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光罩
在半导体器件制造过程中，EUV 光刻技术必不可少，而光化学 EUV 掩模计量技术必不可少。在 PSI，我们正在开发 RESCAN，这是一种基于相干衍射成像 (CDI) 的平台，可以满足当前和未来的掩模检查分辨率要求。在 CDI 中，用相干光照射样品获得的衍射图案由像素检测器记录，这些衍射图案用于通过迭代相位检索算法重建物体的复振幅图像。虽然在传统光学系统中，像差会影响最终图像的分辨率，但 CDI 方法本质上是无像差的。尽管如此，仍需要仔细预处理衍射信号以避免重建图像中出现伪影。特别是，由于我们的系统以 6° 的入射角在反射模式下工作并使用平面检测器，因此有必要校正由于非远心性而导致圆锥失真的记录衍射图案。本文讨论了衍射数据预处理对重建图像质量的影响，并通过在 RESCAN 显微镜中应用优化的数据预处理流程展示了缺陷灵敏度的提高。结果，我们在光掩模上实现了低至 20 nm 的缺陷灵敏度，并在大视场中实现了均匀的图像质量。
C/L波段全光星载量子密钥分发系统链路技术
摘要 — 基于卫星的量子密钥分发 (QKD) 能够实现长距离量子安全通信的密钥传输。该技术的成熟度和工业兴趣不断增加。卫星自由空间光通信的技术准备度也在不断提高。卫星 QKD 系统包括量子通信子系统和经典通信子系统（公共信道）。两者都采用自由空间光学实现。因此，在卫星 QKD 系统设计中，应尽可能地利用强大的协同效应，并实现全光卫星 QKD 系统。在本文中，我们提出了一个这样的系统，将所有光信道定位在 ITU DWDM C 波段中。我们专注于量子和经典信号传输的总体概念设计和光信道设置。系统描述涉及发射器激光终端（Alice 终端）、接收器激光终端（Bob 终端）、公共信道实现、接口 QKD 系统和部署的加密系统的面包板。Alice 终端的设计基础是激光终端开发 OSIRISv3。 Bob 终端的设计基础是地面站开发 THRUST。后者包含自适应光学校正，以实现单模光纤耦合。这使得它能够与几乎任意的量子接收器（如所述实验中使用的 Bob 模块）进行接口。公共信道由双向 1 Gbps IM/DD 系统和调制解调器组成，
国立彰化师范大学电子工程学系硕士班毕业条件表暨课程...
2 4光电实验技术光电实验室光电工程概论33 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3技术工业和微电源行业的技术半导体设备半导体产业技术专论33半导体行业和技术的特殊主题半导体磊晶技术33半导体外延技术
接纳注册(全文本) 商标注册处处长已根据《商标条例》(第559 ...
商标注册处处长已根据《商标条例》(第559章)第42条接受下列商标注册。根据《商标条例》第43条及《商标规则》(第559章，附属法例)第15条，现公布申请的详情。根据《商标条例》第44条及《商标规则》第16条，任何人士如欲反对任何该等商标的注册，须于本公告日期起计的3个月内，以表格T6提交反对通知书。(例如，如公告日期为2003年4月4日，则3个月期间的最后一天为2003年7月3日。)反对通知书须载有反对理由及第16(2)条所提述事项的陈述。反对者在提交反对通知书的同时，须将通知书副本送交有关申请的申请人。商标注册处处长根据《商标条例》（第 43 章）第 13 条/《商标条例》（第 559 章）附表 5 第 10 条接受的注册申请，请参阅电子宪报 http://www.gld.gov.hk/cgi-bin/gld/egazette/index.cgi?lang=e&agree=0 。