意大利微电子与微系统研究所 (CNR_IMM),第 VIII 大街,5 号工业区,95121 卡塔尼亚,意大利摘要研究了在重掺杂(ND >10 19 cm -3 )n 型磷注入碳化硅 (4H-SiC) 上形成的 Ni 肖特基势垒的电行为,重点研究了正向和反向偏压下的电流传输机制。肖特基二极管的正向电流-电压特性表明,主要的电流传输是热电子场发射机制。另一方面,反向偏压特性不能用独特的机制来描述。事实上,在中等反向偏压下,注入引起的损伤是导致漏电流温度升高的原因,而随着偏压的增加,纯场发射机制趋近于。讨论了重掺杂层上的金属/4H-SiC 接触在实际器件中的潜在应用。关键词:4H-SiC,电气特性,电流传输,肖特基器件
摘要 — 我们介绍了一种 SOI 波导耦合锗光电二极管,它在 2 V 反向偏压下具有非常高的 OE -3 dB 带宽 ≥ 110 GHz。这种性能是通过一种新颖的结构实现的,即将锗夹在两个原位掺杂的硅区域之间。这种制造方法可以避免将离子注入锗,这无疑有利于带宽,因为少数载流子扩散效应受到强烈抑制。在 1550 nm (-2 V) 时实现了 >0.6 A/W 的响应度,而该器件的暗电流约为 300 nA (-2 V)。据我们所知,这是最先进的锗光电探测器,具有带宽、最先进的响应度以及中等暗电流。我们证明,这种新型光电二极管可以高产量制造。
400 nm 至 800 nm。(实线)包括 CsI(Tl) 闪烁体的发射光谱以供比较。(虚线)(b)不同光活性层厚度的 OPD 在暗条件和 950 µW/cm 2 光照辐照度(波长 546 nm)下实验和拟合的电流密度 (J) 与电压 (V) 特性。当实线符号表示光响应时,空心符号表示测得的暗电流。实线是根据非理想二极管方程拟合的暗电流密度。虚线表示当分流电阻 R sh 为无穷大时的理想 JV 曲线。(c)对于具有不同活性层厚度的 OPD,暗电流密度 (J dark ) 测量图与内部电场的关系。(d)反向偏压为 1.5V 时具有 320 nm 厚度活性层的 OPD 的外部量子效率 (EQE)...... 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 。 36