VK2C24 Original :( 0 , 0 ); Chip Size X=2000um ; Y=2300um ;此面积不包含切割道 , 划片道尺寸 60um*60um , Die Size X=2060um ; Y=2360um ;衬底电位 : GND
传感器被广泛用于获取生物和环境信息,以用于医学诊断、健康和环境监测。石墨烯是一种很有前途的新型传感器材料,近年来在传感器制作中得到了广泛的应用。与许多其他现有的石墨烯制备方法相比,激光划片石墨烯(LSG)简单、低成本、环境友好、导电性好、热稳定性高,在传感器领域得到了广泛的应用。本文总结了现有的用于传感器制作的LSG方法。首先介绍了主要的LSG制备方法及其变体,然后总结了专门为传感器制作而设计的LSG改性方法。随后,总结了LSG在应力、生物、气体、温度和湿度传感器中的应用,特别关注多功能集成传感器。最后,讨论了基于LSG的传感器当前面临的挑战和前景。
玻璃、蓝宝石等透明脆性材料由于其优异的物理化学稳定性和良好的透明性,在消费电子、光电器件等领域受到广泛关注和应用。近几十年来,对透明脆性材料进行高精度、高质量加工的新方法的研究越来越受到重视。在众多技术中,激光加工已被证明是一种加工各种透明脆性材料的有效、灵活的方法。本文总结了激光全切割、激光划片、激光隐形切割、激光丝、激光诱导背面干法蚀刻(LIBDE)和激光诱导背面湿法蚀刻(LIBWE)等一系列激光加工方法,并详细介绍了这些技术在微加工、钻孔切割和图案化中的应用,并讨论了该领域当前面临的挑战和未来的前景。
通常,MB 的总占地面积在平方毫米甚至平方厘米量级,或者电极厚度限制在 10 毫米以内,对于 3D 配置,体积则为亚立方毫米。根据微电极的几何形状,MB 可分为 1D 形状、2D/3D 堆叠结构和 2D/3D 平面配置。15 – 17 与传统电池的三明治结构(仅允许离子沿垂直方向扩散)不同,MB 独特的电极结构可以缩短离子传输路径,提高倍率性能和功率密度。特别是具有叉指微电极的平面 MB 表现出多方向离子扩散机制,极大地促进了反应动力学。 18,19 此外,从结构角度考虑,采用浆料浇铸法制备的传统电池难以满足微电子的美学多样性和形状可定制性要求。20 – 22 值得注意的是,MB 可以通过各种微加工方法解决上述形状多样性和定制结构的问题,例如光刻、23,24 激光划片、25 – 27 电沉积、28,29 丝网印刷、30,31 和 3D 打印技术。32 – 34 光刻