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在半导体器件制造过程中，EUV 光刻技术必不可少，而光化学 EUV 掩模计量技术必不可少。在 PSI，我们正在开发 RESCAN，这是一种基于相干衍射成像 (CDI) 的平台，可以满足当前和未来的掩模检查分辨率要求。在 CDI 中，用相干光照射样品获得的衍射图案由像素检测器记录，这些衍射图案用于通过迭代相位检索算法重建物体的复振幅图像。虽然在传统光学系统中，像差会影响最终图像的分辨率，但 CDI 方法本质上是无像差的。尽管如此，仍需要仔细预处理衍射信号以避免重建图像中出现伪影。特别是，由于我们的系统以 6° 的入射角在反射模式下工作并使用平面检测器，因此有必要校正由于非远心性而导致圆锥失真的记录衍射图案。本文讨论了衍射数据预处理对重建图像质量的影响，并通过在 RESCAN 显微镜中应用优化的数据预处理流程展示了缺陷灵敏度的提高。结果，我们在光掩模上实现了低至 20 nm 的缺陷灵敏度，并在大视场中实现了均匀的图像质量。
各种光激活“3D”聚合物树脂的需氧生物降解及温控室的开发 Seohyun Lee、Shelby Engels、Ka
各种光激活“3D”聚合物树脂的需氧生物降解和开发温控室 Seohyun Lee、Shelby Engels、Katy Chapman 可持续发展中心，数学科学技术系 明尼苏达大学，明尼苏达州克鲁克斯顿 摘要 立体光刻 (SLA) 增材制造中使用的紫外光激活聚合物是工业和家庭塑料部件生产中日益增长的工具。与传统的熔融沉积成型 (FDM) 不同，这些聚合物通常由各种挥发性有机化合物 (VOC) 组成，对环境和健康有不利影响。为了抑制这些影响，流行产品制造商生产了宣传“植物基”或“生物基”的产品。这些产品的影响尚不清楚，并留下了许多关于其长期可持续性的问题。该项目专门探讨了这些替代产品在商业堆肥设施中的命运。堆肥利用需氧微生物将有机物分解成矿物成分。堆肥通过将原始有机物转化为二氧化碳 (CO 2 ) 和水来减少其体积。该项目包括两个方面：1) 设计和测试商用堆肥孵化室；2) 商用堆肥条件对这些聚合物分解的影响。本研究旨在通过测量原始聚合物的质量损失和堆肥室中 CO 2 随时间的变化来了解这些化合物在商用堆肥设施中的命运。
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•博士学位南佛罗里达大学（USF）的主管：六博士学位研究生（两名获得了博士学位，现在在该领域聘用）•研究主管，本科生的研究经验（REU） @ USF：三名REU学生•研究主管•研究生，大满贯研究生研究：六个本科生•研究生•首席组织者，重点主题委员会委员会领导人委员会及20222222222222222222222222. 2022 MMM- INTERMAG联合会议•IEEE Magnetics Society，2017年技术委员会成员 - ••2021年APS March会议，GMAG单位•会议主题委员会成员，GMAG单位•会议主席兼编辑，联合Intermag和Magnetism and Magnetism and Materigation Conference，2019年。。南佛罗里达大学（USF）的主管：六博士学位研究生（两名获得了博士学位，现在在该领域聘用）•研究主管，本科生的研究经验（REU） @ USF：三名REU学生•研究主管•研究生，大满贯研究生研究：六个本科生•研究生•首席组织者，重点主题委员会委员会领导人委员会及20222222222222222222222222. 2022 MMM- INTERMAG联合会议•IEEE Magnetics Society，2017年技术委员会成员 - ••2021年APS March会议，GMAG单位•会议主题委员会成员，GMAG单位•会议主席兼编辑，联合Intermag和Magnetism and Magnetism and Materigation Conference，2019年。•成员，高级光源外部审查委员会DOE三年期审查，2021年7月26日至29日•外部审查委员会成员，《批判性决策-2审查》高级光子源升级（APS-U）项目，Argonne，IL，2018年。•出版物主席，第12届国际同步辐射仪器会议（SRI2015），纽约，纽约，2015年7月6日至10日。