NEMS工业需求模块估计15种制造业和6个非制造业的能源(燃料和原料)的能源消耗。制造业被归类为能源密集型制造业或非能量密集型制造业。制造行业是使用详细的流程或最终用途会计程序建模的。此外,一些最终用途的子模型的建模更加详细。能源密集型化学工业被细分为四个行业组成部分,食品工业也被细分为四个组成部分。水泥和石灰,铝,玻璃,铁和钢以及纸浆和纸张的能源密集型产业具有详细的工艺流子模型。非制造业的代表性较低。IDM在人口普查区域级别投射能源消耗;通过使用2019年的州能量数据系统(SEDS)的数据分配人口普查部门的能源消耗。1在2021年11月的短期能源前景(Steo)2中报告的国家级预测分配给了人口普查部门,也使用SEDS 2019数据。1四个人口普查区域分为9个人口普查部门,并在表1中列出。
ADIT 累计递延所得税 AEO 年度能源展望 ATB 年度技术基线 BA 平衡区 CAPEX 资本支出 D&A 分销和管理 D/A/T 分销、管理和区域内传输 DER 分布式能源 EIA 能源信息署 FERC 美国联邦能源管理委员会 FOM 固定运营与维护 G&T 发电和输电 IOU 投资者所有的公用事业 ISO 独立系统运营商 ITC 投资税收抵免 kW 千瓦 kWh 千瓦时 MACRS 改良加速成本回收系统 MBE 平均偏差误差 MMBtu 百万英热单位 MWh 兆瓦时 NEMS 国家能源建模系统 NREL 国家可再生能源实验室 O&M 运营与维护 OPEX 运营支出 PTC 生产税收抵免 PV 光伏 ReEDS 区域能源部署系统 reV 可再生能源潜力 rMBE 相对平均偏差误差 RPS 可再生能源组合标准 US 美国 VOM 可变运营与维护 VRE 可变可再生能源 WACC 加权平均资本成本
AEO Annual Energy Outlook AK/HI Alaska and Hawaii CAES Compressed-air energy storage CAISO California Independent System Operator CPUC California Public Utility Commission CSP Concentrated solar power DOE U.S. Department of Energy EIA U.S. Energy Information Administration ERCOT Electric Reliability Council of Texas FERC Federal Energy Regulatory Commission GW Gigawatt IOU Investor-owned utilities ITC Investment Tax Credit IPP Independent power producer IRP Integrated resource plan ISO Independent System Operator ISO-NE Independent System Operator of New England kW Kilowatt kWh Kilowatthour LADWP Los Angeles Department of Water and Power MISO Midcontinent Independent System Operator MW Megawatt MWh Megawatthour NEMS National Energy Modeling System NYISO New York Independent System Operator PGE Pacific Gas and Electric PJM PJM Interconnection PPA Power purchase agreement RTO Regional Transmission Organization SCE Southern California Edison SDGE圣地亚哥天然气和电力SGIP自生激励计划Smud Sacramento Municipal Utility District SPP西南电力池
半导体计量的 TSOM 方法 Ravikiran Attota**、Ronald G. Dixson、John A. Kramar、James E. Potzick、András E. Vladár、Benjamin Bunday*、Erik Novak # 和 Andrew Rudack* 美国国家标准与技术研究所,美国马里兰州盖瑟斯堡 20899 *SEMATECH,美国纽约州奥尔巴尼 12203 # Bruker Nano Surfaces Division,美国亚利桑那州图森 85756 摘要 离焦扫描光学显微镜 (TSOM) 是一种新型计量方法,可使用传统光学显微镜实现 3D 纳米级测量灵敏度;测量灵敏度与使用散射法、扫描电子显微镜 (SEM) 和原子力显微镜 (AFM) 的典型灵敏度相当。TSOM 可用于反射和透射模式,适用于各种目标材料和形状。已通过实验或模拟证明的纳米计量应用包括缺陷分析、检测和过程控制;临界尺寸、光掩模、覆盖、纳米粒子、薄膜和 3D 互连计量;线边缘粗糙度测量;以及 MEMS/NEMS 中零件的纳米级运动。可能受益的行业包括半导体、数据存储、光子学、生物技术和纳米制造。TSOM 相对简单且价格低廉,具有高吞吐量,并为 3D 测量提供纳米级灵敏度,可能在制造过程中显著节约成本并提高产量。 关键词:TSOM、透焦、光学显微镜、纳米计量、过程控制、纳米制造、纳米粒子、覆盖计量、临界尺寸、缺陷分析、尺寸分析、MEMS、NEMS、光子学 1. 引言 对进行纳米级 3D 测量的工具的需求非常高,因为纳米级的尺寸信息是纳米技术和纳米科学进步的必要条件 [1,2]。原子力显微镜 (AFM)、扫描隧道显微镜 (STM) 和扫描电子显微镜 (SEM) 等多种工具通常用于提供这种尺度的测量。然而,随着纳米技术的商业化,快速可靠的纳米尺度特征测量将变得越来越重要 [1,2]。基于光学的工具具有优势,因为它们具有相对较低的拥有成本和较高的吞吐量,并且通常完全无污染和无损。人们常常误以为光学显微镜由于衍射而不适合测量小于照明波长一半的特征(可见光区域中 200 纳米大小的特征)的尺寸 [3]。当然,多年来,光学显微镜一直被用于通过实验与模型比较来测量远低于照明波长一半的光掩模线宽特征。当然,以衍射为主的图像使得对目标进行有意义的分析变得困难。然而,可以通过以下方法规避这一限制:(i) 将图像视为代表目标的数据集(或信号);(ii) 使用一组通过焦点的图像,而不是一幅“最佳焦点”图像;(iii) 利用高度发达的光学模型 [4-6]。___________________________________________________________________ ** 通讯作者:ravikiran.attota@nist.gov;电话:1 301 975 5750
微纳机电系统 (MEMS/NEMS) 6,7 和高性能晶体管等等。8,9 例如,目前使用的 Fin-FET(三栅极)晶体管结构是从传统的平面设计演变而来的,需要进一步发展到 3D 环栅 (GAA) 结构。10 – 12 使用这种先进的 3D 结构可以实现更高的功能密度、更高的性能和更低的功耗。13,14 通过先进的制造和加工技术在 3D 晶体管方面进行新的研发创新相信会丰富未来的微电子产业。15 – 18 另一个例子是对下一代芯片和密集集成电路 (IC) 的需求,它们需要更广泛地执行更广泛的功能。19 这是特别需要的,超出了目前通过基于单个芯片(片上系统)的简单光刻缩放方法可实现的技术。 20,21 为此,研究人员和工程师正在研究处理 3D 架构中的异构集成的技术,包括 3D IC 封装、3D IC 集成和 3D Si 集成。22,23 3D IC 集成被认为优于 3D IC 封装,因为它允许使用硅通孔 (TSV) 技术和微凸块堆叠更薄的 IC 芯片。这种架构实现了节能技术,
ACEEE – 美国能源效率经济委员会 AEO – 年度能源展望 AFDD – 自动故障检测与诊断 ASHRAE – 美国采暖、制冷与空调工程师协会 BAS – 楼宇自动化系统 BEMS – 楼宇能源管理系统 BMS – 楼宇管理系统 CAGR – 复合年增长率 CBECS – 商业建筑能耗调查 CDM – 商业需求模块 CFL – 紧凑型荧光灯 CT – 控制技术 DDC – 直接数字控制 DER – 分布式能源 DLC – 设计照明联盟 DOE – 美国能源部 DR – 需求响应 DSIRE – 国家可再生能源与效率激励措施数据库 EMCS - 能源管理和控制系统 FDD – 故障检测与诊断 GSA – 美国总务管理局 HVAC – 采暖、通风与空调 IoT – 物联网 IP – 互联网协议 IT – 信息技术 LBNL – 劳伦斯伯克利国家图书馆 LED – 发光二极管 LMC –照明市场特征 MEL – 杂项电负荷 NEMS – 国家能源建模系统 NILM – 非侵入负荷监测 NYSERDA – 纽约州能源研究与发展局 PNNL – 太平洋西北国家实验室 SaaS – 软件即服务 SDI – 服务需求强度 SSL – 固态照明 VAV – 可变风量
AD 伴生溶解天然气产量 AIMMS 高级集成多维建模软件 AEO 年度能源展望 Bcf 十亿立方英尺 Bcf/d 十亿立方英尺/天 Btu 英热单位 CDM 商业需求模块 CNG 压缩天然气 EIA 能源信息署 EMM 电力市场模块 IDM 工业需求模块 IEM 国际能源模块 IEO 国际能源展望 LDC 本地配电公司 LFMM 液体燃料市场模块 LNG 液化天然气 MAM 宏观经济活动模块 Mcf 千立方英尺 MMBtu 百万英热单位 MMcf 百万立方英尺 MMcf/d 百万立方英尺/天 NA 非伴生天然气产量 NEB 国家能源委员会(加拿大) NEMS 国家能源建模系统 NG 天然气(地区) NGEMM 天然气电力市场模块(地区) NGMM 天然气市场模块 NGTDM 天然气输送和分配模块 OGSM 石油和天然气供应模块 QP 二次规划 RDM 住宅需求模块 SENER 墨西哥能源部 SNG 合成天然气 STEO短期能源展望 Tcf 万亿立方英尺 TDM 运输需求模块
驱动微型和纳米力学结构以共振和观察其在物理世界中的共鸣运动,导致了物理,科学,化学,生物学和工程学以及设备商业化的许多基本发现。将机械结构从微米缩小到纳米尺寸,使谐振运动能够探测材料特性和各种动力学现象。材料科学和纳米造型的最新进展导致成功证明了超高频率运行(GHz范围)和超高质量因子(100亿)微机械谐振器(MMRS)。这些结构的共振运动已被用作一种必不可少的工具,可以在原子质量单位的分辨率下称重生物学和化学物种,感觉像Zepto-Newton一样小,并检测许多其他物理参数。在这里,提供了关于谐振传感转导的系统观点,基本的物理学以及使用微/纳米机电系统(MEMS/NEMS)技术实现的感测结构。还描述了纳米材料和结构的作用,纳米制作和理性设计在MMR的共振频率和质量因子上对高性能感测的作用。本文讨论了用于材料表征以及生物,化学和物理感测的MMR发展的最新进展。最后,本文讨论了具有高质量因子量子传感的谐振传感器的挑战和观点,以及用于量子传感的高质量因素,以及用于经典感应应用的超高灵敏度和分辨率。
2D 2D Materials Technical Group AC Actinides and Rare Earths Focus Topic AP Atomic Scale Processing Mini-Symposium AQS AVS Quantum Science Workshop AS Applied Surface Science Division BI Biomaterial Interfaces Division BP Biomaterials Plenary Session (ALL-INVITED) CA Chemical Analysis and Imaging of Interfaces Focus Topic CPS CHIPS Act Mini-Symposium EL Spectroscopic Ellipsometry Technical Group EM Electronic Materials and Photonics Division EW Exhibitor Technology Spotlight Workshops HC Fundamental Discoveries in Heterogeneous Catalysis Focus Topic IB Advanced Focused Ion Beams Focus Topic LS Light Sources Science Mini-Symposium LX Laboratory-Based Ambient-Pressure X-ray Photoelectron Spectroscopy Focus Topic MI Magnetic Interfaces and Nanostructures Division MN MEMS and NEMS Technical Group MS Manufacturing Science and Technology Group NS Nanoscale Science and Technology NSP纳米级科学与技术全体会议(全能)PS等离子体科学与技术部QS QS量子科学和技术小型 - s seady-Symposium sapvation Surface Enformering supsight Surfore Science Science Science Science Science tf薄膜部T薄膜薄膜薄膜理论TH表面过程和光谱型主题联合国主题联合国本科生的本科生vt vat Vacuum Tacuum技术部门技术部门
ABCD Asset Based Community Development AADSL ACC Anti- Corruption Commission APC All People's Congress BAN Budget Advocacy Network BomDHRC Bombali District Human Rights Committee CEDAW CBO Community Based Organiations CDHR Centre for Democracy and Human Rights CJM Campaign for Just Mining CSO Civil Society Organization CDS Community Development Committees CAG Community Action Groups CSF COP CHRDI DiCCLE District Coalition for Community Legal Empowerment FMCs Facility Management Committee FQE Free Quality Education FGM Female Genital Mutilation GEWE Gender Equality and Women's Empowerment GBV Gender Based Violence GoSL Government of Sierra Leone INGOs International Non Organizations ICT Information, Communication and Technology KPCSC L&D Learning and Development LRC Law Reform Commission MAEL Monitoring& Evaluation, Accountability and Learning MAPODA MORD MEWODA MS Micro-soft MSG MDA Ministries Department & Agencies MADAM MBSSE基础和高中教育部NNMJD NNMJD网络司法与发展运动运动Naregj-network NSA非国家演员NRRG NRRG NEMS NMMA NAMMA国家矿山和矿产ACT新国家选举观看NGOS非政府非政府组织NEC国家选举委员会