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World File Search System微传感器
一种自动，可生物降解的溶解氧微传感器
摘要 - 我们报告了一种可生物降解的自动传感器，用于测量体内溶解的氧气。操作原理是氧还原反应与腐蚀电化学夫妇阴极的通常显性氢还原反应的竞争。由于氧还原反应对总体电化学反应的相对贡献取决于局部氧气的集中，因此这对夫妇的输出电压也取决于局部氧气浓度。通过使用层压层嵌入可生物降解的聚（乳酸）底物中，将传感器嵌入可生物降解的金属镁和钼。外部生理溶液被用作电解质。在典型的生理氧浓度范围内测量了传感器的输出电压（即，在整个腐蚀夫妇中产生的电压）是氧浓度的函数。观察到每百分比氧浓度约为6 mV的线性输出电压响应；高于此范围的氧气浓度导致传感器饱和。[2020-0192]
通过化学微传感器阵列进行实时边缘神经形态品尝
液体分析是跟踪食品、饮料和化学制造等行业是否符合严格的工艺质量标准的关键。为了在线并在最感兴趣的点分析产品质量，自动监控系统必须满足小型化、能源自主性和实时操作方面的严格要求。为了实现这一目标，我们介绍了在神经形态硬件上运行的人工味觉的第一个实现，用于连续边缘监控应用。我们使用固态电化学微传感器阵列来获取多变量、随时间变化的化学测量值，采用时间滤波来增强传感器读出动态，并部署基于速率的深度卷积脉冲神经网络来有效融合电化学传感器数据。为了评估性能，我们创建了 MicroBeTa（微传感器味道测试），这是一个用于饮料分类的新数据集，包含 3 天内进行的 7 小时时间记录，包括传感器漂移和传感器更换。我们实现的人工品味在推理任务上的能效比在其他商用低功耗边缘 AI 推理设备上运行的类似卷积架构高出 15 倍，在 USB 棒外形尺寸中包含的单个英特尔 Loihi 神经形态研究处理器上实现了比传感器读数采样周期低 178 倍以上的延迟和高精度（97%）。
通过化学微传感器阵列进行实时边缘神经形态品尝
液体分析是跟踪食品、饮料和化学制造等行业是否符合严格的工艺质量标准的关键。为了在线并在最感兴趣的点分析产品质量，自动监控系统必须满足小型化、能源自主性和实时操作方面的严格要求。为了实现这一目标，我们介绍了在神经形态硬件上运行的人工味觉的第一个实现，用于连续边缘监控应用。我们使用固态电化学微传感器阵列来获取多变量、随时间变化的化学测量值，采用时间滤波来增强传感器读出动态，并部署基于速率的深度卷积脉冲神经网络来有效融合电化学传感器数据。为了评估性能，我们创建了 MicroBeTa（微传感器味道测试），这是一个用于饮料分类的新数据集，包含 3 天内进行的 7 小时时间记录，包括传感器漂移和传感器更换。我们实现的人工品味在推理任务上的能效比在其他商用低功耗边缘 AI 推理设备上运行的类似卷积架构高出 15 倍，在 USB 棒外形尺寸中包含的单个英特尔 Loihi 神经形态研究处理器上实现了比传感器读数采样周期低 178 倍以上的延迟和高精度（97%）。
展示电活性聚合物微传感器的完整集成过程以实现软微芯片
摘要 电活性聚合物的驱动和传感应该是柔性 MEMS 的一个机会，但它们的微加工和集成仍不成熟。人们仍期待一些创新材料和微加工工艺。本文首次全面阐述了聚合物微传感器 (MT)，包括集成和操作。制造工艺依赖于市售的聚（3,4-乙基二氧噻吩）：聚（苯乙烯磺酸盐）（PEDOT：PSS）导电墨水，涂在柔性 SU-8 光刻胶微芯片上。演示了由不同形状的可单独寻址 MT 组成的复杂柔性单片单元的批量制造。所得聚合物 MT 在露天表现出非常有前途的弯曲驱动和应变传感特性。值得注意的是，与用激光切割制造的材料相比，微加工工艺对性能没有影响。这项工作为柔性 MEMS 的开发铺平了道路，用于软微机器人、医疗和空间应用中的微流体。
MEMS高温梯度传感器用于高度湍流中的皮肤摩擦测量
摘要 - 本文介绍并讨论了使用MEMS（微电机电系统）获得的高温梯度传感器获得的结果，以在高度湍流中进行时间平均和波动的皮肤摩擦测量。设计为强大的壁挂式悬挂热线结构，使用传统的微观加工技术制造微传感器，该技术与微电脑兼容用于设计集成的智能系统。成功实施了两条风风隧道，在大量湍流中测试了该传感器，主流速度高达270 m/s（马赫数为0.79），这对应于客机巡游的平均速度。实验证明了微传感器的广泛动态范围，而没有达到其极限。微传感器因此表明了其在空气动力应用中测量湍流的价值，特别适合航空药物。
微机电系统
目标 提供有关 MEMS 技术和制造的基本知识。 课程目标 本课程应使学生能够： 1. 了解微制造的演变。 2. 学习各种制造技术。 3. 了解微传感器和微执行器。 4. 学习各种微执行器的设计。 第一单元简介（9 小时） 基本定义 – 微制造的演变 – 微系统和微电子学，缩放定律：静电力、电磁力、结构刚度、流体力学和传热的缩放。 第二单元微传感器（9 小时） 简介 – 微传感器：生物医学传感器和生物传感器 – 化学传感器 – 光学传感器 – 压力传感器 – 热传感器、声波传感器。 第三单元微执行器（9 小时） 微驱动：使用热力、压电晶体、静电力进行驱动。基于 SMA 的微执行器，微执行器：微夹钳、微电机、微阀门、微泵、微加速度计 - 微流体。第四单元 MEMS 制造技术（9 小时）MEMS 材料：硅、硅化合物、压电晶体、聚合物微系统制造工艺：光刻、离子注入、扩散、氧化、CVD、溅射、蚀刻技术。第五单元微加工（9 小时）微加工：体微加工、表面微加工、LIGA 工艺。封装：微系统封装、基本封装技术、封装材料选择。
Wu，Yixin-新加坡
Yixin在GIS，遥感，微传感器，数字双胞胎，生成AI，生态系统修复和交通建模方面具有经验。她拥有哈佛设计研究生院Urban Design学位的景观建筑硕士。她在中国，美国和新加坡的景观建筑师，城市设计师，研究人员，数据分析师，环境顾问，助教和研究助理。
矫形器中的微传感器：用于监测器具磨损情况 - 审查 Moode Kaladhar Naik 博士 正畸学系副教授
矫形器具中的微型传感器：用于监测器具磨损情况审查 Moode Kaladhar Naik 博士 副教授 正畸和牙颌面矫形外科系，政府牙科学院和医院，ESI 路，维杰亚瓦达，安得拉邦 通信电子邮箱：kaladhar1982@gmail.com Siddarth Goudar 博士 助理教授，口腔颌面外科系，Gadag 医学科学研究所，卡纳塔克邦 Gadag，印度 电子邮箱：siddarthgoudar1985@gmail.com Manish Pisarla 博士 MDS，助理教授，正畸和牙颌面矫形外科系，Meghana 牙科科学研究所，尼扎马巴德 电子邮箱：manishpisarla@gmail.com Damarasingu Rajesh OMFS 博士，博士学者，OMFS 系，Narsinhbhai Patel 牙科学院和医院，Sankalchand Patel 大学，古吉拉特邦维斯纳加尔 电子邮件：rajeshoralsurgeon@gmail.com Vaibhavee Kurrey 博士，印度恰蒂斯加尔邦比拉斯布尔 Triveni 牙科科学医院和研究中心 BDS 电子邮件：vai.kurrey01@gmail.com Eesha Pramod Pisal 博士，印度卡拉德克里希纳医学科学研究所牙科学院牙科外科学士 电子邮件：dr.eeshapisal@gmail.com