a 京都大学土木与地球资源工程系,京都西行区桂城 615-8530,日本 b 隧道工程研究小组,东京千代田区梶町 101-0044,日本
竞争力;推动科学和工程发展;改善公共卫生、安全和环境。该机构的基本职能之一是制定、维护和保管国家计量标准,并提供将科学、工程、制造、商业、工业和教育中使用的标准与联邦政府采用或认可的标准进行比较的手段和方法。
NIST 最初成立于 1901 年,当时名为美国国家标准局,致力于增强美国工业的竞争力;推动科学和工程发展;改善公共卫生、安全和环境。该机构的基本职能之一是制定、维护和保管国家测量标准,并提供将科学、工程、制造、商业、工业和教育中使用的标准与联邦政府采用或认可的标准进行比较的手段和方法。
光学显微镜显示蚀刻后表面清晰无特征。总之,我们描述了一种制造可靠、易于去除的高能高剂量离子注入掩模的新工艺。要注入的样品以额外的 AIGaAs 金属剥离层作为表面层,在其上通过常规光刻胶剥离技术对金属掩模进行图案化。注入后,通过使用 HCl 选择性蚀刻 AIGaAs 来去除 AIGaAs 金属剥离层和金属掩模。由于 HCl 的选择性,在去除金属掩模期间底层外延结构不会受损。这项工作得到了国家科学基金会化合物半导体微电子工程研究中心 (CDR-85-22666)、材料研究实验室 (DMR-86-12860) 和海军研究实验室 (NOOO14-88-K-2oo5) 的支持。