彩色皮秒声学 (CPA) 和光谱椭圆偏振术 (SE) 相结合,测量沉积在 300 毫米晶圆上的聚合物薄膜树脂的弹性和热弹特性。使用 SE 测量膜厚度和折射率。使用 CPA 根据折射率测量声速和厚度。比较两种厚度可以检查两种方法之间的一致性。然后在 19 ◦ 至 180 ◦C 的不同温度下应用相同的组合。随着样品被加热,厚度和声速都会发生变化。通过分别监测这些贡献,可以推导出声速温度系数 (TCV) 和热膨胀系数。该协议适用于目前微电子工业使用的不同薄膜树脂制成的五种工业样品。杨氏模量在不同树脂之间相差高达 20%。每种树脂的 TCV 都很大,并且从一个树脂到另一个树脂的相差高达 57%。
a IHP–Leibniz-Institut fu¨r innovative Mikroelektronik,Im Technologiepark 25,15236 Frankfurt (Oder),德国 b Istituto Italiano di Tecnologia – Materials Characterization Facility,热那亚 16163,意大利 c CIC nanoGUNE BRTA,20018 Donostia-San Sebastia´n,巴斯克地区,西班牙。电子邮箱:b.martingarcia@nanogune.eu d IKERBASQUE,巴斯克科学基金会,48009 Bilbao,西班牙 † 可用的电子补充信息 (ESI):化学蚀刻过程中的 Te 晶体照片和所研究 Te 晶体蚀刻坑的光学图像;关于拉曼数据采集条件和硅 (100) 极化测试的对照实验;交叉配置中角度相关的线性偏振拉曼光谱测量;线性偏振拉曼光谱的拉曼张量分析;以及 (100) 和 (110) 平面的圆偏振拉曼光谱测量。请参阅 DOI:https://doi.org/10.1039/d3tc04333a
摘要。由于量子力学在物理教育研究中取得了令人鼓舞的成果,通过双态系统进行量子力学的教学/学习正在中学不断普及。一种可能性是使用光子的偏振态。本文报告了物理教师教育中基于偏振的量子力学介绍。一种广泛使用的学校材料为教师培训生的未来工作做好准备,同时也提高了他们的概念知识。这部分包括仅使用中学数学的统计计算和仅使用实数的不确定关系的新公式。第二步是使用实二维向量和矩阵准备量子力学的形式。考虑到学生可能不会学习复杂的线性代数,我们提供了一种通过圆偏振介绍双态系统完整形式的新方法,提供了对复杂量子态的逐步探索。这指出了通过物理示例使用复杂线性代数的优势,提供了接触高级量子物理和量子计算元素的机会,同时深化了中学材料的物理背景。
Tivadar Lohner 1 、Attila Németh 2 、Zsolt Zolnai 1 、Benjamin Kalas 1 、Alekszej Romanenko 1 、Nguyen Quoc Khánh 1 、Edit Szilágyi 2 、Endre Kótai 2 、Emil Agócs 1 、Zsolt Tóth 3 、Judit Budai 4,5 、Péter Petrik 1,* 、Miklós Fried 1,6 、István Bársony 1 和 † József Gyulai 1