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200 毫米 Ultrapak® 晶圆运输盒，采用 Wafershield™ 材料
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ProcessGard®PSPlus过滤器
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闭环恒定功率驱动器以简化加热器元件控制并延长电池寿命
Table of Contents 1 Traditional Heater Control ...................................................................................................................................................... 2 2 Constant Power Heater Control ............................................................................................................................................. 2 3 Hardware Implementation ...................................................................................................................................................... 3 4 Software Implementation ....................................................................................................................................................... 5 5 Software Algorithm Flow Chart ............................................................................................................................................. 6 6 Results ..................................................................................................................................................................................... 7 7 Summary and Adaptations .................................................................................................................................................... 9 8 References .............................................................................................................................................................................. 9 Trademarks All trademarks are the property of their respective owners.