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研究了用臭氧前体形成的ALD膜的结构和电性能
摘要：ALD薄片的持续发展需要持续的改进，并改变适合不同实际应用的量身定制特性的材料。臭氧最近被确定为前体，比晚期介电薄膜ALDS中的替代氧化前体具有不同的优势。本研究报告了使用O 3源的氧化铝（Al 2 O 3）和Hafnia（HFO 2）形成，并比较获得的结构和电性能。与水基薄膜相比，对臭氧基材料进行的结构检查证明具有较低的空缺水平。增强的结构特性还导致有问题通过整体层掺入不同的掺杂剂。此外，对使用ALD Gate介电的MIS结构的电特性分析表明，基于臭氧的胶片的质量和良好的绝缘性能得到了改善。然而，需要用臭氧进一步优化ALD技术，因为相对较低的相对介电性表征了超细膜。
通过液体形成的核心壳液滴和微胶囊...
微胶囊允许从药物到香水的货物的控制，运输和释放。鉴于微胶囊和其他核心壳结构的各种行业的兴趣，存在多种制造策略。在这里，我们报告了一种依赖温度响应性微凝胶颗粒，聚（N-异丙基丙烯酰胺）（PNIPAM）的混合物和经历流体流体相分离的聚合物的混合物。在室温下，该混合物分离成富含胶体的（液体）和胶体贫困（气体）流体。通过在临界温度上加热样品，其中微凝胶颗粒会急剧收缩并产生更深刻的颗粒室内电势，富含胶体相的液滴变成类似凝胶的液滴。随着温度降低到室温，这些凝胶胶体颗粒的这些液滴会在液滴中重新和相位分离。这种相分离会导致胶体富含胶体的液滴中的胶体贫穷的液滴，并被连续的胶体贫穷相包围。气体/液体/气体全水乳液仅在大多数内液滴逸出前仅几分钟。但是，核壳液滴的胶壳可以通过添加盐来固化。这种方法使用仅使用水性成分的刺激敏感的微凝胶胶体颗粒组成的壳形成核心壳结构，使其对封装生物材料和制造胶囊的胶囊有吸引力，以响应例如温度，盐浓度或pH的变化。
