由于在高频和高功率固态微波电源设备中的巨大潜在应用,基于GAN的高电子迁移式晶体管(HEMTS)在过去的二十年中引起了很多关注,并且在实现市场商业化方面取得了巨大进展。为了进一步提高设备性能,尤其是在高压,高级材料和设备制造过程中,提出了新颖的设备结构和设计的高操作频率和设备可靠性。在提出的方法中,由于其独特的优质材料特性,基于Inaln的晶格匹配的异质结构可能成为下一个下摆的首选。在本文中,结合了III III化合物半导体材料和设备领域的相对研究工作,我们简要综述了基于Inaln基于Inaln的异质结构半导体组合的艺术状态的进展。基于对基于INALN的异质结构的外延生长的分析,我们讨论了提出的脉冲(表面反应增强)金属有机化学蒸气沉积(MOCVD)的优势和成就,用于INALN/GAN异质结构的外交。
3.4 D Ò 2À^ Ó? ‹x I ÖP Ò 2 Ô 去 ¨ ‹Œ Õ{ (3) P ,- DDDDDDDDDDDDDDDDDDDDDD DDDDDDD
[._有权获得战斗信用的单位。1. 莱茵兰。WD General Orrlors 118,1\)45;由 DA General Orders 29,1\148 第 4 节、DA General Orders 72,1948 第 I 节第 11 段补充;DA General Orders 6,1050 第 II 节第 11 段;DA General Orders 37,1950 第 I 节第 14 段;DA General Orders 32,1953 第 III 节第 17 段; DA 一般命令 60,1153 第 T1 节;DA 一般命令 87,1153 第 V1 节第 2 段;DA 一般命令 9,1954 年第 VI 节第 3 段;DA 一般命令 25,1954 年第 I 节 B 段;DA 一般命令 57,1954 年第 V 节第 5 段;DA 一般命令 74,1054 年第 VII 序列第 1 段;DA 一般命令 0,1955 年第 IV 节第 3 段;以及 DA 一般命令 28,1956 年第 I 节第 2 段,涉及莱茵兰协议,进一步修订如下: