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AMHS 是现代晶圆厂的重要组成部分。AMHS 有多种实施类型。这些实施可以包括以下一个或多个系统:自动导航车 (AGV)、轨道导航车 (RGV)、高架提升车 (OHV) 和高架运输 (OHT) 系统。AGV 和 RGV 系统在较旧的 200mm 晶圆厂中更常见,而 OHV 和 OHT 系统在 300mm 晶圆厂中更常见。在图 1 中,我们展示了一个包含 OHV 和 OHT 系统的 AMHS 示例。在 300mm 晶圆厂中,结合这些系统,晶圆在一个称为前开式统一吊舱 (FOUP) 的封闭容器中进行处理和运输(FOUP 将在本演示的后面部分详细介绍)。FOUP 使用高架提升转运车 (OHT) 系统从一个晶圆厂处理工具运输到另一个晶圆厂处理工具。 AMHS 的主要集成商 Daifuku 表示,在大型工厂中,OHT 行驶轨道可延伸至 10 公里,最多可容纳数百辆车。为了让一切协调一致,工厂使用各种组合
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OWF退役成本是通过估计和估计和累计的风力涡轮机(WTG)拆卸成本,基础卸下,内部阵列和出口电缆拆卸,冲洗保护拆卸,在主要离职工程中使用的燃料,退役前派遣和项目管理。在WTG去除,反向安装方面(即,第一叶片被一个一个,然后是Nacelle,然后是塔)和兔子耳构型(即先卸下一个刀片,然后将两个刀片完整卸下,然后立即卸下两个刀片,然后是Nacelle and Tower tower Removals)的情况。为基础,考虑了单孔的全部提取,并将其与海底下方的单孔内部切割进行了比较。由驳船船(BV)和拖船(TB)支撑的升空船(JUV)实现了所有主要作品。在基于重力的基础上去除基础,去除,重新降低,重新牵引和牵引到岸上。已经估计了所有内部阵列和出口电缆的完全去除和冲洗保护措施。这些数字中包括9%的票数前成本和10%的项目管理成本。比利时总共有9个现有的OWF与八个通用OWF一起建模,用于趋势分析。具有3MW和8MW WTG和700MW的OWFS和300MW OWFS,并为8MW,12MW,12MW,15MW和22MW WTGS创建并为趋势分析进行了建模。使用Seherleg或高升力船(HLV)的两种情况已用于预测OHV的删除成本。从石油和天然气平台中学到的经验和教训已用于这些预测。