在计算选定晶面的总设备用电后,我们将其值与晶圆厂的总电用使用情况进行了比较[9]。差异除以处理为设施值的掩码层处理的掩模层数。然后可以对按过程节点进行电气使用(逻辑显示),请参见图3。利用这种方法,我们发现设备用电量在没有EUV的40%+范围内,而EUV的范围为50%+范围。这与2007年至2011年时间范围的4个FAB的SEMATECH数据一致。设备对总用电的贡献的这些值不同于[6]中使用的60%假设。图3 EUV用电使用持续的30mJ/cm 2剂量(未填充条),并随着节点增加剂量,我们认为更反映实际需求(填充条)。euv在引言的第一个节点上,与DUV相比,DIV> EUV可以一次性减少。这是由于消除了多造影步骤。
fi g u r e 1 cfDNA的差异反映了健康的衰老。(a)主成分分析(PCA)允许在Teo等人的队列中分层。(2019)基于CFDNA占用率的区域,该区域获得了100 Y.O.的核小体。与25 Y.O.相比的人健康的人25岁(黑色),70(橙色)和100 Y.O.(蓝色),以及不健康的100 Y.O.(紫罗兰)(Teo等人)。(b)基于全基因组区域的PCA,年龄组≤40至≥70y.o之间具有差异的核小体占用率。来自Cristiano等人队列的健康女性。(2019)。(c)Teo等人队列中不同年龄组之间CfDNA片段大小的分布。(d)Teo等人队列的NRL。对于每个人(圆圈),平均值(开放正方形),中值(水平线)和方差间隔(填充条)。(E和F)NRL的相关性和Peneder等人队列的年龄。(2021)(E)和Cristiano等。(f)。