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将解离能与聚合物蚀刻速率相关联
超越了ohnishi参数：将解离能与聚合物蚀刻相关联Stanfield Youngwon Lee *，Min Kyung Jang，Jae Yun Ahn，Jae Yun Ahn，Jung Jung June Lee和Jin Hong Park Dupont Electronics＆Internalics＆Internalics＆Industrial，20 Samsung 1-Ro 5gil，Hwaseong-si，Gyeeegi-siea，gyeeeegi-do， *stanfield.lee@dupont.com随着光刻图案的大小继续减少，具有快速蚀刻速率和高蚀刻选择性的功能性子层对于维持良好的长宽比和促进成功的模式转移是必要的。因此，预测聚合物蚀刻速率的方法的研究和开发对于设计聚合物在光刻子层中的成功利用至关重要。从这些方法中，OHNISHI参数通常被称为聚合物在某些蚀刻条件下的易于易于。，尽管O.P.值可以是一个强大的预测工具，在某些单体的实现中发现了实际蚀刻率的差异。试图阐明导致这些变化的因素，计算了一系列具有已知蚀刻速率的聚合物的键解离能。与先前引用的研究结合使用，我们的初始发现概述了采用解离能作为OHNISHI参数的替代方案的优势。关键字：ohnishi参数，蚀刻速率，功能性子公司，债券解离能1。引言随着光刻术继续向较低波长的能源过渡，以满足对较小模式大小的需求[1-3]，因此新的材料设计正在不断变化，以满足每一代的需求。然而，尽管每一代人的逝世经常导致不同的子层要求，但某些关键参数仍然坚定不移。其中一种是具有相对更快的蚀刻速率或更高蚀刻性的材料，而蚀刻性的选择性比构成光蛋白天（PR）层的材料。可以提出，随着光刻堆栈的大小不断缩小[4]，蚀刻率不再是主要因素。的确，对有机单层的研究[5-10]，薄无机子层[11-13]，甚至没有有机子层[14]的研究。然而，诸如涂层均匀性，差的模式转移和粘附等问题以及有机抵抗和底层之间的兼容性问题阻碍了这些方法的广泛应用[15,16]。
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1美国社会唱歌：一月更新2023。2 Clin Oncol Clin。 2019：24：893–898。 3 Ohnishi He等。 世界J剧情。 2014; 3（3）：105-1 4 Patel JP和N Engel Med 2012 3月22日； 366（12）：1079-8 5 daver n和al。 白血病。 （2019）33：299–3 6 Erba He al。 语言 2023年4月25日在线首先。 S0140-6736（23）0464-6 7癌症天文台俱乐部。 人口事实。 2021年3月。 8和Al。 Oncol仅膨胀。 2020; 9：1 9 Patel JP和N Engel Med 2012 3月22日； 366（12）：1079-8 10 daver和al。 癌症血液2020; 10：1 11 Hyoy H和Al。 他们的剧型 2020; 111（5）：595-62 Clin Oncol Clin。2019：24：893–898。3 Ohnishi He等。世界J剧情。2014; 3（3）：105-14 Patel JP和N Engel Med 2012 3月22日； 366（12）：1079-8 5 daver n和al。 白血病。 （2019）33：299–3 6 Erba He al。 语言 2023年4月25日在线首先。 S0140-6736（23）0464-6 7癌症天文台俱乐部。 人口事实。 2021年3月。 8和Al。 Oncol仅膨胀。 2020; 9：1 9 Patel JP和N Engel Med 2012 3月22日； 366（12）：1079-8 10 daver和al。 癌症血液2020; 10：1 11 Hyoy H和Al。 他们的剧型 2020; 111（5）：595-64 Patel JP和N Engel Med 2012 3月22日； 366（12）：1079-85 daver n和al。白血病。（2019）33：299–36 Erba He al。 语言 2023年4月25日在线首先。 S0140-6736（23）0464-6 7癌症天文台俱乐部。 人口事实。 2021年3月。 8和Al。 Oncol仅膨胀。 2020; 9：1 9 Patel JP和N Engel Med 2012 3月22日； 366（12）：1079-8 10 daver和al。 癌症血液2020; 10：1 11 Hyoy H和Al。 他们的剧型 2020; 111（5）：595-66 Erba He al。语言2023年4月25日在线首先。S0140-6736（23）0464-6 7癌症天文台俱乐部。人口事实。2021年3月。8和Al。 Oncol仅膨胀。 2020; 9：1 9 Patel JP和N Engel Med 2012 3月22日； 366（12）：1079-8 10 daver和al。 癌症血液2020; 10：1 11 Hyoy H和Al。 他们的剧型 2020; 111（5）：595-68和Al。Oncol仅膨胀。 2020; 9：1 9 Patel JP和N Engel Med 2012 3月22日； 366（12）：1079-8 10 daver和al。 癌症血液2020; 10：1 11 Hyoy H和Al。 他们的剧型 2020; 111（5）：595-6Oncol仅膨胀。2020; 9：19 Patel JP和N Engel Med 2012 3月22日； 366（12）：1079-810 daver和al。癌症血液2020; 10：111 Hyoy H和Al。 他们的剧型 2020; 111（5）：595-611 Hyoy H和Al。他们的剧型2020; 111（5）：595-6
电子和质子辐照下 ASTRO-G 卫星热控膜的退化 Minoru Iwata (1) , Sumitaka Tachikawa (2) 和 Akir
电子和质子辐照下 ASTRO-G 卫星热控膜的劣化 Minoru Iwata (1) 、Sumitaka Tachikawa (2) 和 Akira Ohnishi (3) (1) 九州工业大学航天器环境相互作用工程实验室 日本福冈市北九州市户畑区仙水町 1-1 邮编 804-8550 电话：+81-(0)93-884-3597 邮箱：iwata@ele.kyutech.ac.jp (2,3) 日本宇宙航空研究开发机构航空宇宙技术研究所 日本神奈川县相模原市吉野台 3-1-1 邮编 229-8510 电话：(2) +81(0)42-759-8480 (3) +81(0)42-759-8479 电子邮件： (2) sumitaka@isas.jaxa.jp (3) ohnishi.akira@jaxa.jp 摘要 与传统卫星相比，ASTRO-G 卫星使用的热控材料由于要穿过范艾伦辐射带，因此会受到非常严重的带电粒子辐射。在本研究中，我们对这些热控材料进行了电子和质子辐照试验。我们将空间中的深度剂量分布分离为电子和质子分量，用电子或质子辐照，类似于空间中的每个剂量分量，并比较由于电子分量和质子分量导致的退化。讨论了由于电子和质子辐照导致的退化的相对影响。
ICNS-14 参与者统计
ED1-2 （ 口头 ） 14:45 - 15:00 通过掺杂分布工程提高 p-GaN 栅极 HEMT 的稳健性 Matteo Borga 1 , Niels Posthuma 1 , Anurag Vohra 1 , Benoit Bakeroot 2 , Stefaan Decoutere 1 1 比利时 imec，2 比利时 imec、CMST 和根特大学 ED1-3 （ 口头 ） 15:00 - 15:15 在低 Mg 浓度 p-GaN 上使用退火 Mg 欧姆接触层的横向 p 型 GaN 肖特基势垒二极管 Shun Lu 1 , Manato Deki 2 , Takeru Kumabe 1 , Jia Wang 3,4 , Kazuki Ohnishi 3 , Hirotaka Watanabe 3 , Shugo Nitta 3 , Yoshio Honda 3 , Hiroshi Amano 2,3,4 1 日本名古屋大学工程研究生院、2 日本名古屋大学深科技系列创新中心、3 日本名古屋大学可持续发展材料与系统研究所、4 日本名古屋大学高级研究所 ED1-4（口头） 15:15 - 15:30 高 VTH E 模式 GaN HEMT 具有强大的栅极偏置相关 VTH 稳定性掺镁 p-GaN 工程 吴柯乐 2 , 杨元霞 2 , 李恒毅 2 , 朱刚廷 2 , 周峰 1 , 徐宗伟 1 , 任方芳 1 , 周东 1 , 陈俊敦 1 , 张荣 1 , 窦友正 1 , 海陆 1 1 南京大学, 中国, 2 科能半导体有限公司, 中国 ED1-5 （口头报告） ） 15:30 - 15:45 EID AlGaN/GaN MOS-HEMT 中 Al 2 O 3 栅氧化膜下的电子态分析 Takuma Nanjo 1 , Akira Kiyoi 1 , Takashi Imazawa 1 , Masayuki Furuhashi 1 , Kazuyasu Nishikawa 1 , Takashi Egawa 2 1 Mitsubishi electric Corporation, Japan, 2 Nagoya Inst.日本科技大学
1蜂窝结构RUI3，一种新的量子材料...
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Huang，J。Zho，H。Wu，K。Deng，P。Jena，E。Can，Physy。 修订版Lett。2017，119，22208。 [15] A. Banerjee，P。 A. Aczel，B。Winn，Y。Liu，D。Pajerowski，J。Yan，C。A。Bridges，A。T。 2018，3，1。 C. Huang，J。Zho，H。Wu，K。Deng，P。Jena，E。Can，Physy。 修订版2017，119，22208。[15] A. Banerjee，P。A. Aczel，B。Winn，Y。Liu，D。Pajerowski，J。Yan，C。A。Bridges，A。T。 2018，3，1。 C. Huang，J。Zho，H。Wu，K。Deng，P。Jena，E。Can，Physy。 修订版A. Aczel，B。Winn，Y。Liu，D。Pajerowski，J。Yan，C。A。Bridges，A。T。2018，3，1。C. Huang，J。Zho，H。Wu，K。Deng，P。Jena，E。Can，Physy。修订版b 2017，95，045113。F. Ersan，E。Baptist，St.Sarikurt，Y。Yüksel，Y。Cadioglu，H。D. Ozaydin，O.ü。 Actürk，ü。 Akıncı，E。Aktürk，J。Magn。宏伟。mater。2019，476，111。[18] H. G. von Schnering，K。Brothers，F。常见我，但是。1966，11，288。[19] K. Brothers，Angew。化学。他们。ed。Engle。 1968，7，148。 [20] mater。 2019，31，1808074。 [21] E. V. Stroganov，K。V。Ovchinnikov，Strong Fiz 1957，12，152。 [22] G. Brauer，无犯罪犯罪的手抛光。 3，Enke，Stuttgart，1981年。 B. C. Passenheim，D。C。McColum，J。Chem。 物理。 1969，51，320。 [24] X. Gui，R。J。Cava，J。Phys。 条件。 物质2021，33，435801。 [25] M. A. 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