合金结

下一代约瑟夫森电压标准的纳米技术 - 仪器和测量，IEEE 交易

2cm 10 V 约瑟夫森电压标准芯片。光刻技术和材料的持续改进提高了这些具有大量结点的电路的产量 [11]。例如，IBM 的约瑟夫森计算机项目导致了结氧化物屏障和 PbInAu 超导电极的改进 [12]。由于 Pb 合金结会随着热循环而发生变化，因此人们开始努力开发一种全耐火结工艺，使用铌作为结电极和布线。然而，事实证明氧化铌是一种较差的结屏障，只能产生中等质量的结。下一个重大改进发生在贝尔实验室的 Gurvitch 等人 [13] 发现热生长的氧化铝屏障非常稳定时，从而产生了第一个具有出色均匀性的高质量约瑟夫森结。多年来，这种全耐火