描述 Honeywell Zephyr™ HAF 系列传感器提供数字接口,用于读取指定满量程流量和补偿温度范围内的气流。隔热加热器和温度传感元件可帮助这些传感器快速响应空气或气体流量。Zephyr 传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 和 300 SLPM,可提供自定义流量范围。这些传感器经过全面校准,并通过板载专用集成电路 (ASIC) 进行温度补偿。HAF 系列 >10 SLPM 在 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的校准温度范围内进行补偿。最先进的基于 ASIC 的补偿提供数字 (I2C) 输出,响应时间为 1 毫秒。这些传感器采用热传递原理测量空气质量流量。它们由微桥微电子和微机电系统 (MEMS) 组成,其中的温度敏感电阻沉积有铂和氮化硅薄膜。MEMS 传感芯片位于精确且精心设计的气流通道中,可对流量提供可重复的响应。Zephyr 传感器为客户提供增强的可靠性、高精度、可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基板相结合,使这些产品非常坚固。它们是根据 ISO 9001 标准设计和制造的。
描述 Honeywell Zephyr™ HAF 系列传感器提供数字接口,用于读取指定满量程流量和补偿温度范围内的气流。热隔离加热器和温度传感元件有助于这些传感器对空气或气体流量做出快速响应。Zephyr 传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 和 300 SLPM,可提供自定义流量范围。传感器经过完全校准,并通过板载专用集成电路 (ASIC) 进行温度补偿。HAF 系列 >10 SLPM 在校准温度范围 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 内进行补偿。最先进的 ASIC 补偿提供数字 (I2C) 输出,响应时间为 1 毫秒。这些传感器采用热传递原理测量空气质量流量。它们由微桥微电子和微机电系统 (MEMS) 组成,带有沉积有铂和氮化硅薄膜的温度敏感电阻。MEMS 传感芯片位于精确且精心设计的气流通道中,可提供对流量的可重复响应。Zephyr 传感器为客户提供增强的可靠性、高精度、可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基板相结合,使这些产品极其坚固耐用。它们是按照 ISO 9001 标准设计和制造的。
描述 Honeywell Zephyr™ HAF 系列传感器提供数字接口,用于读取指定满量程流量和补偿温度范围内的气流。隔热加热器和温度传感元件可帮助这些传感器快速响应空气或气体流量。Zephyr 传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 和 300 SLPM,可提供自定义流量范围。这些传感器经过全面校准,并通过板载专用集成电路 (ASIC) 进行温度补偿。HAF 系列 >10 SLPM 在 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的校准温度范围内进行补偿。最先进的基于 ASIC 的补偿提供数字 (I2C) 输出,响应时间为 1 毫秒。这些传感器采用热传递原理测量空气质量流量。它们由微桥微电子和微机电系统 (MEMS) 组成,其中的温度敏感电阻沉积有铂和氮化硅薄膜。MEMS 传感芯片位于精确且精心设计的气流通道中,可对流量提供可重复的响应。Zephyr 传感器为客户提供增强的可靠性、高精度、可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基板相结合,使这些产品非常坚固。它们是根据 ISO 9001 标准设计和制造的。
描述 Honeywell Zephyr™ HAF 系列传感器提供数字接口,用于读取指定满量程流量和补偿温度范围内的气流。隔热加热器和温度传感元件可帮助这些传感器快速响应空气或气体流量。Zephyr 传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 和 300 SLPM,可提供自定义流量范围。这些传感器经过全面校准,并通过板载专用集成电路 (ASIC) 进行温度补偿。HAF 系列 >10 SLPM 在 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的校准温度范围内进行补偿。最先进的基于 ASIC 的补偿提供数字 (I2C) 输出,响应时间为 1 毫秒。这些传感器采用热传递原理测量空气质量流量。它们由微桥微电子和微机电系统 (MEMS) 组成,其中的温度敏感电阻沉积有铂和氮化硅薄膜。MEMS 传感芯片位于精确且精心设计的气流通道中,可对流量提供可重复的响应。Zephyr 传感器为客户提供增强的可靠性、高精度、可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基板相结合,使这些产品非常坚固。它们是根据 ISO 9001 标准设计和制造的。
描述 Honeywell Zephyr™ HAF 系列传感器提供数字接口,用于读取指定满量程流量和补偿温度范围内的气流。隔热加热器和温度传感元件可帮助这些传感器快速响应空气或气体流量。Zephyr 传感器设计用于测量空气和其他非腐蚀性气体的质量流量。标准流量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 和 300 SLPM,可提供自定义流量范围。这些传感器经过全面校准,并通过板载专用集成电路 (ASIC) 进行温度补偿。HAF 系列 >10 SLPM 在 0°C 至 50°C [32°F 至 122°F] 的校准温度范围内进行补偿。最先进的基于 ASIC 的补偿提供数字 (I2C) 输出,响应时间为 1 毫秒。这些传感器采用热传递原理测量空气质量流量。它们由微桥微电子和微机电系统 (MEMS) 组成,其中的温度敏感电阻沉积有铂和氮化硅薄膜。MEMS 传感芯片位于精确且精心设计的气流通道中,可对流量提供可重复的响应。Zephyr 传感器为客户提供增强的可靠性、高精度、可重复的测量以及定制传感器选项以满足许多特定应用需求的能力。坚固的外壳与稳定的基板相结合,使这些产品非常坚固。它们是根据 ISO 9001 标准设计和制造的。
使用数字 MFC,您可以同时读取流量、总流量、温度、阀门驱动和其他变量,并且可以实时将这些信息传送到 PLC/DCS 或网络上的其他设备,以便采取进一步行动。您可以通过发送数字命令来利用多气体功能和动态气体范围切换。例如,您可以设置系统,以便将 MFC 从 25 标准升/分钟 (slpm) 的氧气设备更改为 20 slpm 的 CO 2 设备。
选定的测试运行 • 稳定状态温度 22.8 K • 供给压力 = 631 psig • 低压侧压力 = 10.8 psig • 质量流速 = 4.56 slpm • JT 出口处的估计质量 = 0.808 • 估计制冷功率 = 0.57 W(等温) • 氢液化率 = 0.08 g/min