• 测量范围:110 mm / 4.33" • 精度:4 μ m • 分辨率:0.5 μ m • 直接连接到 A/B 正交计数器 • 减少测量误差 • 精密双主轴支持可实现平稳的主轴运动和几乎无误差的测量。• 减小测量力 使用测量平衡器(选件),测量力可以在三个可选步骤中降低到最小 0.3 N。无论主轴运动方向如何,力都保持恒定。• 软主轴返回。制动机制降低了主轴返回速度,从而消除了损坏表面板或工件的危险。
MT13 • 分辨率 :1 μm、5 μm、10 μm • 输出信号 :A/B 相(报警期间输出变为高阻抗) • 输出格式 :电压差分线路驱动器输出(符合 EIA-422) MT14 • 分辨率 :1 μm、5 μm、10 μm • 输出信号 :A/B 相、报警(报警期间输出不变为高阻抗) • 输出格式 :电压差分线路驱动器输出(符合 EIA-422) MT20 • 分辨率 :1 μm、5 μm、10 μm • 仅适用于 MF10 MT30 • 分辨率 :1 μm、5 μm、10 μm • USB2.0
• 测量范围:110 mm / 4.33" • 精度:4 μ m • 分辨率:0.5 μ m • 直接连接到 A/B 正交计数器 • 减少测量误差 • 精密双主轴支撑可实现平稳的主轴运动和几乎无误差的测量。 • 减小测量力 使用测量平衡器(选件),测量力可以在三个可选步骤中减小到最小 0.3 N。无论主轴运动方向如何,力都保持恒定。 • 软主轴返回。制动机制降低了主轴返回速度,从而消除了损坏表面板或工件的危险。