您可以使用AMS做什么?•提取精确的材料特性,包括工作功能,光谱,电离电位,带盖等。• Model physical processes based on large scale atomistic simulations of sputtering, etching, and chemical vapor deposition • Study the mechanical properties of materials with automatic workflows for Young's modulus, yield point, Poisson's ratio, and tribology calculations • Discover new materials with M3GNET , the new universal machine learning potential • Create novel ReaxFF or DFTB parameter sets that suits your needs with ParAMS
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制定绿色和有效的制备策略是2D过渡金属氮化物和/或碳化物(MXENES)领域的持续追求。传统的蚀刻方法,例如基于HF的或高温的Lewis-Acid-Molten-Molten-Salt蚀刻途径,需要更严格的蚀刻条件,并且表现出较低的制备效率,具有有限的可扩展性,严重限制了其商业生产和实际应用。在这里,通过使用NH 4 HF 2作为Etchant,提出了一种超快低温熔融盐(LTMS)蚀刻方法,用于大规模合成不同的MXENES。增加的热运动和改善的熔融NH 4 HF 2分子显着加快了最大相的蚀刻过程,从而在短短5分钟内实现了Ti 3 C 2 T X Mxene的准备。LTMS方法的普遍性使其成为快速合成各种MXENE的宝贵方法,包括V 4 C 3 T X,NB 4 C 3 T X,MO 2 TIC 2 T X X和MO 2 CT X。LTMS方法易于扩展,并且可以在单个反应中产生超过100 g Ti 3 c 2 t x。获得的LTMS-MXENE在超级电容器中表现出出色的电化学性能,显然证明了LTMS方法的效果。这项工作为大规模商业生产提供了一种超快,通用和可扩展的LTM蚀刻方法。
描述价值文档链接清洁室访问洁净室中的设施:湿蚀刻长凳(碱性)湿蚀刻长凳(酸)纳米结构合成长凳氟化化学药品长凳均尺凳tencor tencor p10光学显微镜Nikon
高密度PWB Ryoichi Watanabe和Hong的新电路编队技术赢得了Kim Samsung Electro-Mechanics Co.,Ltd。Suwon,S。韩国摘要为满足普华永道的未来需求,已讨论了普华永道的各种流程,材料和工具的技术。特别重要的是高端PWB的电路形成技术。在这些年中,从工业上讲,良好模式的电路形成方法已经改变了从减法过程到半添加过程(SAP)。SAP可以形成更细的电路,因为它不会引起侧面蚀刻,这是减法方法的问题。但是,SAP的闪光蚀刻过程会导致其他问题,例如由于电路之间的残留种子金属层,电路蚀刻和由于蚀刻而引起的电路分层引起的短缺陷。同样,由于形成电路的绝缘体表面的粗糙度,不仅有良好的电路形成的困难,而且是电特性的损失。在本文中,讨论了一种新的电路形成方法,以克服SAP原因闪光蚀刻过程的问题。它不需要闪光蚀刻过程,因此可以形成更细的模式。该细线电路形成的能力取决于图案抵抗分辨率,并被确认在L/S(线/空间)= 10/10UM或更少的情况下表现良好。也将电路模式埋在绝缘体层中,并且是带有绝缘体表面的刨床,因此电路具有高骨强度,具有绝缘体,并且通过制造设备或工艺之间的处理,损坏较小。此方法适用于建立PCB和FCP作为满足未来需求的电路形成技术。介绍电子设备的演变,该电子设备的发展速度更快,更小,更多功能但更具成本效益,PWBS的各种技术对于较高的密度需要各种技术。三星电力学有限公司,有限公司制造了许多PWB,例如HDI,用于手机,数字静止相机等,BGA软件包,FC BGA包装。为了满足未来的需求,特别是对于FCBGA,由于其高密度,生产FC BGA的产品变得越来越困难。电路的形成是需要在高密度方面快速进步的过程之一。已讨论了作为电路形成过程的减法过程和半添加过程(SAP),以提高其高密度。1,3但是,由于化学蚀刻而引起的减法过程具有侧面蚀刻的基本问题,并且由于闪光蚀刻过程,SAP具有局限性。SAP的闪光蚀刻过程会导致电路蚀刻等问题,如图1所示,在电路底部切割,如果闪光蚀刻不足,则在电路底部和种子层残基。由于种子层通常是铜,与电路相同,因此闪光蚀刻过程不仅蚀刻了种子层,还可以蚀刻电路。因此,电路宽度和厚度必须比闪光蚀刻之前的最终尺寸更宽,更厚,以在闪光蚀刻后保持设计规则。例如,在降低20UM电路的底部分离后,如图1所示,仅粘附的宽度仅为20UM螺距,如图1所示。这被认为是不足以为20UM电路提供足够的剥离强度。当电路变得更细时,由于制造输送机或滚筒的处理损坏,底切将是一个更大的问题,制造业产量将更低。出于这些原因,需要基于新概念的电路形成技术才能使线路电路形成并解决这些技术困难。
在本文中,基于高浓度下硅硅的分析建模,可用于硅酸盐在高浓度上的分析建模,适用于Boron扩散和二氧化硅的薄膜上的薄膜,这是基于大量微加工(BMM)技术的生物医学应用的设计和制造的先进结果,该硅电容传感器的生物医学传感器的设计和制造。The boron diffusion in silicon for the fabrication of the silicon capacitive sensors for biomedical applications and other Microelectromechanical Systems (MEMS) is a critical process, because the boron diffusion profile depends on the diffusion oxidizing (BBr 3 , B 2 O 3 )/non-oxidizing (BN – Boron Nitride) sources, and furthermore, the subsequent etching速率(因此蚀刻时间)取决于硅体积中硼浓度C的深度分布x,因此对此曲线C(x)的精确模拟允许进行膜设计和制造的准确蚀刻过程。为此,为硼扩散和蚀刻过程提供了分析显式关系,适用于上述情况(BBR 3,B 2 O 3或使用),也适用于非线性扩散方程的一般溶液的一般形式,其溶液的一般形式具有与浓度C的扩散系数D的扩散系数D的扩散系数D的脉冲,以D〜C m(M M)的浓度(m - a - a - a sil difff contection dife contection) c = c(x),也作为反向关系x = x(c),以便于C.
摘要 在以HNO 3 为氧化剂的HF溶液中,银催化刻蚀p型硅变得更加容易。在浸入刻蚀剂溶液之前,在p-Si(100)表面化学沉积银(Ag)。通过在HF/HNO 3 中染色刻蚀,在p-Si上也生成了多孔硅层(PSL)。采用电化学阻抗谱(EIS)、扫描电子显微镜(SEM)、能量色散X射线(EDX)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)来评估所生成的PSL的性能。根据SEM,浓度为1×10 −3 M的Ag +离子是在HF/HNO 3 中化学刻蚀之前在Si上沉积的最佳浓度,可得到具有均匀分布的孔隙的PSL。 EIS 数据显示,涂覆的 Si 在 22 M HF/0.5 M HNO 3 中的溶解速度比未处理的 Si 快,从而形成均匀的规则圆形孔 PSL,SEM 显微照片证明了这一点。使用具有两个时间常数的可接受电路模型来拟合实验阻抗值。蚀刻剂 HF 或氧化剂 HNO 3 的浓度增加有助于 Si 的溶解和 PS 的快速发展。AFM 分析表明,随着蚀刻时间的增加,Si 表面的孔宽和粗糙度增加。使用 X 射线光谱衍射来确定不同蚀刻时间后 PSL 的结晶度。
图 7 显示了 (A) 磷扩散和 (B) 无退火顺序掺杂的 (1) 横截面 TEM 图像和 (2) EDX 磷映射图像。在磷扩散以及退火顺序掺杂(未显示)中,硅变成多晶(图 7(A-1)),其中多晶粒加剧了干蚀刻变化。另一方面,对于无退火顺序掺杂(图 7(B-1)),硅保持非晶态,这改善了干蚀刻变化。EDX 的结果使硅差异与磷原子位置的差异相一致(图 7(A-2) 和图 7(B-2))。从干蚀刻工艺变化的角度来看,对于硅场板电极而言,无活化退火顺序掺杂更胜一筹。
根据我们的协议,接受全腹部蚀刻的患者还必须具有长期的健康和健身目标。总体脂肪应在8%至15%之间。通常,这些患者非常适合,腹部扁平,但希望脂肪组织的特定减少以增强和详细说明肌肉组织。患者选择对于维持长期结果至关重要。我们以10年的术后结果进行了证明(图1)。我们认为,使用营养师和/或私人教练不一定是强制性的,因为许多患者保持健康的生活方式和低身体脂肪,而与这些介入无关。我们针对修饰的腹部蚀刻的选择标准,其中通过谱系半肌和沿着Linea alba的定义获得了较软的腹部轮廓,但不一定是“六羽”的完整肌肉定义,并不像全腹部蚀刻患者那样严格。与全腹蚀刻患者不同,他们的腹部脂肪垫中等。这些患者还应该具有运动性腹部肌肉和合理的健康计划。这项研究还证明了10%的血清率。我们注意到1990年代首次开始此过程时的血清瘤率很高,并开始使吸脂端口开放到排水管。自从这种情况下,我们注意到血清瘤速率为0%。这项研究也不特别认识到与腹部蚀刻相关的陡峭学习曲线和技术困难。意识到技术并学习这种技术确实存在陡峭的学习曲线,应该谨慎地形成。从使用较小,侵略性较小的插管和改良的腹部蚀刻开始(仅蚀刻Linea alba和Linea semilunaris)是一种安全的方法,对于外科医生开始使用该技术。首先通过浅表吸脂和差异脂质来建立凹槽是关键的。
光子生物传感器的制造是在 200 毫米绝缘体上硅技术平台上实现的。虽然光子生物传感器是从晶圆顶部构造的,但微流体通道是通过背面释放工艺局部引入的,该工艺结合了干湿蚀刻。对于 760 µ m 厚的硅基板的局部背面蚀刻,采用了深反应离子蚀刻 (DRIE) 工艺和硬掩模,二氧化硅与硅的选择性非常高(SiO2:Si 选择性为 1:200)。这保证了对埋层氧化物 (BOX) 的严格控制。我们选择了 RIE 和湿蚀刻的组合来去除 BOX,因为如果仅使用 RIE,波导结构可能会受损。纯化学湿蚀刻的缺点是由于 BOX 的蚀刻速率低,工艺时间延长。图 1 a 显示了制造的光子传感器芯片。可以在其他地方找到制造过程的全面描述。7 – 9