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报告 [1996 年 8 月 1 日]：阿拉斯加费尔班克斯韦恩赖特堡 4 号可操作部队决策记录（第 1 至 100 页）
通过提取和处理（液相碳吸附或紫外线氧化空气吹脱）处理地下水，地下水监测/评估和机构控制....................................................................................................................................e....................................................................................................................................5.5.1.5 替代方案 5：对垃圾填埋场较老、不活跃部分进行封盖，通过提取和处理（液相碳吸附或紫外线氧化空气吹脱）就地处理地下水，地下水监测/评估和机构控制.......................................................................................................................................................................5.5.2 煤堆场源区.... . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . + . 5.5.2.4 方案 4：通过低温热解吸挖掘和场外土壤处理、通过提取和处理（液相碳吸附或紫外线氧化空气吹脱）现场处理地下水、地下水监测/评估和机构控制 . . . . . . . . . _ _ . . . . . . . . . _ 5.5.2.5 方案 5：通过蒸汽注入或生物通风增强的真空提取系统原位处理土壤、自然衰减、地下水监测/评估和机构控制 . . . . 5.5.2.6 替代方案 6：通过蒸汽注入或生物通风增强的真空提取就地处理土壤，通过空气鼓泡就地处理地下水，地下水监测/评估和机构控制 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
原子层沉积 Al2O3 作为热氧化和等离子氧化的屏障
电子邮件：stephane.calvez@laas.fr 简介 原子层沉积 (ALD) 纳米厚的 Al 2 O 3 层或其他电介质层已被证实是一种有效的方法，可用于创建敏感材料封装层，防止其因周围大气中的水分和氧气含量而发生降解 [1,2]。另外，由氧气（分别是水）引起的半导体材料向绝缘体的腐蚀转变，称为干（湿）氧化，通常用于微电子和光子器件以及集成电路的制造，作为引入实现晶圆上光学路由 [3–6] 和/或电连接所需的电和/或光子限制的一种方式。特别是在硅光子器件制造中，后者的工艺通常涉及将硅层在高温或等离子体中暴露于水/氧气中，并通过厚度大于 100 nm 的 SiN x 掩模实现局部氧化保护 [3,4]。在此背景下，我们在此报告了使用 ALD 沉积的 Al 2 O 3 作为节省材料的氧化屏障以防止硅晶片的等离子诱导或高温热氧化的能力的研究。样品制备通过热 ALD 在硅晶片上沉积具有纳米厚度的 Al 2 O 3 薄膜。低压热 ALD 沉积由重复循环组成，每个循环包括 300 ms 的三甲胺铝 (TMA) 脉冲，然后在 N 2 下进行 2800 ms 的吹扫，150 ms 的水蒸气脉冲，以及在 N 2 下进行 6700 ms 的第二次吹扫。这里测试了两个沉积温度，90°C 和 150°C。使用可变角度光谱椭圆偏振法（使用 Accurion EP4 系统）测量所得层厚度。图 1 显示了 Al 2 O 3 厚度随沉积循环次数变化的记录。在 0 个循环时，测量到的厚度对应于天然氧化硅（测量到约 2 纳米）。在 15 个沉积循环之前，成核开始以异质生长（见图 1 插图）。超过 15 个循环后，沉积厚度以每循环生长率 (GPC) 0.19 纳米/循环线性增加，并且与沉积温度的依赖性较弱。随后使用紫外光刻和湿法蚀刻对 Al 2 O 3 涂层样品进行图案化，以获得具有 Al 2 O 3 保护和未保护硅区域的样品。使用稀磷酸（去离子水/H 3 PO 4 (37%) 1/1 溶液）在精确的 67°C 温度下进行层蚀刻，蚀刻速率为 30 纳米/分钟。分别用水和丙酮进行冲洗和清洁。测试了两种类型的氧化：干热氧化和等离子氧化。干热氧化方案包括在 5L/min 的 O 2 流量下从 30°C 开始线性升温（8.2°C/min），然后在 9L/min 的 O 2 流量下以 1000°C 进行恒温步骤，然后在 5L/min 的 O 2 流量下以 -16.3°C/min 的温度衰减。低压 O 2 等离子体氧化在 Sentech Si-500 设备中进行，使用 30 分钟的重复处理，其中样品受到 O 2 等离子体处理，RF 功率为 800W，基板温度保持在 100°C 以下。在这两种情况下，通过成像光谱椭圆偏振法测量处理过的样品的保护区和未保护区的氧化厚度。图 2 左侧显示，如果 Al 2 O 3 厚度大于 ~9 nm（45 个循环），则干氧化不会进行，而对于更薄的覆盖层，干氧化会减少。SEM 横截面（如图 2 中的插图所示）进一步证实了这一观察结果。类似地，观察到等离子体氧化导致氧化物生长遵循平方根定律的时间依赖性（Deal 和 Grove 模型 [7]），但对于（30 次循环）Al 2 O 3 涂层样品部分，其氧化速率降低。
采用 COTS 光学元件设计用于小型卫星应用的高光谱成像仪
该卫星将被发射到 500 公里高空的太阳同步轨道。在轨道上，成像仪采用推扫式概念，在经过目标时按顺序收集范围内所有波长的像素线。推扫式概念与光学设计相结合，每条扫描线可产生高达 70 公里的扫描带宽度，地面采样距离为 49 × 60 米。由于原始高光谱数据立方体很大，并且这对卫星下行链路的功耗有限制，因此必须进行最后的考虑。这可以通过机载图像处理（例如校正、分类、异常检测、特征提取和降维）而不是物理设计本身来显著改善。本文介绍了这种特定成像仪的性能特征，并对光学设计中的配置可能性进行了权衡分析。
2020 年小型非道路发动机排放模型 – SORE2020
小型越野发动机 (SORE) 是额定功率为 19 千瓦（即 25 马力）或以下的火花点火发动机。此类别的发动机用于草坪和园艺设备以及其他户外动力设备和专用车辆，涵盖割草机、吹叶机、链锯和发电机等各种设备。这些设备大部分属于加州空气资源委员会 (CARB) SORE 排放清单模型的草坪和园艺（例如割草机、吹叶机）和轻型商用（例如压缩机、发电机）类别。本文件详细介绍了 CARB 的 SORE 排放清单模型 SORE2020 中使用的更新的基准排放清单，该清单将用于指导未来的监管发展以及空气质量和气候变化规划工作（例如州实施计划或 SIP 和气候变化范围界定计划）。
视觉科学中心年度研讨会1月10日，...
3:05-3：25 Ratheesh Meleppat，博士学位。 “使用全田扫向源光学相干断层扫描的小鼠中的结构和功能性视网膜成像” 3：30-3：50 Alice Accorsi，Ph.D。 “苹果蜗牛：用一双新眼睛的再生” 3:55 - 5:00 John L. Keltner，M.D。，演讲的讲座介绍：Mark Mannis，M.D。，M.D。，Facs3:05-3：25 Ratheesh Meleppat，博士学位。 “使用全田扫向源光学相干断层扫描的小鼠中的结构和功能性视网膜成像” 3：30-3：50 Alice Accorsi，Ph.D。 “苹果蜗牛：用一双新眼睛的再生” 3:55 - 5:00 John L. Keltner，M.D。，演讲的讲座介绍：Mark Mannis，M.D。，M.D。，Facs
