SF 6 高温形式在环境压力附近的晶格间距,从大约 94 K 到三相点都是稳定的。由于结构(体心立方)已知,因此这些数据可以转换为摩尔体积。Konstantinov 等人14 报告了最接近三相点(高达 212 K)的固体体积,但未说明测量方法。对于外推到三相点,在接近 100 K 温度下的研究(参考文献7 、 9 、 10 和 12 )不是很有用。在图1 中,我们绘制了 150 K 以上温度的数据。Konstantinov 等人的数据之间存在细微的不一致。14 与 Taylor 和 Waugh 8 以及 Powell 11 的观点,我们还注意到该函数在这些坐标上不是完全线性的。直观地将图1 外推到三重点,我们估计体积为 64.1 cm 3 mol 2 1 ,扩展不确定度为 0.5 cm 3 mol 2 1 。将其与液体密度相结合可得出 D v m 5 15.06 cm 3 mol 2 1 ,扩展不确定度为 0.5 cm 3 mol 2 1 。将上述数字代入方程。(1) 得出斜率为 d p m /d T 5 1.56 MPa K 2 1 ,扩展 ( k 5 2) 不确定度为 0.05 MPa K 2 1(相对而言约为 3%)。这种不确定性主要由三相点处固体摩尔体积的不确定性决定。
使用六氟化硫 (SF 6 ) 等离子体对硅 (Si ) 进行低偏压蚀刻是制造电子设备和微机电系统 (MEMS) 的宝贵工具。这种蚀刻提供了几乎各向同性的蚀刻行为,因为低电压偏置不会为离子提供足够的垂直加速度和动能。由于这种近乎各向同性的行为,上述等离子体蚀刻可作为湿法蚀刻的替代方案,例如在 MEMS 和光学应用中,因为它提供了更清洁、更精确的可控工艺。然而,各向同性的程度以及最终的表面轮廓仍然难以控制。在这项工作中,我们将三维特征尺度地形模拟应用于 Si 中的低偏压 SF 6 蚀刻实验,以帮助工艺开发并研究控制最终表面几何形状的物理蚀刻机制。我们通过准确再现三个不同的实验数据集并详细讨论地形模拟中涉及的现象学模型参数的含义来实现这一点。我们表明,与传统的严格各向同性和自下而上的方法相比,我们的现象学自上而下的通量计算方法更准确地再现了实验结果。反应堆负载效应被视为模型蚀刻速率的普遍降低,这通过比较不同负载状态下模拟的蚀刻深度与实验确定的蚀刻深度得到支持。我们的模型还能够使用给定反应堆配置的单个参数集,准确地再现不同掩模开口和蚀刻时间的报告沟槽几何形状。因此,我们提出模型参数,特别是平均有效粘附系数,可以作为反应堆配置的代理。我们提供了一个经验关系,将反应堆配方的平均粘附系数与可测量的蚀刻几何各向同性程度联系起来。这种经验关系可以在实践中用于 (i) 估计独立实验的平均有效粘附系数和 (ii) 微调蚀刻几何形状。
该法规要求气体绝缘开关设备 (GIS) 的所有者每年报告以下信息:SF 6 排放量、使用 SF 6 作为绝缘气体的 GIE 清单、与存储 SF 6 气体的容器相关的信息以及 SF 6 进出 GIE 的情况。该法规还要求随着时间的推移减少 GIE 的 SF 6 排放量,并设定每个 GIE 所有者不得超过的年度排放率限制。最大允许排放率从 2011 年开始为 10%,此后每年下降 1%。如果没有对法规的拟议修改,到 2020 年,该限制将达到 1%,并将保持在该水平。根据法规报告的数据显示,全州 SF 6 容量每年增长 1% 至 5%,GIE 所有者提供的预测表明这种趋势将持续到未来。因为根据现行法规,排放限制将保持相当于年容量的 1%,所以随着容量的增长,预期排放量也会增加。
^碳排放量是指温室气体(GHG)议定书中的二氧化碳当量排放量(CO 2 e),包括二氧化碳(CO 2 )、甲烷(CH 4 )、一氧化二氮(N 2 O)、氢氟碳化物(HFCs)、全氟碳化物(PFCs)、六氟化硫(SF 6 )和三氟化氮(NF 3 )。
EPA 不要求特定的起始年份或基准年份;应根据基础数据的可用性和支持制定温室气体目标来选择清单年份或时间序列起始年份。要涵盖的温室气体包括二氧化碳、氢氟碳化物、甲烷、一氧化二氮、全氟化碳和六氟化硫。
ClassNK 创新发展部认证部 * 1 《联合国气候变化框架公约》附件一缔约方年度清单报告指南(第 24/CP.19 号决定,附件)规定了七种温室气体(GHG):二氧化碳(CO 2 )、甲烷(CH 4 )、一氧化二氮(N 2 O)、氢氟碳化物(HFCs)、全氟化碳(PFCs)、六氟化硫(SF 6 )和三氟化氮(NF 3 )。
1 2008 年《气候变化法案》将温室气体定义为:二氧化碳 (CO 2 );甲烷 (CH 4 );一氧化二氮 (N 2 O);氢氟碳化物 (HFCs);全氟化碳 (PFCs);六氟化硫 (SF 6 ) 和三氟化氮 (NF 3 )。 2 碳排放包括温室气体排放的子集。根据民事立法和英国政府换算系数,这些包括 CO 2 、CH 4 和 N 2 O,称为 CO 2 e(其中“e”代表 CO 2“当量”)。 3 请参阅 MAA 02:MAA 主词汇表。 4 https://www.gov.uk/government/collections/government-conversion-factors-for-company-reporting。 5 通过电子邮件 UKStratCom-DefSp-OEA SO1 CapCoh。
数十年来,六氟化硫 (SF 6 ) 一直被用作开关设备中的绝缘和断路介质。SF 6 的全球变暖潜能值 (GWP) 为 22,800 1,是已知的最强温室气体,它在开关设备中的使用会产生有毒副产品。第 517/2014 号 (EU) 条例第 21(4) 条要求欧盟委员会评估是否存在具有成本效益、技术可行、节能且可靠的替代品,从而可以在新的中压二次开关设备中替代含氟温室气体。本情况介绍文件提供了向欧盟委员会进行的评估的初步结果。除了所有中压 (MV) 开关设备之外,本文还简要介绍了高压 (HV) 开关设备以及一些相关电气设备。
温室气体国家清单章节涉及二氧化碳 ( CO2 )、一氧化二氮 ( N2O )、甲烷 ( CH4 )、六氟化硫 ( SF6 )、氢氟碳化物 ( HFCs ) 和全氟碳化物 ( PFCs ) 的排放。 这些气体得到了软件和 IPCC 2006 指南及 2019 年细化指南的支持 使用欧洲监测和评估计划 (EMEP/EEA) 空气污染物排放清单指南 2019 估算溶剂子行业产生的非甲烷挥发性有机化合物 (NMVOCs) 排放量。 所有直接和间接气体的排放量均以千兆克 (Gg) 为单位估算,所有直接气体的排放量均以 Gg 二氧化碳当量 (CO 2 eq) 为单位估算。为了将 Gg 的不同温室气体转换为 Gg 的二氧化碳当量,使用了 IPCC 第二次评估报告 (SAR) 时间范围 100 年中提供的全球变暖潜能值 (GWP)。