导率和电子平均自由程 ............................................................. 70 表 5-1 在不同电流密度下电镀镍的时间 ............................................................................. 87 表 5-2 镍电镀溶液的典型成分和操作条件 ............................................................................. 90 表 6-1 制造工艺特性摘要 ............................................................................................. 104 表 7-1 制造的微型继电器的特性 ............................................................................................. 120 表 A-1 推荐的软烘烤工艺 [MicroChem Inc.]............................................................. 144 表 A-2 曝光剂量与厚度的关系 [CAMD].............................................................................. 145 表 A-3 推荐的 PEB 工艺 [McroChem Inc.].............................................................. 146 表 A-4 氨基磺酸镍溶液............................................................................................... 147 表 A-5 镍盐的镍含量.................................................................................................... 151 表 A-6 厚度与曝光剂量的关系.................................................................................... 154
静电边界条件和（电）化学界面稳定性
电极界面是电子和电化学设备不可或缺的组成部分。它们在工作条件下的稳定性对于无数应用至关重要，例如电池、非易失性存储器、忆阻器、压电换能器和电容器。[1–5] 众所周知，材料的热力学稳定性受限于其成分的化学势（活性）的固定范围。[6] 例如，只有当与氧分压相关的氧化学势高于氧化物的形成焓时，氧化物才是稳定的。除了（原子）成分的化学势之外，通过电荷中性条件决定材料中费米能的电子化学势也必须保持在一定范围内。相关的电化学不稳定性可以通过两种方式引起：i）通过形成自补偿缺陷；[7] ii）通过
静电梳状驱动微镜的集成电容传感方法
本文开发了一种基于机电调幅的实时电容传感方案，用于检测单轴静电梳状驱动微镜的扫描角度和相位，以实现闭环控制。该方案将一个叠加了高频载波信号的正弦波电压信号施加到微镜的共用梳状驱动器上，用于传感和驱动。对驱动/传感电路在频域和时域进行了全面分析，以消除馈通并最小化信号失真。实验结果表明，使用2.5 V pp 和1 MHz 的载波信号，微镜扫描角度的测量精度达到0.15 ◦，时间延迟可控制在0.47 μs 以内。为了更好地理解微镜的扫描稳定性，还研究了温度变化对微镜相位响应的影响。当温度从 25 ◦ C 变为 35 ◦ C 时，以 3840 Hz 驱动的微镜的测量时间延迟从 0 变为 2.4 μ s。所提出的电容式传感方案可用于同时有效测量静电梳状驱动 MEMS 镜的角位置和相位，而无需添加任何外部元件。
静电边界条件和（电）化学界面稳定性
电极接口是电子和电化学设备的必不可少的成分。在运营条件下，其稳定性对于无数应用至关重要，例如，击球手，非易失性记忆，备忘录，压电传输器和电容器至关重要。[1-5]已知材料的热力学稳定性仅限于其成分的固定化学电位（活性）。[6]例如，仅当连接到氧局部压的氧化学电位高于氧化物的形成焓时，氧化物才是最高的。除了（原子）成分的化学势外，还必须保留在特定范围内的（通过电荷中立性条件决定费米的能量）。可以通过两种方式诱导相关的电型不稳定性：i）通过自加密缺陷的伪造； [7] ii）
基于静电吸附的基于石墨烯的细菌过滤
使用用于防止这种结果的水龙头微孔过滤器必须在使用几周后更换，这使得它们非常昂贵。新颖的抗菌技术可能会为这些问题提供实用且具有成本效益的预防策略。石墨烯材料通过与细菌细胞的物理相互作用表现出抗菌活性。[7–9]这些柔性，单原子厚的，纳米微米尺寸的床单具有极大的表面积。[10,11]在各种不同的含材料中，氧化石墨烯（GO）经常使用，这是由于其廉价的石墨[12-16]及其亲水性官能团的廉价制备，从而增强其在极性溶剂中的分散剂，并为化学后化学后化化学溶剂提供多种选择。[17,18]
纳米粒子表面与功能性肽基序
我们通过层纳米颗粒（LBL NP）报告了与阳离子肿瘤 - 渗透肽（TPP）的表面功能化，同时保持颗粒稳定性和电荷特性。这种策略消除了对肽的结构修饰的需求，并使表面化学物质难以修改或通过共价共轭策略无法访问。我们表明，羧化和硫化的LBL NP都能够容纳线性和环状TPP，并使用基于荧光的检测测定法，以量化每NP的肽载荷。我们还证明了在吸附后保持TPP活性，这表明足够数量的肽具有适当的表面取向，从而有效地在体外摄入了功能化的NP，这是通过流式细胞仪和
用途广泛的新型静电可调电容器
本文提出了一种适用于宽频率范围的新型静电可调电容器。针对其应用，提出了完整的设计规则来设计 0.01 pF – 2.05 pF 范围内的可变电容器。根据所需的电容值，设计的电容器占用 0.03 mm 2 – 1.12 mm 2 的空间，与相关已发表的文献相比非常小。使用浮动技术来获得高品质因数。所提出的电容器的品质因数在 1.28G 至 2.78GHz 的频率范围内在 45 到 100 之间，并且可调电容器的可调谐范围为 374%。在提出完整的设计规则和相关方程后，所提出的电容器用于带有螺旋电感器的放大器电路中，并评估了所提出的电容器的性能并将其与其他电容器进行了比较。使用 COMSOL Multiphysics 进行模拟。
静电放电器测试装置型号 12-612 - HR Smith
一些复合碳尖静电放电器可能难以用标准仪器测量；型号 12-612 通过使用测试套件附件中的独特适配器克服了这些问题。在所有情况下，电阻测量都是一个简单直接的过程，可确保最少的维护时间。
低能物质激发之间腔介导的相互作用的静电性质
在过去几年中，使用腔量子量子电动力学效应，即真空电磁场来修饰腔中的材料特性。但是，仍然存在稀缺的一般结果，这些结果为直观的理解和局限性提供了可以实现哪种效果的指南。我们为低能量物质激发之间的有效相互作用提供了这样的结果，或者通过它们相互耦合与腔电磁（EM）线场或通过耦合与夫妇与EMFIELD的介体模式相互耦合或间接相互作用。我们证明了诱导的相互作用本质上是纯粹的静电，因此由零频率评估的EM Green函数完全描述。我们的发现表明，使用一个或几个空腔模式减少模型可以轻松产生误导性结果。
用于未来太空重力任务的混合静电-原子加速度计
1 DPHY，ONERA，巴黎萨克雷大学，Chemin de la Hunière-BP80100，F-91123 Palaiseau，法国； bruno.christophe@onera.fr （BC）; vincent.lebat@onera.fr （VL）; emilie.hardy@onera.fr（EH）; phuong-anh.huynh@onera.fr (P.-AH)； noemie.marquet@onera.fr（新墨西哥州）; cedric.blanchard@onera.fr （CB）; yannick.bidel@onera.fr （YB）; alexandre.bresson@onera.fr （AB）2 慕尼黑工业大学天文学和物理大地测量学老师，Arcisstraße 21，80333 慕尼黑，德国； petro.abrykosov@tum.de （PA）; thomas.gruber@tum.de （TG）; roland.pail@tum.de （RP）3 欧洲空间局，Keplerlaan 1，PO Box 299，2200 AG Noordwijk，荷兰； ilias.daras@esa.int 4 欧洲空间局 ESA 的 RHEA，Keplerlaan 1, PO Box 299, 2200 AG Noordwijk，荷兰； olivier.carraz@esa.int * 通讯地址：nassim.zahzam@onera.fr